[发明专利]蓝宝石基板及半导体发光元件有效
申请号: | 201180038776.7 | 申请日: | 2011-08-05 |
公开(公告)号: | CN103069541A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 成田准也;冈田卓也;若井阳平;井上芳树;佐幸直也;家段胜好 | 申请(专利权)人: | 日亚化学工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/205 | 分类号: | H01L21/205;H01L33/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊建中 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种可构成光提取效率优异的氮化物半导体发光元件的氮化物半导体发光元件用的蓝宝石基板。该蓝宝石基板是在一主面包含多个凸部,在该一主面成长氮化物半导体而形成氮化物半导体发光元件,且将多个凸部以如下方式配置:在包含多个凸部的底面的平面内在任意位置向任意方向画直线时,该直线通过至少任一凸部内。 | ||
搜索关键词: | 蓝宝石 半导体 发光 元件 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石基板,其特征在于:其在一主面包含多个凸部,在该一主面成长氮化物半导体而形成氮化物半导体发光元件;并且上述凸部分别在底面的外周具有至少1个凹陷。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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