[发明专利]移动体驱动方法和移动体驱动系统、以及曝光方法和装置

摘要

本发明提供一种移动体驱动方法和移动体驱动系统、以及曝光方法和装置。在载台(WST)的驱动中，通过编码器系统的至少各一个X编码器与Y编码器的三个编码器(Enc1，Enc2及Enc3)测量载台(WST)在移动面内的位置信息，并通过控制装置，以在切换前后维持载台(WST)在移动面内的位置的方式，将用于测量载台(WST)在移动面内的位置的编码器，从编码器(Enc1，Enc2及Enc3)切换至编码器(Enc4，Enc2及Enc3)。因此，即使进行用于载台的位置控制的编码器的切换，也可以在切换前后维持载台在移动面内的位置，正确地进行连续衔接。

主权项

一种移动体驱动方法，在移动面内驱动移动体，其包含：取得步骤，在将上述移动体驱动于上述移动面内的既定方向时，以既定控制取样间隔取得与包含多个读头的编码器系统的至少一个读头的检测信号对应的测量数据，上述多个读头是用于测量上述移动体在上述移动面内的位置信息；以及驱动步骤，根据包含最后取得的最新测量数据与至少一个数据前的数据的过去测量数据的多个数据、以及因上述检测信号于传播路径中的传播所导致的延迟时间的信息来驱动移动体，以修正因上述检测信号的传播所导致的测量延迟而造成的上述读头的测量误差。