[发明专利]光刻参数的修正方法及系统有效
| 申请号： | 201110348440.2 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN103091996A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 许宗能;蔡建祥;周玮;杨兆宇 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光刻参数修正方法及系统，该方法包括多个机台将产品输送至光刻机进行处理；于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。本发明获取准确的修正值，准确的对当前及以后批次产品进行修正，减少光阻返工问题，使得光阻返工率大大降低，保证产品批与批之间的稳定性，节约大量的人力和材料的浪费，保证产品出货时间，也提高了光刻机的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 参数 修正 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻参数修正方法，包括如下步骤：多个机台将产品输送至光刻机进行处理；于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。
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