[发明专利]光刻参数的修正方法及系统

说明书

【技术领域】

本发明涉及一种半导体制造方法及系统，尤其涉及一种光刻参数的修正方法及系统。

【背景技术】

目前，半导体产品进行光刻时，多个进行其他工艺的机台在完成对应的工艺后，将多批产品送至光刻机上进行光刻。光刻时，为维持产品批与批之间的稳定性，大都采用RTR(RUN-TO-RUN)控制系统来修正进行光刻的黄光参数，保证产品批次之间的稳定性。

RTR控制系统收集光刻机已完成的前几批产品的数据，根据这些数据获取光刻机的光刻参数修正值(光刻机黄光参数的修正值)，并交与光刻机，对当前及以后批次产品进行修正，控制光刻机本身的漂移，维持生产线的稳定度。但是，当前光刻机已完成批次产品由多个其他工艺的机台输送，由于多个其他工艺的机台之间存在较大的差异，在完成相应工艺后产品差异较大，产品再进行光刻时会对黄光参数造成较大偏差，光刻后产品数据差异也较大，从而使得RTR控制系统根据已完成批次产品的数据获得的修正值误差较大，不能准确的对当前及以后批次产品进行修正，使得产品修正的不准确，造成大量的光阻返工问题，光阻返工率大大提高，消耗大量的人力和材料的浪费，产品出货时间推迟，也降低了光刻机的利用率。

【发明内容】

有鉴于此，有必要提供一种降低产品光阻返工率的光刻参数修正方法。

此外，还有必要提供一种降低产品光阻返工率的光刻参数修正系统。

一种光刻参数修正方法，包括如下步骤：

多个机台将产品输送至光刻机进行处理；

于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；

根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；

根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。

优选的，所述于光刻机已处理批次产品中分别收集各个机台所输送产品的数据的步骤具体为：对各个机台设置代号，各个机台输送产品至光刻机时，获取代号，以确定已处理批次产品与各个机台的对应关系，根据已处理批次产品与机台的对应关系，按代号分别收集各个机台所输送产品的数据。

优选的，所述于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据的步骤具体为：分别收集各个机台所输送的前五批产品的数据。

优选的，所述根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值的步骤具体为：根据收集的各个机台所输送产品的数据，计算各个机台所输送产品数据的平均值，并根据各个机台产品数据的平均值，获取各个机台对应的修正值。

优选的，所述根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理的步骤具体为：在机台输送当前批次产品至光刻机时，获取机台代号，获取当前批次产品对应的机台；根据对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻机的光刻参数。

一种光刻参数修正系统，包括：

收集模块，用于收集光刻机已完成批次产品的数据，已完成批次产品由多个机台输送至光刻机；

控制模块，用于控制所述收集模块于光刻机已处理批次产品中分别收集各个机台所输送产品的数据；

修正模块，根据收集的各个机台所输送产品的数据，获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；

控制模块根据光刻机当前批次产品对应的机台，控制修正模块将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。

优选的，所述控制模块对各个机台设置代号并存储各个机台的代号，各个机台输送产品至光刻机时，所述控制模块获取代号，以确定已处理批次产品与各个机台的对应关系，所述控制模块根据已处理批次产品与机台的对应关系，控制所述收集模块按代号分别收集各个机台所输送产品的数据。

优选的，所述控制模块控制所述收集模块收集各个机台所输送的前五批产品的数据。

优选的，所述修正模块根据收集的各个机台所输送产品的数据，计算各个机台所输送产品数据的平均值，并根据各个机台产品数据的平均值，获取各个机台对应的修正值。

优选的，所述控制模块在机台输送当前批次产品至光刻机时，获取机台代号，获取当前批次产品对应的机台，控制所述修正模块将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻机的黄光参数。