[发明专利]光刻参数的修正方法及系统

权利要求书

1.一种光刻参数修正方法，包括如下步骤：

多个机台将产品输送至光刻机进行处理；

于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据；

根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；

根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。

2.根据权利要求1所述的光刻参数修正方法，其特征在于，所述于光刻机已处理批次产品中分别收集各个机台所输送产品的数据的步骤具体为：对各个机台设置代号，各个机台输送产品至光刻机时，获取代号，以确定已处理批次产品与各个机台的对应关系，根据已处理批次产品与机台的对应关系，按代号分别收集各个机台所输送产品的数据。

3.根据权利要求2所述的光刻参数修正方法，其特征在于，所述于光刻机已处理批次产品中，分别收集各个机台所输送产品的数据的步骤具体为：分别收集各个机台所输送的前五批产品的数据。

4.根据权利要求2所述的光刻参数修正方法，其特征在于，所述根据收集的各个机台所输送产品的数据，分别获取各个机台对应的修正值的步骤具体为：根据收集的各个机台所输送产品的数据，计算各个机台所输送产品数据的平均值，并根据各个机台产品数据的平均值，获取各个机台对应的修正值。

5.根据权利要求2所述的光刻参数修正方法，其特征在于，所述根据光刻机当前批次产品对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理的步骤具体为：在机台输送当前批次产品至光刻机时，获取机台代号，获取当前批次产品对应的机台；根据对应的机台，将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻机的光刻参数。

6.一种光刻参数修正系统，其特征在于，包括：

收集模块，用于收集光刻机已完成批次产品的数据，已完成批次产品由多个机台输送至光刻机；

控制模块，用于控制所述收集模块于光刻机已处理批次产品中分别收集各个机台所输送产品的数据；

修正模块，根据收集的各个机台所输送产品的数据，获取各个机台对应的修正值，每个机台对应的修正值仅根据该机台所输送产品的数据获取；

控制模块根据光刻机当前批次产品对应的机台，控制修正模块将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻参数，修正后光刻机对当前批次产品进行处理。

7.根据权利要求6所述的光刻参数修正系统，其特征在于，所述控制模块对各个机台设置代号并存储各个机台的代号，各个机台输送产品至光刻机时，所述控制模块获取代号，以确定已处理批次产品与各个机台的对应关系，所述控制模块根据已处理批次产品与机台的对应关系，控制所述收集模块按代号分别收集各个机台所输送产品的数据。

8.根据权利要求7所述的光刻参数修正系统，其特征在于，所述控制模块控制所述收集模块收集各个机台所输送的前五批产品的数据。

9.根据权利要求7所述的光刻参数修正系统，其特征在于，所述修正模块根据收集的各个机台所输送产品的数据，计算各个机台所输送产品数据的平均值，并根据各个机台产品数据的平均值，获取各个机台对应的修正值。

10.根据权利要求7所述的光刻参数修正系统，其特征在于，所述控制模块在机台输送当前批次产品至光刻机时，获取机台代号，获取当前批次产品对应的机台，控制所述修正模块将机台对应的修正值交予光刻机，修正光刻机的黄光参数。