[发明专利]移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、组件制造方法、以及校正方法

摘要

本发明提供移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、组件制造方法、以及校正方法。通过控制装置，使用编码器系统的包含X编码器与Y编码器的至少各一个的三个编码器(Enc1，Enc2，Enc3)测量载台WST在XY平面内的位置信息，根据该位置信息的测量结果及该位置信息的测量所使用的读头(编码器)(Enc1，Enc2及Enc3)的平行于XY平面的面内的位置信息(p1，q1)、(p2，q2)及(p3，q3)，在XY平面内驱动载台WST。据此，能一边使用包含多个读头的编码器系统切换载台WST的移动中控制所使用的读头(编码器)，一边高精度控制载台的移动。

主权项

一种曝光方法，经由投影光学系统与液体用能量束使物体曝光，所述曝光方法包含：通过局部液浸装置将液体供应至该投影光学系统的正下方，其中，该局部液浸装置具有设成包围该投影光学系统的下端部的喷嘴单元；将该物体载置于能够至少在规定平面内正交的第1及第2方向移动的移动体；在该移动体设有格子部与多个读头的一个，且另一个相对该投影光学系统设在该喷嘴单元的外侧，使用通过该多个读头中的与该格子部对向的读头测量该移动体的位置信息的编码器系统，测量该移动体的位置信息；以及基于用于补偿因该读头的位移产生的该编码器系统的测量误差的修正信息与该编码器系统的测量信息，控制该移动体的位置；该物体通过该移动体，相对通过该供应的液体形成在该投影光学系统正下方的液浸区域移动，经由该投影光学系统与该液浸区域的液体进行该曝光；通过该移动体的移动，切换在该位置信息的测量中所使用的读头，基于由该切换前所使用的读头测量的位置信息，决定通过该切换后所使用的读头应测量的位置信息。