[发明专利]功能性膜的制造方法无效
| 申请号： | 201110254003.4 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102383091A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 小野寺大辅 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于，边在真空中将长条状的基材膜沿长度方向输送，边进行在基材膜上的无机膜的成膜、用于保护无机膜的保护膜的层叠、层叠体的卷绕的功能性膜的制造中，防止由无机膜和保护膜之间存在的气泡引起的无机膜的损伤。通过进行保护膜的层叠前进行无机膜的加热处理，可以解决上述问题。本发明同时涉及一种功能性膜的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种功能性膜的制造方法，其特征在于，边在真空中将长条状的基材膜沿长度方向输送，边通过气相生长法在所述基材膜的表面形成无机膜，对所述无机膜进行加热处理后，使保护膜与所述无机膜抵接而层叠，并将该基材膜与保护膜的层叠体卷绕成筒状。
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