[发明专利]功能性膜的制造方法无效
| 申请号： | 201110254003.4 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102383091A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 小野寺大辅 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 功能 制造 方法 | ||
1.一种功能性膜的制造方法，其特征在于，
边在真空中将长条状的基材膜沿长度方向输送，
边通过气相生长法在所述基材膜的表面形成无机膜，对所述无机膜进行加热处理后，使保护膜与所述无机膜抵接而层叠，并将该基材膜与保护膜的层叠体卷绕成筒状。
2.如权利要求1所述的功能性膜的制造方法，其中，进行所述无机膜的加热处理，从而以形成所述无机膜时的基材膜的温度为基准温度，使所述基材膜的温度在比该基准温度低5℃的温度以上。
3.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，以使所述基材膜的最高温度不达到该基材膜上产生褶皱的温度以上的方式，进行所述无机膜的加热处理。
4.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，以使所述基材膜的温度在设定的目标温度以上保持1秒以上的方式，进行所述无机膜的加热处理。
5.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，在所述无机膜的加热处理后，且在使所述保护膜与无机膜抵接而层叠前，对所述基材膜进行冷却。
6.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，所述无机膜为具有阻气性的膜。
7.如权利要求6所述的功能性膜的制造方法，其中，所述具有阻气性的膜为氮化硅膜、氧化硅膜、氧化铝膜中的任意一种。
8.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，进行所述基材膜与保护膜的层叠体的卷绕的空间的压力，为所述无机膜的成膜空间的压力以下。
9.如权利要求1或2所述的功能性膜的制造方法，其中，利用不与无机膜接触的加热机构进行所述无机膜的加热处理。
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