[发明专利]延长研磨垫使用周期的化学机械研磨方法有效
| 申请号： | 201110228135.X | 申请日： | 2011-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN102922415A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 范怡平;黄勇;张礼丽;杨贵璞 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/07 | 分类号： | B24B37/07 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 唐立;高为 |
| 地址： | 214028 无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种延长研磨垫使用周期的化学机械研磨（CMP）方法，属于半导体制造技术领域。该CMP方法包括第一CMP阶段和第二CMP阶段，在第二CMP阶段应用光学终止点检测装置时存在终止点抓取的准备时间段（tp2）；其中，在第二CMP阶段的研磨前准备步骤设置为通过时间控制和终止点检测控制结合的模式，以准备时间段（tp2）从第二CMP阶段的主研磨步骤中前移至所述研磨前准备步骤中；并且，延长第一CMP阶段的主研磨步骤的时间（tp1），以使在该延长的时间（tp1）内的研磨厚度基本等于第二CMP阶段的主研磨在该准备时间段内（tp2）的研磨厚度。该CMP方法容易与现有CMP制程兼容，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 延长 研磨 使用 周期 化学 机械 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械研磨方法，包括第一化学机械研磨阶段和第二化学机械研磨阶段，在所述第二化学机械研磨阶段应用光学终止点检测装置时存在终止点抓取的准备时间段；其特征在于，所述第二化学机械研磨阶段的研磨前准备步骤被设置为通过时间控制和终止点检测控制结合的模式，以使所述准备时间段从所述第二化学机械研磨阶段的主研磨步骤中前移至所述研磨前准备步骤中；并且，延长所述第一化学机械研磨阶段的主研磨步骤的时间，以使在所述延长的时间内的研磨厚度基本等于第二化学机械研磨阶段的主研磨步骤在所述准备时间段内的研磨厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110228135.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用顶部籽晶熔渗法制备单畴钇钡铜氧超导块材的方法
- 下一篇：照明装置
- 同类专利
- 晶圆平坦化设备研磨头旋转机构-201910554631.0
- 康雷雷;徐海强;夏俊东;谭金辉 - 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司
- 2019-06-25 - 2019-08-27 - B24B37/07
- 本发明是晶圆平坦化设备研磨头旋转机构，其结构包括研磨头旋转机构本体，研磨头旋转机构本体连接研磨头组件，研磨头旋转机构设置在研磨盘侧面，研磨盘侧面还设有晶圆装载卸载平台，研磨头旋转机构旋转轨迹经过晶圆装载卸载平台和研磨盘中心。本发明的优点：旋转平台整体可旋转，研磨头组件可水平运动，可实现在不同工位的灵活移动，进行晶圆的转移，有效简化了结构，减小了体积，降低了生产成本，故障率得到大大减小，保证了生产效率，装载了本研磨头旋转机构的晶圆平坦化设备提高了晶圆加工质量稳定性,适合4寸、6寸晶元及3～5族类产品的平坦化加工。
- 金相试样研磨工具-201821664177.1
- 李尚志 - 江阴法尔胜佩尔新材料科技有限公司
- 2018-10-12 - 2019-07-02 - B24B37/07
- 本实用新型涉及一种金相试样研磨工具，这种金相试样研磨工具包括前侧铝板和后侧铝板，前侧铝板的后侧以及后侧铝板的前侧均开设有一条弧形槽，待测试的金相试样放在两个弧形槽之间，所述前侧铝板和后侧铝板均在弧形槽的左右两侧分别开设一个螺纹孔，右螺丝和左螺丝分别穿过前侧铝板和后侧铝板的螺纹孔，将前侧铝板、后侧铝板、金相试样夹紧，随后将此工具放在研磨台上，靠把手来持住研磨工具，随后将此工具靠近研磨盘，研磨盘从前侧铝板和后侧铝板的间隙中伸进来对金相试样进行研磨，从而让金相试样在研磨时受力均匀，保证打磨出来的表面平整性，降低了返工后工时和材料的浪费。
- 伺服机构滚轴传动活塞杆方孔的研磨工装和研磨方法-201510726459.4
- 李凤娟;田源;张红超;米长毅;余元喨 - 北京实验工厂;中国运载火箭技术研究院
- 2015-10-30 - 2019-05-17 - B24B37/07
- 本发明属于精密研磨工艺技术领域，具体涉及一种伺服机构滚轴传动活塞杆方孔的研磨工装和研磨方法。该装置包括底座、固定于底座的支架组件、固定于支架组件侧面且位于底座上部的固定块、固定于固定块侧面且位于底座上部的滑块、固定于支架组件上部的立杆、固定在立杆上且可上下移动的压板、一端固定于压板中间孔的下端的弹簧、固定于弹簧的另一端的弹簧固定座，固定块和滑块有相对的V型槽。通过本发明伺服机构滚轴传动活塞杆方孔精密研磨技术，消除“塌边”现象，一次交检合格率大幅提升至95％及以上，并且减少了加工工序，亦减轻了表面处理和研磨工序的工作量，达到生产质量和效率的大幅提升。
- 一种用于抛光钽的化学机械抛光方法-201310597273.4
- 王晨;何华锋 - 安集微电子（上海）有限公司
- 2013-11-22 - 2019-01-04 - B24B37/07
- 本发明涉及一种用来对基片进行化学机械抛光的方法，该方法包括：提供硅片，硅片包含钽；提供一种碱性化学机械抛光液，含有水、研磨剂、钾盐、环氧乙烯环氧丙烯共聚物、氧化剂，碱性PH值;提供具有抛光表面的化学机械抛光垫；在化学机械抛光垫和硅片之间的界面处或界面附近，通过抛光机台，将化学机械抛光液分配到化学机械抛光垫上；并且在不低于1.5psi的向下作用力下压力的作用下在化学机械抛光垫的抛光表面和硅片之间的界面处建立动态接触；硅片被抛光；且从硅片上除去一部分钽。
- 基板的研磨装置和基板的处理系统-201810151773.8
- 安田穗积;小畠严贵;高桥信行;作川卓;高田畅行 - 株式会社荏原制作所
- 2018-02-14 - 2018-08-28 - B24B37/07
- 本发明提供基板的研磨装置和基板处理系统，能够降低单位加工痕迹形状相对于规定的形状的偏差。根据一个实施方式，提供对基板进行局部研磨的研磨装置，具有：与基板接触的加工面比基板小的研磨部件；将研磨部件向基板按压的按压机构；在与基板的表面平行的第一运动方向上对研磨部件施加运动的第一驱动机构；在与第一运动方向垂直且沿与基板的表面平行的方向具有成分的第二运动方向上对研磨部件施加运动的第二驱动机构；以及用于控制研磨装置的动作的控制装置，在研磨基板时，研磨部件构成为与基板接触的区域上的任意点在相同的第一运动方向上运动，控制装置构成为对第一驱动机构和第二驱动机构的动作进行控制以使用研磨部件对基板进行局部研磨。
- 一种光学薄片器件上盘方法-201711272985.3
- 徐斌 - 江苏师范大学
- 2017-12-06 - 2018-05-25 - B24B37/07
- 本发明提供了一种光学薄片器件上盘方法，通过使用平面度误差较小的毛玻璃平板作为光学薄片器件上盘前的基准,使固定后的多件光学薄片器件的上表面在一个平面上，克服了光学薄片器件表面高低不平问题，减少了后续研磨加工的时间和难度。并且，由于固定后的多件光学薄片器件的上表面在一个平面上，省去了由于多个光学薄片器件上表面高低不平所增加的光学薄片器件的毛坯厚度，节约了原材料成本。同时，本方法使用了低熔点热熔胶降低了光学薄片器件的热应力和粘接材料的收缩力，减少了光学薄片器件在加工下盘后的形变，提高了加工质量和产品合格率。
- 研磨装置及研磨方法-201410043555.4
- 关正也;户川哲二 - 株式会社荏原制作所
- 2014-01-29 - 2018-01-12 - B24B37/07
- 一种研磨装置，具有对基板(W)进行保持并使其旋转的基板保持部(3)；将研磨件(38)按压抵接于基板(W)而对该基板进行研磨的按压部件(51)；对按压部件(51)的按压力进行控制的按压力控制机构(56)；以及对按压部件(51)的研磨位置进行限制的研磨位置限制机构(65)。作为研磨件(38)，使用研磨带或固定磨料。采用本发明，能精密地控制基板的研磨量。
- 丝网印刷刮条的自动打磨机及自动打磨方法-201510446640.X
- 刘成龙;孙广宇;张前 - 尚德太阳能电力有限公司
- 2015-07-27 - 2018-01-05 - B24B37/07
- 本发明涉及一种丝网印刷刮条的自动打磨机及自动打磨方法，其中包括砂轮、砂轮定位机构、砂轮驱动电机、刮条锁定机构、刮条位置传感器、控制器和刮条移动伺服机构，刮条位置传感器用以测量刮条的初始位置，控制器用以根据刮条的初始位置和移动目标位置控制刮条移动伺服机构将刮条锁定机构移动至工作位置，砂轮驱动电机用以在所述的控制器的控制下驱动所述的砂轮对移动至工作位置的刮条进行打磨。采用该种结构的丝网印刷刮条的自动打磨机及自动打磨方法，实现了提高刮条打磨精度，保证刮条表面的平整度，控制每次打磨的深度，全过程自动化作业，人员操作简单，打磨参数直观可调，根据不同需求进行调整设置，有更广泛的应用范围。
- 一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置-201720427534.1
- 邹俊;朱红波;刘海;肖群凯 - 湖南磨王科技智造有限责任公司
- 2017-04-22 - 2018-01-05 - B24B37/07
- 本实用新型公布了一种用于精密磨削加工的行星式研磨装置，它包括机壳；所述机壳上设置有下铜盘，位于下铜盘上方的正对位置设置有研磨组件，所述研磨组件包括驱动电机、气缸、压力平衡补偿器、中心转轴以及上铜盘；所述驱动电机上设置有的直齿轮与固定在中心转轴上的圆柱齿轮相啮合，带动上铜盘及设置在上铜盘上的上盘盖转动；所述上盘盖上设置有流液环，流液环的内圈上设置有挡水罩；所述的中心转轴通过轴套固定有上连接板和下连接板，所述气缸和压力平衡补偿器设置在下连接板底部，其气缸的推杆与上连接板固定设置。该装置结构简单，研磨精度高，不易产生振动，冷却效果好。
- 磨盘便于拆卸的石材研磨机-201720333999.0
- 王伟;许彩云 - 闽南理工学院
- 2017-03-31 - 2017-12-19 - B24B37/07
- 本实用新型涉及石材生产设备，公开了一种磨盘便于拆卸的石材研磨机，包括研磨结构，研磨结构包括缓冲体、设置在缓冲体下端的磨盘、设置在磨盘下端且与磨盘一体式结构的复数块磨块，磨盘上端固定设有圆柱型的定位凸块，定位凸块内设有复数个具有同一圆心的环形的定位卡槽，缓冲体下端设有与定位凸块过盈配合的环形的定位卡头，定位卡头上设有与定位卡槽过盈配合的环形的定位卡扣，每个定位卡头与相应的定位卡槽过盈配合。本实用新型的缓冲体和磨盘之间通过定位凸块上的定位卡槽与定位卡头上的定位卡扣过盈配合，安装牢固，不易脱离，在磨块磨损后也可方便将整个磨盘拆下来进行更换，操作简单方便。
- 研磨装置及研磨方法-201310513098.6
- 宫崎充;小林贤一;本坊光朗;今村听;董博宇;筱崎弘行 - 株式会社荏原制作所
- 2013-10-25 - 2017-12-01 - B24B37/07
- 一种研磨装置，具有研磨台，其具有研磨面；顶环(31A)，其在研磨台上方的研磨位置、研磨台侧方位置以及清洗位置之间移动自如，且由保持环(40)围绕基板的外周部而将该基板保持在顶环的下表面并向研磨面按压；以及清洗部(100)，其位于清洗位置并向旋转中的顶环(31A)的下表面喷射清洗液从而一起清洗由该顶环(31A)所保持的基板(W)与顶环(31A)的下表面。采用本发明，能高效地一起清洗由顶环的下表面所保持的基板与该顶环的下表面，并可使研磨性能稳定化，使清洗组件的清洗性能稳定化。
- 一种金属抛光机的传送机构-201720199174.4
- 戚润桦 - 金华华科激光科技有限公司
- 2017-03-02 - 2017-11-07 - B24B37/07
- 本实用新型属于研磨领域，涉及金属样品研磨，特别涉及一种金属抛光机的传送机构，该机构设在抛光机上方，它包括侧壁和可移动工装，所述侧壁设置在抛光机一侧上方，并设有轨道，所述轨道上设有齿条，所述可移动工装固定在轨道上，所述移动工装设有支撑柱和竖直杆，所述支撑柱一端固定在轨道上，内部设有驱动齿轮，所述驱动齿轮与齿条相对应，所述竖直杆设置在支撑柱的另一端，所述竖直杆上方设有液压缸，并能推动竖直杆上下移动，所述竖直杆下方设有样品夹具，所述样品夹具通过加紧固销限制固定，电机与液压缸的数据通过中央处理器进行控制。工装代替人工，因此人员在磨削中不会发生意外，并量化，确保安全。
- 一种半自动轭铁粗研磨工装-201720201055.8
- 王晓雷;宋银良;徐江燕;刘哲;李强;胡宗亮;刘军;刘欣 - 青岛智腾微电子有限公司
- 2017-03-03 - 2017-10-31 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种半自动轭铁粗研磨工装，包括底座、第一研磨部、第二研磨部、驱动部以及传动部，所述第一研磨部设于底座上，所述第二研磨部设于第一研磨部上方，且通过第一支架与底座连接，所述驱动部设于第二研磨部上方，所述第一研磨部包括研磨板，所述第二研磨部包括内齿轮、第一外齿轮以及第二外齿轮，所述内齿轮设于研磨板正上方，且通过固定板与第一支架连接，所述第一外齿轮设于内齿轮中心位置，且通过传动部与驱动部连接，所述第二外齿轮设于内齿轮与第一外齿轮之间，所述第二外齿轮上设有通孔，所述通孔的直径大于待加工圆柱形轭铁的直径，本实用新型的工装可以完成轭铁的半自动粗研磨。
- 研磨机-201720175799.7
- 左中禾 - 东莞市马驰科塑胶制品有限公司
- 2017-02-24 - 2017-10-24 - B24B37/07
- 本实用新型公开一种研磨机，包括一动力机构、一从动轮、一研磨带、一安装部及一进给装置，所述动力机构包括一电机及一转动轮，所述转动轮与所述电机的输出轴相连接，所述研磨带套设于所述转动轮以及所述从动轮上，所述安装部用于固定工件，所述安装部包括一马达及一转动轴，所述转动轴与所述马达的输出轴相连，所述工件可拆卸地安装于所述转动轴上，所述安装部设于所述进给装置上，所述进给装置带动所述安装部往复移动，从而控制所述工件靠近或远离所述研磨带。可通过马达带动转动轴以及固定于转动轴上的工件一同转动，从而对工件实现多个面的研磨；还可通过马达转动的同时配合进给装置对工件推送至研磨带上从而实现对工件某一面更均匀的打磨。
- 一种高精度平面研磨装置-201720038363.3
- 文新彬;陈军;张政;文晓福 - 遵义市遵云制冷配件有限公司
- 2017-01-13 - 2017-09-12 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种高精度平面研磨装置，包括研磨架、偏心机构、电机、研磨板以及回转台，回转台设置在研磨架内，研磨板设置在回转台上，电机设置在研磨架上，偏心机构设置在研磨架上，且偏心机构连接在电机及研磨板上。通过电机带动偏心机构使工件相对研磨板连续运动进行研磨，可以达到很高的平面要求，并且可以根据工件的不同变动磨板就可以加工不同的零件，具有经济性好，制造成本低的优点。
- 一种玻璃基板自动研磨装置-201621253211.7
- 薛蕊 - 天津欧津汇溢市场调查有限公司
- 2016-11-19 - 2017-06-20 - B24B37/07
- 本实用新型提供一种玻璃基板自动研磨装置，包括支架、活动杆、透明板、转轮、收容管、透明防护布、固定杆、支撑架、滚筒、清扫刷、收集箱以及电机，两个透明板对称安装在活动杆前后两端，两个透明板安装在支架上端，两个收容管装配在支架上端，转轮安装在收容管左端，透明防护布安装在收容管内，固定杆连接在透明防护布下端，该设计实现了对工作人员提供防护，滚筒装配在两个支撑架之间，六个清扫刷对称安装在滚筒上下两端，滚筒前端安装电机，电机安装在支撑架前侧，电机下端装配收集箱，该设计实现了对玻璃碎屑进行收集，本实用新型使用方便，便于操作，可以对工作人员提供防护，可以对玻璃碎屑自动清理，稳定性好，可靠性高。
- 化学机械抛光装置及其方法-201610742003.1
- 郑智龙;郭育铭;徐立铭 - 台湾积体电路制造股份有限公司
- 2016-08-26 - 2017-05-24 - B24B37/07
- 一种化学机械抛光(CMP)装置包括处理室、压板、晶圆加热器和载体头。压板设置在处理室中并且配置为允许抛光垫设置在压板上。晶圆加热器设置在处理室中并且配置为加热晶圆。载体头设置在处理室中并且配置为保持被加热的晶圆紧靠抛光垫。本发明实施例涉及化学机械抛光装置及其方法。
- 研磨装置-201620078237.6
- 周景星 - 周景星
- 2016-01-27 - 2016-08-31 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种研磨装置，其包含承载盘、至少一个被研磨物、砂轮盘及多个研磨齿。至少一个被研磨物连接承载盘。砂轮盘相对承载盘位移且具有中心。多个研磨齿连接砂轮盘且接触研磨被研磨物。各研磨齿包含近端与远端，近端具有近端宽度，而远端具有远端宽度。近端与砂轮盘的中心相隔一近端距离，远端与砂轮盘的中心相隔一远端距离。近端距离小于远端距离，且近端宽度大于远端宽度。借此，本实用新型的研磨装置，利用研磨齿内宽外窄的特殊形状来补偿研磨齿的近端磨耗量较远端大的差异，不但能降低研磨比值，还可有效缩小研磨后晶圆的总厚度变异。
- 一种光纤端面研磨器-201420363051.6
- 王七月;陈新军;胡庆庆 - 深圳日海通讯技术股份有限公司
- 2014-07-02 - 2015-01-14 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种光纤端面研磨器，包括外壳，外壳的顶端设置有光纤固定模组，外壳的底端设置有可相对于外壳转动的底座，底座设置有偏心的连接部，连接部连接有可随底座的转动而公转的传动轴，传动轴套设有具有环形的外啮合齿的小齿轮，外壳的内侧设置有具有环形的内啮合齿的大齿轮，传动轴在小齿轮与大齿轮的相互啮合作用下自转，传动轴连接有可随传动轴一起转动的研磨垫，研磨时，研磨垫与穿过光纤固定模组的待研磨的光纤的端面相适应。该光纤端面研磨器结构简单，体积小，便于携带。
- 一种平面研磨机-201310628348.0
- 沈旗卫;吕为民 - 丰兴精密产业(惠州)有限公司
- 2013-11-29 - 2014-12-03 - B24B37/07
- 本发明涉及研磨机技术领域，尤其涉及一种平面研磨机，包括底座，在所述底座上设置有夹持装置和研磨装置；所述夹持装置，用于夹持住待研磨零部件；研磨装置，用于对所述夹持装置夹持的零部件进行研磨作业。本发明的发明目的在于提供一种平面研磨机，本发明提供的技术方案机构简单，制作简便，在实现研磨作业的同时，还提高了本发明的适用性。
- 一种金属板材和纹研磨设备-201420256665.4
- 李耀坤 - 李耀坤
- 2014-05-20 - 2014-12-03 - B24B37/07
- 本实用新型涉及一种金属板材和纹研磨设备，包括工作机台、移动机构、支撑架以及和纹研磨机构，所述工作机台中部安装支撑架，支撑架上部固定设置和纹研磨机构，和纹研磨机构两侧装升降导轨，固定架中心设置旋转轴机构，此旋转轴机构底部与磨盘相接，此旋转轴机构顶部与偏转电机相接；位于升降导轨与旋转轴机构之间增设升降气缸；所述旋转轴机构外围增设偏转轴。本实用新型有益效果为：通过装置移动电机进行一种左右平移运动，再根据旋转电机和偏转电机经过旋转轴机构带动偏转机构，使磨盘实现一种有归路的偏转自转，通过配重机构拉动升降气缸带动偏转轴带动偏转机构形成一种升降运动，在加工时，能够使金属板材的纹路更加均匀。
- 一种密封副偏心研磨机-201420389717.5
- 张寿根;萧亚兵;郑汝生;芦建斌 - 浙江固特气动机械有限公司
- 2014-07-15 - 2014-11-19 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种密封副偏心研磨机。它包括电机、控制面板、立柱、工作平台、平台升降装置、底座、下研磨头、上偏心研磨头、主轴、悬臂拉手、研磨爪、润滑软管、悬臂、轴承套、变速器；本实用新型采用偏心式磨头进行研磨，上偏心研磨头在研磨爪的带动下进行公转，下研磨头在上偏心研磨头的带动下，由于偏心力的影响自行转动，上下研磨头在自转的同时公转，利用双纬转向和网式磨面原理，大幅提高研磨效果，提高研磨精度。本实用新型适用于对高精度复杂工件例如有严格密封要求的密封副的研磨加工。
- 密封副偏心研磨机及其方法-201410335411.6
- 张寿根;萧亚兵;郑汝生;芦建斌 - 浙江固特气动机械有限公司
- 2014-07-15 - 2014-10-15 - B24B37/07
- 本发明公开了一种密封副偏心研磨机及其使用方法。它包括电机、控制面板、立柱、工作平台、平台升降装置、底座、下研磨头、上偏心研磨头、主轴、悬臂拉手、研磨爪、润滑软管、悬臂、轴承套、变速器；本发明采用偏心式磨头进行研磨，上偏心研磨头在研磨爪的带动下进行公转，下研磨头在上偏心研磨头的带动下，由于偏心力的影响自行转动，上下研磨头在自转的同时公转，利用双纬转向和网式磨面原理，大幅提高研磨效果，提高研磨精度。本发明适用于对高精度复杂工件例如有严格密封要求的密封副的研磨加工。
- 平面研磨装置-201420250439.5
- 吴小邦;孙艳芬;韩志良 - 常州机电职业技术学院
- 2014-05-15 - 2014-09-17 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种平面研磨装置，它包括研磨套、主轴、支撑组件、导轨滑块副、旋转动力装置、横向推进装置和纵向推进装置，主轴可旋转地支承在支撑组件上，主轴的下部设置有与主轴轴向呈偏心状的偏心轴，主轴的上端与旋转动力装置连接以便驱动主轴旋转，所述的研磨套可拆卸式地安装在偏心轴的下端，导轨滑块副具有导轨和滑块，所述的支撑组件安装在滑块上，并且所述的纵向推进装置与滑块活动连接以便驱动滑块相对于导轨纵向进给，所述的横向推进装置与导轨连接以便驱动导轨横向进给。本实用新型能够模拟人工前后、左右动作，实现全自动研磨，无需人工操作，极大地提高了生产效率，并且研磨质量好。
- 高效精准圆弧型面自动磨石装置-201420062727.8
- 黄春生 - 黄春生
- 2014-02-12 - 2014-08-06 - B24B37/07
- 本实用新型涉及石材设备技术领域，特别是一种高效精准圆弧型面自动磨石装置，与现有技术相比，该高效精准圆弧型面自动磨石装置在主轴上分别铰链一石板固定装置和一研磨装置，石板固定装置和研磨装置铰链在主轴上，并可绕主轴进行旋转，石板固定装置和研磨装置在主轴上进行方向相反、同轴旋转，即石板固定装置与研磨装置之间进行交叉相对运动，采用石板固定装置与研磨装置之间进行交叉相对运动，使研磨装置上的磨料对石板固定装置上的石板进行研磨时，磨料和石板进行双向的运动，从而使石板研磨表面更加光滑，大大提高了石材的表面光滑度，提高了产品的档次和质量，也使得石材研磨厚度均匀。
- 平面研磨装置-201410206509.1
- 吴小邦;孙艳芬;韩志良 - 常州机电职业技术学院
- 2014-05-15 - 2014-07-23 - B24B37/07
- 本发明公开了一种平面研磨装置，它包括研磨套、主轴、支撑组件、导轨滑块副、旋转动力装置、横向推进装置和纵向推进装置，主轴可旋转地支承在支撑组件上，主轴的下部设置有与主轴轴向呈偏心状的偏心轴，主轴的上端与旋转动力装置连接以便驱动主轴旋转，所述的研磨套可拆卸式地安装在偏心轴的下端，导轨滑块副具有导轨和滑块，所述的支撑组件安装在滑块上，并且所述的纵向推进装置与滑块活动连接以便驱动滑块相对于导轨纵向进给，所述的横向推进装置与导轨连接以便驱动导轨横向进给。本发明能够模拟人工前后、左右动作，实现全自动研磨，无需人工操作，极大地提高了生产效率，并且研磨质量好。
- 一种自卸汽车手操纵气阀平面配磨机-201310677650.5
- 陈智强;罗俊;黄一远 - 一汽解放柳州特种汽车有限公司
- 2013-12-13 - 2014-04-02 - B24B37/07
- 本发明提供一种自卸汽车手操纵气阀平面配磨机，阀转盘通过固定柱连接在固定盘上；所述旋摆盘安装于固定盘内，旋摆盘圆周设有多个孔，过渡盘设有多个，设置在旋摆盘的孔内；所述过渡盘内有孔，孔内连接阀固定体；所述旋摆盘中心处连接偏心轮，偏心轮连接减速器输出轴；旋摆盘在偏心轮的作用下即作偏摆运动也围绕偏心轮做区域性圆周移动；所述旋摆盘驱动过渡盘作偏摆运动。采用电机带动摆线针轮减速机直接与偏心轮连接驱动研磨装置，设备制造简单，使用、维护方便，生产效率高。
- 数控揉搓式研磨机床-201320243301.8
- 党金行;曹刚;于恒;张彦 - 山东冠泓数控装备有限公司
- 2013-05-08 - 2013-12-18 - B24B37/07
- 本实用新型公开了一种数控揉搓式研磨机床，由左支架、右支架、横梁构成桥式框架结构，横梁能够沿左支架、右支架前后移动；横梁上装有溜动箱，溜动箱能够沿横梁的导轨左右移动；溜动箱还能够另外输出绕圈平动动力，溜动箱与研板连接，通过溜动箱驱动研板运动；各种运动由数控系统控制，使研板能够任意行走各种轨迹，并能模拟人工揉搓式动作，完全可以代替人工研磨作业，使平面研磨加工工艺一步跃向机械化、自动化和数控化。
- 一种二氧化硅晶片研磨机-201320150118.3
- 华前斌 - 铜陵迈维电子科技有限公司
- 2013-03-28 - 2013-10-30 - B24B37/07
- 一种二氧化硅晶片研磨机，涉及一种研磨装置，包括底座，底座上设有工作槽，工作槽内设有主轴，主轴上套有转盘，所述的转盘外圈设有研磨圈，研磨圈上表面设有研磨纹，研磨圈上放置有研磨片，研磨片内设有研磨槽，所述的研磨片一端顶在转盘上，另一端顶在研磨圈外圈的挡圈上，所述的工作槽上方设有由液压升降机带动的封盖。本实用新型结构简单，设计合理，将二氧化硅晶片放置在研磨槽内，通过研磨片转动，使二氧化硅晶片在研磨圈上的研磨纹上进行摩擦研磨，方便快捷，效率高。
- 一立轴二卧轴雕铣机-201210134521.7
- 康俊富;陈弘哲;张家豪 - 韶阳科技股份有限公司
- 2012-05-03 - 2013-10-23 - B24B37/07
- 一种一立轴二卧轴雕铣机，包含一个机架、一个工作平台、一个横梁，及一个加工单元。该加工单元设置于该横梁上，并包括一个能左右移动的横向滑板、一个能上下移动的纵向滑板、一个设置于该纵向滑板前侧的卧式加工主轴、一个设置于该纵向滑板的立式加工主轴，及一个致动件，当欲对一个试片进行表面研磨时，该致动件拉动该立式加工主轴，使一个第二刀具高于两个第一刀具，以让前述第一刀具进行加工动作，当欲对该试片进行开孔与磨边时，该致动件推动该立式加工主轴，让该第二刀具低于前述第一刀具，以让该第二刀具进行加工动作。
- 专利分类
