[发明专利]监测闸极导体对深沟渠电容错位的测试单元及测试方法

摘要

本发明公开了一种监测闸极导体对深沟渠电容错位的测试单元结构，以及测试方法。该测试单元结构包含：沟渠电容结构，包含多个沟渠电容线以及沟渠电容连结；埋藏带外扩散区，与该沟渠电容线的第一侧相邻；第一闸极导体结构，包含多个平行的第一闸极导体线以及第一闸极导体连结，该第一闸极导体线彼此电性连结；以及第二闸极导体结构，包含多个第二闸极导体线以及第二闸极导体连结，该第二闸极导体线彼此电性连结，且该第一闸极导体线及该第二闸极导体线互相平行，且该第一闸极导体线及该第二闸极导体线交替排列。

主权项

一种监测闸极导体对深沟渠电容错位的测试单元结构，其特征在于：沟渠电容结构，包含多个平行的沟渠电容线以及沟渠电容连结，所述多个沟渠电容线经由所述沟渠电容连结达到彼此电性连结；埋藏带外扩散区，所述埋藏带外扩散区与所述沟渠电容线的第一侧相邻，所述沟渠电容线具有第二侧，位于所述第一侧的反面，且没有埋藏带外扩散区与所述第二侧相邻；第一闸极导体结构，包含多个平行的第一闸极导体线以及第一闸极导体连结，所述第一闸极导体线经由所述第一闸极导体连结达到彼此电性连结，且每个第一闸极导体线直接配置于对应的沟渠电容线之上；以及第二闸极导体结构，包含多个第二闸极导体线以及第二闸极导体连结，所述第二闸极导体线经由所述第二闸极导体连结达到彼此电性连结，且所述第一闸极导体线及所述第二闸极导体线互相平行，且所述第一闸极导体线及所述第二闸极导体线交替排列。