[发明专利]硅酸镓镧晶体元件的生产方法有效
| 申请号： | 201010147972.5 | 申请日： | 2010-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN101834270A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱木典;郑燕青;朱柳典;张茁 | 申请（专利权）人： | 东海县海峰电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/22 | 分类号： | H01L41/22;B28D5/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222300 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种硅酸镓镧晶体元件的生产方法，其特征在于，取原料硅酸镓镧晶体割成条状晶体材料；然后进行晶体定向测角；按定向测角要求将条状晶体材料用多刀切割机进行切片，再经改圆处理后，得圆片状晶体材料；再依次对圆片状晶体材料进行粗磨、中磨和精磨处理，以达到各自的研磨厚度要求；研磨后对圆片状晶体材料进行双面被银处理，被银后用真空微调机对圆片状晶体材料进行频率调整，得到制造晶体元件所需的频率片；将频率片置于晶体元件基座上，点胶固定，封装，即得硅酸镓镧晶体元件。本发明工艺步骤设计合理、工艺可操作性强；制备的硅酸镓镧晶体元件的低电耦合系数大，温度稳定性好，带边比较陡峭，可以应用于滤波器、高温传感器等方面。 | ||
| 搜索关键词： | 硅酸 晶体 元件 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种硅酸镓镧晶体元件的生产方法，其特征在于，其步骤如下：(1)取原料硅酸镓镧晶体，用多刀切割机切割成条状晶体材料；然后用X光定向仪对条状晶体材料进行晶体定向测角，定向精度为±10′；(2)按定向测角要求将条状晶体材料用多刀切割机进行切片，再用改圆机进行改圆处理后，得圆片状晶体材料；(3)依次用研磨机对圆片状晶体材料进行粗磨、中磨和精磨三级研磨处理，研磨时对圆片状晶体材料进行自动频率监控，以达到各自的研磨厚度要求；粗磨时研磨机的转速为80-90转/分钟，使用的SiC磨料的粒度为1600±300目；中磨时研磨机的转速为50-60转/分钟，使用的SiC磨料的粒度为3000±300目；精磨时研磨机的转速为40-45转/分钟，使用的SiC磨料的粒度为6000±300目；(4)研磨后用真空镀膜机对圆片状晶体材料进行双面被银处理，被银的厚度按频率要求进行，被银后用真空微调机对圆片状晶体材料进行频率调整，得到制造晶体元件所需的频率片；(5)将频率片置于晶体元件基座上，点胶固定，封装，即得硅酸镓镧晶体元件。
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- 封装的制造方法、压电振子以及振荡器-201010583306.6
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- 2010-12-10 - 2011-08-24 - H01L41/22
- 本发明提供一种无需复杂工艺就能制作高质量和高精度的制品的封装的制造方法、压电振子以及振荡器。该封装具有相互接合而在内侧形成腔室的底基板和盖基板、以及将腔室的内部和由玻璃材料构成的底基板的外部导通的贯通电极，该封装的制造方法具有：贯通孔形成步骤，在底基板用晶片上形成贯通孔；铆钉插入步骤，在贯通孔内插入由金属材料构成的导电性的铆钉；熔敷步骤，将底基板用晶片加热到比玻璃材料的软化点高的温度，使底基板用晶片熔敷在铆钉上；以及冷却步骤，对底基板用晶片进行冷却，铆钉的一个端部的截面积大于其它部分的截面积，一个端部位于底基板的外部。
- 用于制造传感器的方法-201010624375.7
- N·V·曼特拉瓦迪;S·K·加米奇 - 通用电气公司
- 2010-12-28 - 2011-08-17 - H01L41/22
- 公开一种用于制造传感器的方法，在一个实施例中，所述方法将蚀刻的半导体衬底晶片(130)接合到包括绝缘体上双硅晶片的蚀刻的装置晶片(142)，从而创建悬挂结构，悬挂结构的挠曲由嵌入的压阻传感器元件(150)来感测。在一个实施例中，传感器测量加速度。在其它实施例中，传感器测量压力。
- 用于制造至少一个机电能量转换系统的方法和机电能量转换系统-200980134390.9
- F·莱尔墨;T·潘内克;R·赖兴巴赫;M·凯克 - 罗伯特·博世有限公司
- 2009-07-08 - 2011-08-03 - H01L41/22
- 本发明涉及一种用于制造至少一个由多个单件组成的机电能量转换系统的方法，以及一种机电能量转换系统。根据该方法，将多个不同的单件(2，3，4，15，22，40，41，42)定位在装配装置(10，30)中并且在该装配装置(10，30)中在分配给这些单件的接合区域(18，24a，24b)中接合起来，其中，这些单件包括至少一个压电元件(2)、载体结构(3)和振动质量(4)。
- 一种耐高温双层压电复合材料元器件制备方法-201010589898.2
- 张军;徐平;朱学文 - 中国船舶重工集团公司第七一五研究所
- 2010-12-06 - 2011-07-20 - H01L41/22
- 本发明属于压电材料及其制备技术领域，主要是提供了一种耐高温双层压电复合材料元器件制备方法，用于水声、医用超声、工业超声等方面。该方法通过将压电材料元件采用特定方式进行切割后，在高温条件下进行聚合物的灌注和固化，制备的元器件可以工作在高温条件下，避免了常温固化元器件在高温工作时会产生较大形变。制备的元器件主要包含两部分，分布在两端，一端是单相压电材料，单相压电材料为原材料未切割端面部分，电极层保持不变；另一端通过切割和灌注等工序得来的是1-3型压电复合材料，电极层由压电材料颗粒原电极层和新制备的综合而成。本发明有益的效果：制备方法过程简便，所得元器件性能可控，随温度变形量小，可靠性高。
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