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[发明专利]压电元件、头芯片、液体喷射装置以及传感器-CN202310303950.0在审
发明人： 滨田泰彰;矢野凯己;北田和也;大桥幸司 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供一种能够对振动板的位移量的效率(线性)的下降进行抑制的压电元件、头芯片、液体喷射装置以及传感器。本发明的压电元件具备：第一电极；压电体层，其被形成在所述第一电极的上方；第二电极，其被形成在所述压电体层的上方，所述压电体层包含钾、钠和铌，并且通过纳米压痕法而被测量出的所述压电体层的杨氏模量超过130GPa。
压电元件芯片液体喷射装置以及传感器

[发明专利]压电元件以及压电元件应用器件-CN202310310757.X在审
发明人：北田和也;大桥幸司;滨田泰彰;矢野凯己 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高压电体层内部的绝缘性的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板；第一电极，其被形成在所述基板上；压电体层，其被形成在所述第一电极上；第二电极，其被形成在所述压电体层上，压电体层包含钾、钠、铌、氧和碳，在压电体层内的二次离子质谱分析中，碳的最大强度相对于氧的最大强度的比率为3.1×10‑3以上且9.1×10‑3以下。
压电元件以及应用器件

[发明专利]液滴喷出头、打印机-CN202310318683.4在审
发明人： 滨田泰彰;板山泰裕;大桥幸司;北田和也;矢野凯己;中山雅夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明涉及液滴喷出头、打印机。提供即便在高频驱动时也能够抑制异常喷出的液滴喷出头。一种液滴喷出头，具备：喷嘴板，具有喷嘴；压力室形成基板，具有压力室；振动板；以及压电元件，包含钾、钠以及铌，并形成在振动板上。压电元件具有第一电极及第二电极和位于第一电极与第二电极之间的压电体层。压电体层、第一电极及第二电极的厚度的合计比振动板的厚度大。将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积膨胀的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值为将绝对值25V的电压作为使振动板向压力室的容积收缩的方向位移的电压施加到压电元件时的振动板的位移量的绝对值的2倍以上。
喷出打印机

[发明专利]膜结构体及其制造方法-CN201880073619.1有效
发明人：木岛健;滨田泰彰 -专利权人：日商爱伯压电对策股份有限公司
申请日： 2018-11-09 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N30/079 文献下载
摘要：膜结构体具有：基板(11)，其是包含由(100)面构成的上表面(11a)的硅基板；取向膜(12)，其形成于上表面(11a)上，具有立方晶的晶体结构，且包含(100)取向的氧化锆膜；以及导电膜(13)，其形成于取向膜(12)上，具有立方晶的晶体结构，且包含(100)取向的铂膜。取向膜(12)与导电膜(13)之间的界面(IF1)的平均界面粗糙度比基板(11)与取向膜(12)之间的界面(IF2)的平均界面粗糙度大。
膜结构及其制造方法

[发明专利]压电元件-CN202310237641.8在审
发明人：大桥幸司;滨田泰彰;北田和也;矢野凯己;浅川勉;竹内正浩;堀场靖央;板山泰裕 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-13 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H10N30/85 文献下载
摘要：本发明提供一种对压电体层中的裂纹的产生进行抑制的压电元件。该压电元件(44)具备：紧贴层(445)，其被形成在振动板(36)上，并包含钛；下部电极(441)，其被形成在紧贴层(445)上；扩散抑制层(447)，其被形成在下部电极(441)上，并包含铱；种子层(442)，其被形成在扩散抑制层(447)上，并包含铋；压电体层(443)，其被形成在种子层(442)上，并包含钾、钠、铌；上部电极(444)，其被形成在压电体层(443)上。
压电元件

[发明专利]压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子-CN202310126009.6在审
发明人：北田和也;大桥幸司;滨田泰彰;矢野凯己 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H10N30/30 文献下载
摘要：本发明提供一种可以提升电气特性的压电元件、液滴喷出头、致动器以及振子。压电元件(44)具备：第一电极(441)，其被形成在基板(36)上；种子层(442)，其被形成在第一电极(441)上；压电体膜(443)，其被形成在种子层(442)上，并含有钾、钠以及铌；第二电极(444)，其被形成在压电体膜(443)上，压电体膜(443)含有锂以及一种以上的第一过渡元素，种子层(442)含有铋，当将压电体膜(443)在层叠方向上进行二等分，并将第二电极(444)侧设为第一区域(443f)且将第一电极(441)侧设为第二区域(443s)时，第一区域(443f)和第二区域(443s)的分界(s2)处的由二次离子质谱测量而得到的铋强度为，压电体膜(443)的由二次离子质谱测量而得到的最大铋强度的五百分之一以下。
压电元件喷出致动器以及

[发明专利]压电基板、压电元件及液体喷出头-CN202211655936.9在审
发明人： 滨田泰彰;酒井朋裕;清水稔弘;中山雅夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H10N30/85 文献下载
摘要：本申请提供压电基板、压电元件及液体喷出头。该压电基板能够得到即便是在大气气氛中也具有良好的压电特性的压电元件。一种压电基板，包括：基板；第一电极，形成在所述基板上；以及压电体层，形成在所述第一电极上，并包含钾、钠和铌，针对所述压电体层的表面从垂直方向倾斜54.74°照射X射线的X射线衍射测定的Psi轴方向的扫描结果中的所述压电体层的(100)面的X射线强度峰的半宽度为大于0°且在1.2°以下。
压电元件液体喷出

[发明专利]压电元件及液体喷射头-CN202211639956.7在审
发明人： 滨田泰彰;酒井朋裕;清水稔弘;中山雅夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：提供一种维持压电特性良好的同时抑制漏电流的压电元件及液体喷射头。压电元件包括：第一电极；氧化物层，形成在所述第一电极上；压电体层，形成在所述氧化物层上，并含有钾、钠以及铌；以及第二电极，形成在所述压电体层上，其中在所述第一电极和所述第二电极之间施加10V的电位差时，在以所述第一电极为高电位的情况下和在以所述第二电极为高电位的情况下，漏电流的电流密度相差10,000倍以上。
压电元件液体喷射

[发明专利]压电元件、压电元件应用设备-CN202110653119.9在审
发明人：酒井朋裕;滨田泰彰 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明提供一种在作为压电体层的材料而使用了铌酸钾钠的压电元件中作为压电特性而能够获得更大的位移特性的压电元件以及压电元件应用设备。压电元件(1)具备第一电极(20)、第二电极(40)和被设置在第一电极(20)与第二电极(40)之间的压电体层(30)，其中，压电体层(30)由包括钾(K)、钠(Na)和铌(Nb)的钙钛矿型结构的复合氧化物组成，并且在基于θ‑2θ测量的X射线衍射图谱中，具有源自(100)面的第一峰、源自(010)面的第二峰和源自(001)面的第三峰。
压电元件应用设备

[发明专利]压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置-CN202110538520.8在审
发明人： 滨田泰彰;吉田俊辅;板山泰裕;清水稔弘;中山雅夫 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供提高压电元件的响应性的压电元件、液体喷出头及液体喷出装置。压电元件具有第一电极；第二电极；压电体，其被配置在第一电极与第二电极间，在将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极之间的正电压设为饱和正电压、且将压电体中所产生的电荷为饱和状态的情况下的施加于第一电极与第二电极间的负电压设为饱和负电压时，在使被施加于第一电极与第二电极间的电压从饱和负电压逐渐变化至饱和正电压的情况下，基于压电体中所产生的电荷的电流依次经由随着该电压升高而电流变大的第一路径、随着该电压升高而电流变小的第二路径、随着该电压升高而电流变大的第三路径、随着该电压升高而电流变小的第四路径而变化。
压电元件液体喷出以及装置

[发明专利]压电材料及其制造方法以及压电元件和应用压电元件的设备-CN201480084297.2在审
发明人：角浩二;北田和也;酒井朋裕;滨田泰彰;一色铁也;木村里至;伊藤彰雄;半田恒雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2017-08-29 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：一种压电材料，含有第1成分、第2成分和第3成分，其中，第1成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度为Tc1且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第2成分在单独组成时为菱方晶系以外的晶体，居里温度Tc2比上述Tc1高且由具有钙钛矿型结构的非铅系的复合氧化物构成，第3成分在单独组成时为菱方晶系，居里温度Tc3为上述Tc2以上，由具有钙钛矿型结构且与上述第1成分不同的非铅系的复合氧化物构成，将上述第3成分相对于上述第1成分和上述第3成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1－α)×Tc1＝Tc4时，|Tc4－Tc2|为50℃以下。
压电材料及其制造方法以及元件应用设备

[发明专利]红外线传感器和热检测元件-CN201410105589.1有效
发明人：米村贵幸;野田贵史;土屋泰;滨田泰彰 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2017-08-08 - 主分类号： G01J5/20 文献下载
摘要：本发明提供能够提高红外线传感器的灵敏度的红外线传感器和热检测元件。上述红外线传感器具备基于电阻值的变化来检测热的热检测元件，该热检测元件具备第1电极6、第2电极7以及设置于第1电极6和第2电极7之间且至少含有Bi和Fe的电介质膜8。
红外线传感器检测元件

[发明专利]压电材料及其制造方法、以及压电元件和压电元件应用设备-CN201480084053.4在审
发明人：角浩二;北田和也;酒井朋裕;滨田泰彰;一色铁也;木村里至;伊藤彰雄;半田恒雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-12-26 - 公布日： 2017-08-01 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：压电材料含有第一成分，其在单独组成中为菱面体晶，居里温度为Tc1，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；第二成分，其在单独组成中为菱面晶以外的结晶，居里温度Tc2比上述Tc1低，且由具有钙钛矿型构造的非铅系的复合氧化物构成；以及第三成分，其在单独组成中为与上述第二成分相同的上述菱面体晶以外的结晶，居里温度Tc3为上述Tc1以上，具有钙钛矿型构造，且由与上述第二成分不同的非铅系的复合氧化物构成，在将上述第三成分相对于上述第二成分和上述第三成分的合计的摩尔比设为α，α×Tc3+(1‑α)×Tc2＝Tc4的情况下，|Tc4‑Tc2|为50℃以下。
压电材料及其制造方法以及元件应用设备

[发明专利]压电材料、压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置-CN201410120033.X有效
发明人：角浩二;北田和也;酒井朋裕;滨田泰彰;一色铁也;木村里至;伊藤彰雄;半田恒雄 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-03-27 - 公布日： 2017-06-30 - 主分类号： H01L41/18 文献下载
摘要：本发明提供一种压电材料及使用它的压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、超声波传感器、压电电机以及发电装置，上述压电材料可减少环境负担，在宽的使用环境温度范围内压电特性、介电特性高，并且居里温度也高。上述压电材料含有第1成分，由为菱面体晶且居里温度为Tc1的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；第2成分，由为菱面体以外的晶体的且居里温度为Tc2的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成；第3成分，由为与上述第2成分相同的晶系且居里温度为Tc3的具有钙钛矿型结构的复合氧化物构成，上述Tc1比上述Tc2高，上述Tc3为上述Tc1以上。
压电材料元件液体喷射装置超声波传感器电机以及发电

[发明专利]压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、致动器以及电机-CN201410573460.3在审
发明人： 滨田泰彰 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2014-10-23 - 公布日： 2015-04-29 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明提供压电元件、液体喷射头、液体喷射装置、致动器以及电机。上述压电元件、液体喷射头以及液体喷射装置能够改善压电特性的温度依赖性。一种压电元件，其具备由压电材料构成的压电体层和夹着该压电体层的一对电极，该压电元件在最低使用温度T1至最高使用温度T2之间使用，上述压电材料包含具有钙钛矿型构造的复合氧化物，上述压电材料具有相对于温度轴倾斜的组成相界，当与该组成相界对应的温度最低为T3、最高为T4时，满足T3≤T1≤T4以及T3≤T2≤T4的式子中的至少一个。
压电元件液体喷射装置致动器以及电机

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