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[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表-CN201310073782.7在审
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2013-03-08 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： H03H9/10 文献下载
摘要：本发明提供如下的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表：在能够通过在形成于振动臂部的前端的重锤金属膜进行激光照射而进行频率调整的压电振动器中，能够防止在频率调整时迂回电极的电特性下降。在压电振动器（1）中，将迂回电极（37）相对于基底基板（2）的横向宽度方向的中心线（C2）而偏移至一侧来配置，将压电振动片（4）相对于基底基板（2）的横向宽度方向的中心（C2）而偏移至与迂回电极（37）相反的一侧来配置。
压电振动器振荡器电子设备以及电波钟表

[发明专利]电子部件的端子连接构造、封装件、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN201210359785.2无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2012-09-25 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供能够防止与贯通电极连接的电极之间的电阻值增大并确保良好的导通性能的电子部件的端子连接构造、具备具有该电子部件的端子连接构造的基板的封装件、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。该电子部件的端子连接构造，具有贯通基底基板（2）（基板）的贯通电极（32）和与贯通电极（32）电连接的外部电极（38），其特征在于，在贯通电极（32）的外侧端面（32a）（端面），形成覆盖该外侧端面（32a）的导电性氧化物的被覆膜（70）（膜），贯通电极（32）与外部电极（38）经由导电性氧化物的被覆膜（70）电连接。
电子部件端子连接构造封装压电振动器振荡器电子设备电波

[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表-CN201210059522.X无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2012-03-01 - 公布日： 2012-09-05 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明的压电振动器(1)具备基底基板(2)、盖基板(3)、形成有激振电极(15)的压电振动片(4)以及外部电极(38、39)，其中，沿着迂回电极(37)延伸的电容量调整用的电极图案(36a)从迂回电极(36)延伸设置。从而提供能够达到小型化、低成本化并且提高电容量(C0)的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。
压电振动器振荡器电子设备电波钟表

[发明专利]石英器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟-CN201210040354.X无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2012-02-14 - 公布日： 2012-08-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种石英器件、石英器件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟，其能力图削减制造工时数，并将电极图案与凸点高精度定位。其特征在于，包括：形成于基底基板(2)上的迂回电极(27、28)；以及用于将压电振动片(5)安装在迂回电极(27、28)的凸点B，在基底基板(2)上，用于进行凸点(B)的对位的对准标记(35、36)与迂回电极(27、28)分开形成。
石英器件制造方法压电振动器振荡器电子设备以及电波

[发明专利]电子零件-CN201110435964.5无效
发明人：佐藤惠二;竹内均;中村敬彦;荒武洁;沼田理志 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-12-16 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供具有耐久性优良且能谋求电特性的提高的玻璃封装的电子零件。在具备玻璃基板(1)、与玻璃基板(1)接合的盖(2)、内部电极(6)、外部电极(4)以及配置于贯通玻璃基板(1)的贯通孔内并将内部电极(6)与外部电极(4)电连接的贯通电极的电子零件(100)中，特征在于，在贯通电极所具有的金属制的芯材(12)的端面形成有通过溅射来将金属覆膜的溅射金属层。
电子零件

[发明专利]电子器件、电子设备及电子器件的制造方法-CN201110257446.9有效
发明人：中村敬彦;佐藤惠二;竹内均;荒武洁;沼田理志 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-08-23 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的课题是，在具备在基底搭载的电子部件、在基底的电子部件搭载侧的相反侧设置的外部电极、以及与基底熔敷的贯通电极的电子器件中，确保电子部件与外部电极的导通。本发明提供的电子器件包括：基底(10)；贯通基底(10)、且通过研磨去除端面的绝缘性物质的贯通电极(21)；在贯通电极(21)的一个端面形成电路图案(30)，并通过电路图案(30)上形成的内部布线(31)而设置的电子部件(40)；在基底(10)的与设置电子部件(40)的一侧相反侧设置、并形成与贯通电极(21)的另一个端面连接的电极图案(60)、并且在电极图案(60)上形成的外部电极(61)；以及与基底接合并保护基底(10)上的电子部件(40)的盖(50)。
电子器件电子设备制造方法

[发明专利]阳极接合方法、封装件的制造方法、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟-CN200980157869.4无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2009-02-25 - 公布日： 2012-01-25 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的阳极接合方法中，在将由绝缘体或电介质构成的第一基板和能够阳极接合的第二基板层叠的状态下，对在该基板间形成的由导电体构成的接合膜施加电压，从而将所述第一基板和所述第二基板接合，在进行所述阳极接合时，从多个部位对所述接合膜施加所述电压。
阳极接合方法封装制造压电振动器振荡器电子设备电波

[发明专利]水晶基板的蚀刻方法、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN201110076944.3无效
发明人：船曳阳一;荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-03-18 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供能高精度地加工的水晶基板的蚀刻方法、用该方法形成的压电振动片、具有该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。本发明的特征在于：在水晶基板(70)的第一面(70a)接合具有与水晶基板(70)大致相同的蚀刻速度的辅助基板(72)，在此状态下，从水晶基板(70)的第二面(70b)侧起对水晶基板(70)及辅助基板(72)连续地进行干蚀刻。
水晶蚀刻方法压电振动振动器振荡器电子设备电波

[发明专利]压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN200880132242.9无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2008-11-28 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的压电振动器的制造方法，制造包括以下部分的压电振动器：第一基板和第二基板以在该第一基板和第二基板之间形成空腔的方式叠合而构成的封装件；在第一基板上以从空腔内引出到第一基板的外缘的方式形成的引出电极；被密封于空腔内并且在空腔内与引出电极电连接的压电振动片；以及形成在封装件的外表面并且在空腔的外部与引出电极电连接的外部电极，所述制造方法包括：接合膜形成工序，在第一基板和第二基板的至少一个基板上，用低熔点玻璃形成接合两基板的接合膜；装配工序，将压电振动片与形成在第一基板的引出电极电连接；以及接合工序，一边将接合膜加热到既定的接合温度，一边以夹持接合膜的方式叠合第一基板和第二基板，并通过接合膜接合两基板。
压电振动器制造方法振荡器电子设备电波

[发明专利]压电振动器的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN200880132243.3无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2008-11-28 - 公布日： 2011-10-26 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的压电振动器，其中包括：第一基板和第二基板以在该第一基板和第二基板之间形成空腔的方式叠合而构成的封装件；形成在第一基板的外表面的外部电极；以被收容空腔内的方式形成在第一基板的内部电极；以电连接外部电极与内部电极的方式贯通第一基板而形成的贯通电极；以及密封到空腔内并且在空腔内与内部电极电连接的压电振动片，第一基板和第二基板通过由低熔点玻璃构成的接合膜来接合；接合膜在接合第一基板与第二基板之际被加热到既定的接合温度，并且在所述接合之前被加热到比接合温度高的温度而形成。
压电振动器制造方法振荡器电子设备电波

[发明专利]图案形成方法、图案形成装置、压电振动器及其制造方法-CN201110072897.5无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-03-15 - 公布日： 2011-10-05 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种图案形成方法、图案形成装置、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟，在用溅镀法在基板上形成图案时，能够抑制产生图案模糊。一种图案形成方法，在成膜室(85)内用溅镀法在基板(40)上形成图案，成膜室包括：能配置多个基板地构成的工作台(86)、以及成为图案的原料的靶子(88)，具有：在基板的表面承载具有与图案对应的开口的掩模材料的工序；使多个基板移动至成膜室内，使多个基板配置在工作台的工序；将工作台旋转以使基板的表面通过与靶子对置的位置的工序；以及通过使一个基板多次通过与靶子对置的位置，在基板的表面形成图案的工序。
图案形成方法装置压电振动器及其制造

[发明专利]玻璃基板的接合方法、玻璃接合体、封装件的制造方法、封装件、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN201110079477.X无效
发明人：沼田理志;荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2011-09-28 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供在接合材料的材料采用电阻值大的Si的情况下，也能切实地将接合材料与玻璃基板之间阳极接合的、玻璃基板的接合方法、玻璃接合体、封装件的制造方法、封装件、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。其特征在于：包括阳极接合工序，将固接在盖基板用圆片(50)的内表面的接合材料(35)与基底基板用圆片(40)阳极接合，通过在盖基板用圆片(50)的内表面依次形成ITO膜(25)与Si膜(26)而构成接合材料(35)。
玻璃接合方法封装制造压电振动器振荡器电子设备电波

[发明专利]真空封装件、真空封装件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟-CN201110079478.4无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-03-21 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供气密性优异并且能谋求提高安装强度的真空封装件、真空封装件的制造方法、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。一种封装件(9)，具备互相接合的基底基板(2)及盖基板(3)、在基底基板(2)与盖基板(3)之间形成的能封入压电振动片(4)的空腔(C)、以及沿厚度方向贯通基底基板(2)并使空腔(C)的内部与外部导通的贯通电极(32、33)，其特征在于：基底基板(2)及盖基板(3)中的空腔(C)的周围，构成基板(2、3)彼此接合的接合区域，在基底基板(2)中的角部，形成有从基底基板(2)的厚度方向来看使盖基板(3)的接合面露出的缺口部(26)。
真空封装制造方法压电振动器振荡器电子设备电波

[发明专利]掩模材料、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟-CN201110072910.7无效
发明人： 荒武洁 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2011-03-15 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供用溅镀法来在基板上形成图案之际能够抑制产生图案模糊的掩模材料、压电振动器、压电振动器的制造方法、振荡器、电子设备及电波钟。一种在用溅镀法来在基板(40)上形成图案之际使用的掩模材料(80)，具有与该图案对应的开口(81)，并且未形成有该开口的部分的厚度形成为均匀。
材料压电振动器制造方法振荡器电子设备电波

[发明专利]压电振动器、振荡器、电子设备和电波钟以及压电振动器的制造方法-CN200880131836.8无效
发明人：须釜一义;荒武洁;沼田理志 -专利权人：精工电子有限公司
申请日： 2008-08-27 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明的压电振动器，其中包括：基底基板及盖基板，它们互相接合并且在它们之间形成有空腔；压电振动片，在所述空腔内装配在所述基底基板上；外部电极，形成在所述基底基板的下表面；以及贯通电极，形成为贯通所述基底基板，并维持所述空腔内的气密，并且使所述压电振动片和所述外部电极导通。所述贯通电极具备贯通孔和导电膏，该贯通孔通过具有销的成形模进行的压力成形来形成，且为锥角度落在15°以上20°以下的范围内的截面锥状，该导电膏在填充到所述贯通孔内后被硬化。
压电振动器振荡器电子设备电波以及制造方法

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