[发明专利]激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪无效
| 申请号： | 201010135331.8 | 申请日： | 2010-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN101839686A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 高思田;施玉书;卢明臻;杜华 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 100013 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本发明的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角；步骤二，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤三，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤四，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。本发明可消除干涉信号中引起非线性误差的各种谐波成分，使单频激光干涉仪的非线性误差修正达到最优化。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉仪 非线性 误差 修正 方法 装置 应用 | ||
【主权项】：
一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法，是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，其特征在于，所述方法包括：步骤一，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；步骤二，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；步骤三，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。
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