[发明专利]激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪

权利要求书

1.一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法，是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，其特征在于，所述方法包括：

步骤一，对干涉信号中的基波成分进行修正，获取初始相位角；

步骤二，对所述干涉信号中的谐波成分进行修正，获取相位角的修正值；

步骤三，依据所述初始相位角及所述相位角的修正值获取补偿修改后的精确相位角，并据此获取所述干涉仪测量镜位移以实现对干涉仪的非线性误差修正。

2.根据权利要求1所述的激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于，在所述步骤一之前还包括一修正方程建立步骤，用于依据该修正方程，从所述干涉仪的两路干涉信号中获取干涉信号的相位角。

3.根据权利要求3所述的激光干涉仪非线性误差修正方法，其特征在于，所述修正方程用有限项傅里叶级数表示如下：

u1=f1(θ)=a10+Σm=0M/4[a1(m+1)sin(θ2m)+b1(m+1)cos(θ2m)]+Σn=1N{c1nsin[(n+1)θ]+d1ncos[(n+1)θ]}u2=f2(θ)=a20+Σm=0M/4[a2(m+1)sin(θ2m)+b2(m+1)cos(θ2m)]+Σn=1N{c2nsin[(n+1)θ]+d2ncos[(n+1)θ]}]]>

式中：a₁₀、a₂₀为直流分量；

M为光学倍程数；

上式第二项为基波及由于光学倍程引起的低于基波的谐波分量，其中a_1(m+1)、b_1(m+1)、a_2(m+1)、b_2(m+1)分别为各谐波分量的系数；

上式第三项为高于基波的谐波分量，其中c_1n、d_1n、c_2n、d_2n分别为各谐波分量的系数，N为高次谐波截取长度。