[发明专利]含TiO₂ 的石英玻璃和使用该石英玻璃的光刻用光学部件无效

申请号：	200980107137.4	申请日：	2009-02-27
公开（公告）号：	CN101959818A	公开（公告）日：	2011-01-26
发明（设计）人：	小池章夫;岩桥康臣;菊川信也	申请（专利权）人：	旭硝子株式会社
主分类号：	C03C3/06	分类号：	C03C3/06;C03C4/00;C03B19/14
代理公司：	中原信达知识产权代理有限责任公司 11219	代理人：	杨海荣;穆德骏
地址：	日本***	国省代码：	日本;JP
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摘要：	本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其在使用高EUV能量的光辐照时的线性热膨胀系数基本为零，适合作为EUVL用曝光工具的光学部件。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。
搜索关键词：	tio sub 石英玻璃使用光刻用光部件
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【主权项】：

一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的卤素含量为100ppm以上；假想温度为1100℃以下；在20至100℃范围内的平均线性热膨胀系数为30ppb/℃以下；线性热膨胀系数为0±5ppb/℃时的温度宽度ΔT为5℃以上；线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于30至150℃的范围内。

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摘要：一种高硅氧玻璃及其制备方法，以高纯石英砂为基本重量份原料，采用SiO2含量大于99.995%，羟基含量低于10 ppm，60目～120目的高纯石英砂，配以占高纯石英砂质量百分比3%～5%的微量元素添加剂，其中，微量元素添加剂包括碳酸锂Li2CO3、氧化铝Al2O3、氧化硼B2O3、氧化亚铁FeO、氧化锌ZnO。本发明采用连熔法制备SiO2含量大于90%的高硅氧玻璃，具有工艺过程简单、可连续生产的优点；同时因熔制温度远高于传统的烧结温度，制备的高硅氧玻璃的质量更好。

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一种耐高温绿色玻璃的制备方法-201510877113.4
发明人：李嘉 -专利权人：李嘉
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种耐高温绿色玻璃的制备方法，包括以下步骤：将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份、氧化亚铁0.02-0.08份和重铬酸钾0.01-0.05份混匀，熔制得玻璃液，将玻璃液在室温水中水淬，取出，烘干球磨得着色剂玻璃，再将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份和着色剂玻璃混匀，熔制，成型，保温，冷却至室温即得耐高温绿色玻璃。本发明的耐高温绿色玻璃耐高温性能优良，在持续高温暴晒下不易涨裂，且着色均匀，透光性好。

一种耐高温黑色玻璃的制备方法-201510876946.9
发明人：李嘉 -专利权人：李嘉
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种耐高温黑色玻璃的制备方法，包括以下步骤：将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份、四氧化三铁0.02-0.08份和氧化铜0.01-0.05份混匀，熔制得玻璃液，将玻璃液在室温水中水淬，取出，烘干球磨得着色剂玻璃，再将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份和着色剂玻璃混匀，熔制，成型，保温，冷却至室温即得耐高温黑色玻璃。本发明的耐高温黑色玻璃耐高温性能优良，在持续高温暴晒下不易涨裂，且着色均匀，透光性好。

一种耐高温蓝色玻璃的制备方法-201510877106.4
发明人：李嘉 -专利权人：李嘉
申请日： 2015-12-03 - 公布日： 2016-03-30 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种耐高温蓝色玻璃的制备方法，包括以下步骤：将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份、铝酸钴0.02-0.08份混匀，熔制得玻璃液，将玻璃液在室温水中水淬，取出，烘干球磨得着色剂玻璃，再将二氧化硅90-110份、二氧化锆3-7份、五氧化二磷2-10份、氧化铝4-12份、石灰石1.5-5份、氧化镍0.5-1.2份和着色剂玻璃混匀，熔制，成型，保温，冷却至室温即得耐高温蓝色玻璃。本发明的耐高温蓝色玻璃耐高温性能优良，在持续高温暴晒下不易涨裂，且着色均匀，透光性好。

高透光玻璃及其制备方法-201510473962.3
发明人：林恢龙;王宝宁 -专利权人：芜湖新利德玻璃制品有限公司
申请日： 2015-08-05 - 公布日： 2015-12-02 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种高透光玻璃及其制备方法，该制备方法包括将石英砂、纯碱、石灰石、蛭石、木炭粉、氧化锑和碎玻璃混合、热处理和冷却成型制得高透光玻璃。通过该方法制得的玻璃具有优异的透光性。

一种低羟基蓝色石英管及其生产方法-201410654151.9
发明人：陶明顿;张尧;濮阳坤 -专利权人：连云港福东正佑照明电器有限公司
申请日： 2014-11-18 - 公布日： 2015-04-01 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种低羟基蓝色石英管及其生产方法，属于用于汽车的带有改变颜色或光强的照明装置部件领域，用于汽车等的照明，包括含SiO₂纯度≥99.98%的石英砂100份、硝酸钴0.2~0.4份、硝酸锂0.05~0.15份、硝酸铝0.03~0.06份；将上述硝酸钴、硝酸锂、硝酸铝溶于2份的水中，并充分搅拌；将获得的溶液与100份的石英砂混合，混合均匀后送入烤砂炉中进行烘干，烘干温度为750℃并冷却至室温后送入连熔炉，连熔炉温度为2000~2200℃，待石英砂原料充分熔融后拉制成羟基含量低于1ppm的低羟基蓝色石英管。本发明能够在生产过程中对石英管从内到外进行加色，且工艺及配方简单、生产成本低。

一种连熔炉直接拉制的滤紫外石英玻璃板-201310407101.6
发明人：张之光 -专利权人：张之光
申请日： 2013-09-10 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： C03C3/06
摘要：本发明公开了一种连熔炉直接拉制的滤紫外石英玻璃板，包含有由高纯石英砂制成的石英玻璃板，所述石英玻璃板中设有1.5％-3％重量份的微量元素，其中微量元素按照如下重量比进行配比：氧化镍0.4-0.8、三氧化二钴0.2-0.4、氧化钛0.2-0.5、氧化铬0.1-0.3、氧化钡0.1-0.4、氧化钾0.3-0.8、重铬酸钠0.1-0.3。通过在石英玻璃板的生产中添加微量元素，使其具有透光率低、吸光范围宽的作用和起到保护眼睛的目的。

专利分类

C 化学；冶金

C03 玻璃；矿棉或渣棉
C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C3-00 玻璃组成
C03C3-04 .含二氧化硅
C03C3-12 .无二氧化硅的氧化物玻璃组成
C03C3-32 .非氧化物玻璃组成，例如锗、硒或碲的二元或三元卤化物、硫化物或氮化物
C03C3-14 ..含硼
C03C3-16 ..含磷

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[发明专利]含TiO2 的石英玻璃和使用该石英玻璃的光刻用光学部件无效

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[发明专利]含TiO₂ 的石英玻璃和使用该石英玻璃的光刻用光学部件无效