[发明专利]一种石英坩埚的制备工艺在审
| 申请号： | 201810288375.0 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN108585475A | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 胡汉涛 | 申请（专利权）人： | 湖州五石科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C03C6/04;C03B19/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 313009 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英坩埚的制备工艺，包括以下步骤：（1）、制备石英坩埚用石英砂泥浆；（2）、加入真空度为0.01‑0.1pa的金属合金模具内旋转成型；（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500‑2800ºC，电极棒起弧电压140‑160V；（4）、自然冷却至室温进行脱模；（5）、酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；（6）、烘干、涂层处理；（7）、冷却至室温，检验包装入库。本发明提供一种石英坩埚的制备工艺，生产成本低、周期短，节约能耗，而且产品气泡数量少、使用寿命长，拉制单晶硅成功率高。 | ||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 制备工艺 模具 单晶硅 生产成本低 高温熔制 高压冲洗 高压喷淋 检验包装 金属合金 起弧电压 使用寿命 涂层处理 真空电弧 拉制 电极棒 内旋转 石英砂 烘干 泥浆 超声 熔制 酸洗 脱模 制备 成功率 成型 冷却 能耗 入库 节约 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚的制备工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）、按质量百分比取石英砂95‑96%，碳酸钙0.5‑1%，聚乙烯醇0.5‑2%，高岭土2‑5%，硅酸钠1‑2%混合均匀形成配合料后，再将配合料加入球磨机中，再向球磨机中加入蒸馏水，放入与配合料等重量的球石球磨40‑50h，将料浆从球磨机中倒出，并过120‑150目标准筛，得石英坩埚用石英砂泥浆；（2）、将上述石英砂泥浆原料加入真空度为0.01‑0.1pa 的金属合金模具内旋转成型；（3）、真空电弧高温熔制模具内的原料，控制熔制温度为2500‑2800ºC，电极棒起弧电压140‑160V；（4）、将熔制好的石英坩埚自然冷却至室温进行脱模；（5）、对石英坩埚进行酸洗、高压冲洗、超声和高压喷淋；（6）、清洗后的石英坩埚先后进行烘干、涂层处理；（7）、涂层处理后的石英坩埚进行冷却至室温，检验包装入库。
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