[发明专利]发光器件的制造方法有效
申请号: | 200810086861.0 | 申请日: | 2008-03-17 |
公开(公告)号: | CN101271869A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | 平形吉晴;佐藤阳辅;横山浩平;桑原秀明;山崎舜平 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L21/84 | 分类号: | H01L21/84;H01L27/32 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 沈昭坤 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种发光器件的制造方法,实现使用多种发光元件而成的全彩色发光器件,在所述多种发光元件中,在一对电极之间设置具有通过液滴喷射装置选择性地形成的第一材料层和使用在表面形成包含有机化合物的层的导电表面板块通过蒸镀法形成的第二材料层的叠层。另外,第一材料层是混合存在有机化合物和作为无机化合物的金属氧化物的层。通过分别调节根据发光颜色不同的发光元件的第一材料层的厚度,可以利用光的干扰现象选择性地强调白色发光成分中的蓝色发光成分、绿色发光成分、或红色发光成分来取光。 | ||
搜索关键词: | 发光 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种发光器件的制造方法,所述发光器件至少具有发射第一颜色的第一发光元件以及发射与所述第一颜色不同的第二颜色的第二发光元件,包括如下工序:在第一衬底上形成第一电极;通过液滴喷射法在所述第一电极上选择性地形成第一材料层;在第二衬底上形成包含发光材料的层;布置形成在所述第二衬底上的包含所述发光材料的所述层和形成在所述第一衬底上的所述第一材料层,以使它们彼此对置;加热所述第二衬底并且使包含所述发光材料的所述层蒸发,使得在所述第一材料层上形成包含所述发光材料且发射白色光的第二材料层;在所述第二材料层上形成第二电极,其中所述第一发光元件的所述第一材料层和所述第二发光元件的所述第一材料层分别具有不同的膜厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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