[发明专利]一种超大功率二维半导体锁相列阵稳定震荡模式技术

摘要

本发明提供了服务于超大功率半导体列阵稳定选择同相模震荡的双路自适应传感补偿稳模系统技术，给出了构建位置可以互换的两路并联的自适应传感补偿稳模系统的方式方法，包括基于转折结构外腔构建与CCD1相关的一路测量外腔形变的子系统和补偿外腔形变的子系统的方式方法，与CCD2相关的一路测量外腔形变的子系统和补偿外腔形变的子系统的方式方法；每一路测量外腔形变的子系统通过各单元协同，测量被外腔镜反射的He－Ne激光束波前斜率相关参数，计算出外腔形变量和所需补偿量，再由补偿外腔形变的子系统各单元协同，补偿一个方向的外腔形变的方式方法；以及双路自适应传感补偿稳模系统，在每一路自适应传感补偿稳模系统各测量一个方向形变参数的基础上，联合协同优化补偿操作，抵消β扰动引起的超模光成像位置的改变的方式方法。通过构建适配外腔转折结构的两路并联的自适应传感补偿稳模系统，实现了适时补偿由残余热效应等引起的外腔镜随机形变，使得采用倾斜匹配角度的外腔镜锁相的超大功率二维半导体列阵稳定地震荡于同相模，保障列阵稳定输出的高质量。

主权项

1、服务于超大功率半导体列阵稳定选择同相模震荡的双路自适应传感补偿稳模系统，包括基于转折结构外腔构建双路自适应传感补偿稳模系统，每一路自适应传感补偿稳模系统包括测量外腔形变的子系统、补偿外腔形变的子系统。其特征在于：所述双路自适应传感补偿稳模系统为两个并联的自适应传感补偿稳模系统，测量外腔形变的子系统位于反射镜2之外，补偿外腔形变的子系统位于分光镜和反射镜2中间，两路并行地各校正外腔镜一个方向的形变。