[发明专利]被处理基板的除电方法、基板处理装置、程序

摘要

本发明涉及的除电装置，不仅在对被处理基板的处理正常结束时，而且在对被处理基板的处理非正常结束时，也可以对被处理基板充分除电。在使吸附保持在载置台例如下部电极(120)的静电卡盘(122)的状态下，进行规定处理的被处理基板例如晶片(W)从静电卡盘(122)脱离情况下进行除电处理的基板处理装置中，判断在进行晶片(W)的除电前晶片(W)的规定处理是否正常结束，在判断为正常结束时，根据来自正常时除电条件信息存储部件的正常时除电条件信息设定除电条件，在判断为非正常结束时，根据来自非正常时除电条件信息存储部件的非正常时除电条件信息设定除电条件，根据设定的除电条件进行晶片(W)的除电处理。

主权项

1.一种被处理基板的除电方法，其在吸附保持在配置于处理室内的载置台的状态下的进行规定处理的被处理基板从所述载置台脱离时进行，其特征在于，具有：在进行所述被处理基板的除电前，判断对所述被处理基板的规定处理是否正常结束，当判断为正常结束时，根据存储在正常时除电条件信息存储部件中的正常时除电条件信息设定除电条件，当判断为非正常结束时，根据存储在非正常时除电条件信息存储部件中的非正常时除电条件信息设定除电条件的除电条件设定工序；和根据通过所述除电条件设定部件设定的除电条件进行所述被处理基板的除电处理的除电处理实行工序。