[发明专利]感光型聚酰亚胺薄膜是否偏移的叠对标志及其检测方法无效
| 申请号： | 200410089395.3 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1786821A | 公开（公告）日： | 2006-06-14 |
| 发明（设计）人： | 郑铭仁;傅国贵 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光型聚酰亚胺薄膜是否偏移的叠对标志及其检测方法，它是在一金属层上形成一多个以同一中心点而不同内径比所形成的正八边形对准图案叠对标志，再对沉积在金属层上方的感光型聚酰亚胺薄膜进行曝光、显影以形成一与对准图案叠对标志同中心点的正八边形图案，通过正八边形对准图案与叠对标志的叠对情况，以获知该感光型聚酰亚胺薄膜偏移的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 聚酰亚胺 薄膜 是否 偏移 标志 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
1、一种检测感光型聚酰亚胺薄膜是否偏移的叠对标志，特征在于：包括有多个以同一中心点，而不同内径比所呈现的正八边形对准图案，且以最内层的正八边形对准图案为起始层的奇数层正八边形对准图案比偶数层的正八边形对准图案所处水平面低。
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