专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]曝光装置-CN202180092160.1在审
  • 村上晃一;滝上耕太郎;阿部哲也 - 株式会社尼康
  • 2021-01-29 - 2023-09-19 - G03F7/20
  • 本发明提供能够实现微细图案成形的曝光装置。本发明的曝光装置具备射出曝光用光的光源、具有多个曝光用元件且配置在曝光用光的至少一部分的光路上的曝光图案形成装置、以及与曝光图案形成装置电连接的控制单元,控制单元通过将各曝光用元件切换成第1状态或者第2状态,对经由各曝光用元件的曝光用光是否照射至工件进行控制,使经由多个曝光用元件中的第1状态的第一曝光用元件的曝光用光的一部分光、以及经由多个曝光用元件中的与第一曝光用元件不同的第1状态的第二曝光用元件的曝光用光的一部分光伴随工件与曝光图案形成装置的相对移动,依次照射至预定曝光区域的规定区域,由此使规定区域中的曝光量累计。
  • 曝光装置
  • [发明专利]光检测器-CN202080068182.X在审
  • 村松雅治;米田康人;小林宏也;阿部哲也;谷口健一郎 - 浜松光子学株式会社
  • 2020-08-28 - 2022-05-06 - H01L27/146
  • 本发明涉及一种光检测器。光检测器具备受光元件和封装体。封装体具有:收容部件,其由陶瓷形成;配线,其包含通过导线与受光元件的端子连接的焊盘;及光透过部件。在收容部件的底壁,形成有通过粘接部件安装有受光元件的载置面。在收容部件的底壁或侧壁,形成有位于比载置面更靠收容部件的开口侧的位置且配置有焊盘的焊盘面。在侧壁形成有贯通孔。贯通孔的内侧端部的至少一部分位于比受光元件的开口侧的表面更靠开口侧的位置。
  • 检测器

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