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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法-CN201910675192.9有效
发明人：元村祐己;曾根浩;加贺谷靖之;铃木直行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-07-25 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供载置台装置、处理装置和载置台装置的操作方法，相比于现有技术能够抑制由剩余电荷导致的基片的偏移和破损。上述载置台装置包括：静电吸盘，其正面形成有能够与基片的背面电接触的导电膜；迂回至上述静电吸盘的背面的导电部件，该导电部件与上述导电膜电连接；和移动部件，其经由连接部件与上述导电部件电连接，并能够在与接地电位连接的位置和不与接地电位连接的位置之间移动。
载置台装置处理操作方法

[发明专利]基板输送装置和基板处理系统-CN202080080931.0在审
发明人：波多野达夫;宫下哲也;渡边直树;铃木直行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种输送基板的基板输送装置。本公开的一技术方案的基板输送装置包括：平面马达，其设于输送室，并具有排列着的线圈；输送单元，其在所述平面马达上移动；以及控制部，其控制所述线圈的通电，所述输送单元包括：两个基座，其具有排列着的磁体，并在所述平面马达上移动；基板支承构件，其用于支承基板；以及连杆机构，其将所述基板支承构件和两个所述基座连结。
输送装置处理系统

[发明专利]基板输送装置和基板处理系统-CN202080080938.2在审
发明人：波多野达夫;宫下哲也;渡边直树;铃木直行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-11-20 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： H02K41/03 文献下载
摘要：提供一种输送基板的基板输送装置。基板输送装置包括：第1平面马达，其设于第1室，并具有排列着的线圈；第2平面马达，其设于与所述第1室连接的第2室，并具有排列着的线圈；一对输送单元，其在所述第1平面马达和/或所述第2平面马达上移动，并能够输送基板；以及控制部，其控制所述第1平面马达和所述第2平面马达的线圈的通电。
输送装置处理系统

[发明专利]溅射装置-CN201910547442.0有效
发明人：武井纯一;曾根浩;铃木直行;居本伸二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-24 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种能够容易地改变开口部的形状的技术。本发明的一个方式的溅射装置包括：收纳基片的处理容器；和缝隙板，其将上述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置上述基片的第二空间，上述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在上述内侧部件的周围的外侧部件，上述内侧部件相对于上述外侧部件是可拆装的。
溅射装置

[发明专利]膜厚测量装置、膜厚测量方法、成膜系统和成膜方法-CN202110224635.X在审
发明人：品田正人;竹山环;小野一修;铃木直行;千早宏昭;E·N·阿瓦拉 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以in‑situ的方式测量成膜后的非常薄的膜的膜厚的膜厚测量装置、膜厚测量方法、成膜系统和成膜方法。膜厚测量装置是在成膜系统中以in‑situ的方式测量形成在基片上的膜的膜厚的膜厚测量装置。该膜厚测量装置包括：能够载置形成有膜的基片的载置台；测量光射出/检测单元，其具有向载置台上的基片射出膜厚测量用的光的光射出部，和接收光在基片反射后的反射光的受光传感器；使光在基片上的照射点移动的移动机构；测量受光传感器与基片上的照射点之间的距离的测距仪；和调节受光传感器与基片上的照射点之间的距离的距离调节机构。
测量装置测量方法系统方法

[发明专利]溅射装置-CN201980041218.2在审
发明人：武井纯一;渡边直树;曽根浩;铃木直行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-06-17 - 公布日： 2021-02-02 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本公开的一形态的溅射装置具有：处理容器，其收容基板；狭缝板，其在所述处理容器内的所述基板的上方与所述基板的表面平行地配置，并具有在板厚方向上贯通的开口部；以及受热用板，其在相对于所述狭缝板倾斜设置的靶材的下方载置于所述狭缝板之上，由耐热性比所述狭缝板的耐热性高的材料形成。
溅射装置

[发明专利]温度测定机构、温度测定方法以及载物台装置-CN202010165216.9在审
发明人：中川西学;铃木直行;居本伸二;横原宏行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-03-11 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够以高精度稳定地测定旋转的载物台的温度的温度测定机构、温度测定方法以及载物台装置。一种温度测定机构，其用于测定载物台的温度，该载物台载置被处理基板，并设置成能够旋转，该温度测定机构具有：温度检测用接触部，其设置于载物台的不成为被处理基板的载置的障碍的位置；和温度检测部，其具有温度传感器，在温度测定时以外设置于与所述温度检测用接触部分离开的位置，在测定载物台的温度之际，在载物台未旋转的状态下，使温度检测用接触部与温度检测部接触。
温度测定机构方法以及载物台装置

[发明专利]载置台装置和处理装置-CN201911012343.9在审
发明人：中川西学;铃木直行;居本伸二;横原宏行;山形基;前田幸治 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在将所载置的基板冷却成极低温的状态下使该基板旋转且冷却性能较高的载置台装置和处理装置。载置台装置具备：载置台，其在真空容器内保持被处理基板；冷冻传导体，其以与载置台隔着间隙的方式固定配置于载置台的背面侧，被冷冻机冷却成极低温；冷却流体，其向间隙供给，用于将冷冻传导体的冷能向载置台传导；载置台支承部，其将载置台支承成能够旋转，呈覆盖冷冻传导体的上部的圆筒状，并且具有真空绝热构造；以及旋转部，其支承载置台支承部，在被磁性流体密封着的状态下被驱动机构驱动而旋转。
载置台装置处理

[发明专利]载置台装置和处理装置-CN201911013080.3在审
发明人：中川西学;铃木直行;居本伸二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2020-05-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够在将所载置的基板冷却成极低温的状态下使该基板旋转且冷却性能较高的载置台装置和处理装置。载置台装置具备：载置台，其在真空容器内保持被处理基板；冷冻机，其具有被保持在极低温的冷头部；冷冻传导体，其以与冷头部接触了的状态固定配置，与载置台隔着间隙地设置到载置台的背面侧；绝热构造部，其以覆盖至少冷头部和冷冻传导体的与冷头部之间的连接部的方式设置，具有真空绝热构造；冷却流体，其向间隙供给，用于将冷冻传导体的冷能向所述载置台传导；以及载置台支承部，其被驱动机构驱动而旋转，将所述载置台支承成能够旋转。
载置台装置处理

[发明专利]在减压后的空间对被加工物进行处理的处理装置-CN201611095507.5有效
发明人：海濑拓也;曾根浩;铃木直行 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-12-02 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种处理装置，抑制多个升降销相对于处理装置的载置台的相对移动所引起的颗粒的产生，且提高被加工物向载置台上的搬送精度。一实施方式的处理装置中，在处理容器内设置有载置台。在载置台形成有多个升降销用的多个贯通孔。多个升降销经由支承体被花键轴支承。花键轴由花键轴承可上下移动地支承。多个升降销被弹簧部件经由花键轴向上方施力。花键轴、花键轴承和弹簧部件设置在从处理容器内的可减压的空间分离了的处理容器的外部的空间。
减压空间加工进行处理装置

[发明专利]香水保持器构件以及香味提供装置-CN201780002967.5在审
发明人：藤田修二;寒川恒俊;野本航也;石垣祐次;中野嗣己;田中敬太;铃木直行 -专利权人：索尼公司
申请日： 2017-03-31 - 公布日： 2018-04-17 - 主分类号： A61L9/12 文献下载
摘要：提供香水保持器构件和香味提供装置，它们能够防止该装置变得更大且提高了香味持续性。香水保持器构件包括制造在主体中来保持香水的保持器空间；以及配置成将保持器空间向主体的外部敞开的第一开口和第二开口。空气流通道包括该保持器空间、第一开口和第二开口。
香水保持构件以及香味提供装置

[发明专利]制动器驱动控制装置-CN201310552048.9有效
发明人：松本康之;铃木直行 -专利权人：发那科株式会社
申请日： 2013-11-07 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： B25J9/10 文献下载
摘要：本发明提供一种可以将制动器的状态迅速从释放状态变更为止动状态的制动器驱动控制装置。二极管（23）具有与制动器线圈（7a、7a’）的另一端连接的阳极以及与滤波电容器（3）的一端连接的阴极。二极管（24）具有与滤波电容器（3）的另一端连接的阳极以及与制动器线圈（7a、7a’）的一端连接的阴极。通过设置二极管（23、24），NPN型晶体管（21）和NPN型晶体管（22）中的至少一方为导通状态时积蓄在制动器线圈（7a、7a’）中的能量，当NPN型晶体管（21、22）为截止时被回馈给滤波用电容器（3）。
制动器驱动控制装置

[发明专利]基板热处理设备-CN201080070887.1有效
发明人：冈田拓士;中泽俊和;铃木直行 -专利权人：佳能安内华股份有限公司
申请日： 2010-12-21 - 公布日： 2013-08-28 - 主分类号： H01L21/26 文献下载
摘要：本发明提供了如下基板热处理设备：该基板热处理设备能够在减少由于高温时的热膨胀引起的组成构件的破损的情况下高速、均匀地加热基板。本发明的一个实施方式为对基板进行热处理的基板热处理设备，并且包括：能够支撑基板的外周环（4）；连接环（6）；升降外周环（4）的升降装置（20）；导热率小于外周环（4）的导热率的球（12）；以及加热由外周环（4）支撑的基板的灯（11）。球（12）是不同于外周环（4）和连接环（6）两者的构件。升降装置（20）使外周环（4）在靠近灯（11）的第一位置和远离灯（11）的第二位置之间升降。
热处理设备

[发明专利]驱动与旋转轴连接的伺服电动机的伺服电动机驱动装置-CN201210441666.1有效
发明人： 铃木直行;松本康之 -专利权人：发那科株式会社
申请日： 2012-11-07 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H02P5/74 文献下载
摘要：伺服电动机驱动装置具有第一变换器、具有第一开关元件以及再生电阻的再生电阻电路、能够自由装卸第二变换器地与再生电阻电路并联的第一连接部、控制第一开关元件的导通关断状态的第一控制部。第二变换器具有第二开关元件、在第二变换器与第一连接部连接的情况下使第二开关元件成为导通状态并向交流电源侧再生再生能量的第二控制部。
驱动旋转轴连接伺服电动机装置

[发明专利]容纳箱-CN201110221408.8有效
发明人：桂山守;铃木直行;后畑耕三;横幕刚志;酒匂章 -专利权人：日东电工株式会社;中津川包装工业股份有限公司
申请日： 2011-08-03 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： B65D85/02 文献下载
摘要：本发明提供一种容纳箱，其用于容纳自两端部突出有轴构件的卷状物。其包括：端面壁体，其用于通过支承轴构件而以悬空状态水平配置卷状物；以及侧面壁体，其用于将端面壁体彼此连结，并配置成位于以卷状物为中心的水平方向两侧。侧面壁体包括：平板状的壁面部，其沿铅垂方向配置；以及突出部，其在壁面部的铅垂方向的中间位置形成在水平方向的两端之间的整个区间，并能够以面状抵接于卷状物的侧周面。
容纳

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