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[发明专利]一种基于扫描式曝光机的动态照明方法-CN202110718865.1有效
发明人：卞玉洋;赖璐璐;郭晓波;张聪 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种基于扫描式曝光机的动态照明方法，提供用于曝光的光罩以及与光罩对应的GDS文件；根据GDS文件中的数据将光罩上的图形信息沿曝光时光罩移动的方向分为宽度相同的n个区域，对n个区域内的图形信息进行SMO计算，生成与n个区域分别对应的n个SMO文件；将n个SMO文件进行组合优化得到DSMO文件；根据DSMO文件、关照及晶圆的移动速度生成光源反射镜阵列的驱动程序，通过调用光源反射镜阵列的驱动程序控制曝光机反射镜阵列实现照明。本发明的DSMO方式精确到每个曝光狭缝区域内，使针对图形的照明优化进一步提高，可增大光刻工艺窗口，降低光刻成本。DSMO通过提升光刻工艺窗口的方式甚至有可能会降低光罩数量。
一种基于扫描曝光动态照明方法

[发明专利]一种鳍式场效应晶体管中扩散中断结构的形成方法-CN202210185332.6在审
发明人：郭晓波;张瑜;钱睿;赖璐璐 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种鳍式场效应晶体管中扩散中断结构的形成方法，在衬底上进行光刻工艺，形成单扩散中断结构的光刻图形；刻蚀衬底，形成刻蚀后的单扩散中断结构；进行外延生长工艺，在衬底表面、刻蚀后的单扩散中断结构表面形成外延层，从而形成外延后的单扩散中断结构；在单扩散中断结构处刻蚀外延层和衬底，形成多个间隔排布的鳍片；在鳍片之间形成隔离层，且鳍片的顶部高于隔离层的顶部；在单扩散中断结构处的隔离层的顶部以及鳍片的侧壁和顶部分别形成相互间隔的栅极。提高光刻工艺窗口，从而避免使用更昂贵的极紫外光刻工艺；二是减小单扩散中断结构光刻图形的桥接缺陷，从而解决传统工艺中鳍片无法完全切断的问题，进而提高产品良率。
一种场效应晶体管扩散中断结构形成方法

[发明专利]一种变电站绝缘子用防青苔型防污闪涂料-CN202111587002.1有效
发明人：池招荣;樊云鹏;黄万深;陈阳深;陈文通;李捷睿;覃显南;赖璐璐;黄国月;黄永芳;吴泰乐;周春杰;李杰儒;何江潇;卢晶晶;黄雅琴;廖曼君 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局;广西新电力投资集团宁明供电有限公司
申请日： 2021-12-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C09D183/07 文献下载
摘要：本发明提供一种变电站绝缘子用防青苔型防污闪涂料，由重量百分比为70.8％的基料和29.2％的辅料组成，其中：基料为室温硫化硅橡胶，由重量百分比为70％的基础硅树脂、0.3％的交联剂和0.5％的催化剂组成；辅料由重量百分比为5％的增强剂、2.5％的防霉抗菌剂、5％‑10％的颜料和11.7％‑16.7％的溶剂组成。本发明的变电站绝缘子用防青苔型防污闪涂料，同时具备两种性能，一是防污闪性能，二是防青苔附着及生长的性能，并且施工简单，无需多种材料进行喷涂施工，防青苔附着效果好，减少人工除青苔的运维工作量。
一种变电站绝缘子青苔防污涂料

[实用新型]一种新型标识牌结构-CN202222901212.X有效
发明人：池招荣;周建荃;刘瑜;覃飞龙;杨钊钊;赖璐璐;卢丽丽;林利;周晶;梁威仕;卢晶晶;劳国勉;朱彦魁 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2022-11-01 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G09F7/10 文献下载
摘要：本实用新型属于安全标识器具技术领域，具体涉及一种新型标识牌结构，包括标识板本体、嵌入机构和限位机构，标识板本体为中空结构且下端开口，标识板本体内腔的两侧沿其深度方向均设有一组导向结构，导向结构包括两块平行设置的定位板，两块定位板之间形成一个滑槽，嵌入机构滑设在滑槽内，位于上方的一块定位板上开设有贯穿孔，限位机构设置在标识板本体上且其末端穿过贯穿孔并抵压在嵌入机构上。本实用新型具有能够较全面的展示设备的信息，更好的对设备的运行风险标记和日常维护人员的进行识别，同时能够防止各个供电柜等设备信息以及设备维护记录查阅产生丢失或者混淆的情形发生的技术特点。
一种新型标识结构

[发明专利]一种控制安全绳长度提高高空作业效率及防坠方法-CN202211320669.X在审
发明人：池招荣;樊云鹏;覃显南;赖璐璐;马洪杰;周春杰;卢晶晶;梁秋曦;李杰儒;廖曼君;唐华鹏;龙丽娜;许镫 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2022-10-26 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： A62B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制安全绳长度提高高空作业效率及防坠方法，包括以下步骤：获取安全带卡扣锁紧信号、安全带挂扣锁紧信号、安全带挂扣三维位置信号、安全绳结点三维位置信号，并进行预处理；基于预处理结果生成安全绳控制信号或告警信号；根据安全绳控制信号对安全绳进行卷收处理；基于卷收处理结果，选择生成安全绳增加阈值控制信号或安全绳减少阈值控制信号；实现了通过增加或减少安全绳的长度，提高高空作业效率和高空作业安全性。
一种控制安全长度提高高空作业效率方法

[发明专利]一种智能防凝露系统设备及其使用方法-CN202211325548.4在审
发明人：覃显南;樊云鹏;池招荣;赖璐璐;李杰儒;方毅;周春杰;卢晶晶;黄国月;王智;廖曼君;黄军淋;李青洪 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： G05D22/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能防凝露系统设备使用方法，采集高压开关柜凝露信息；计算凝露点温度；高压开关柜凝露信息与凝露点温度比对进行分析判断；根据判断信息采用除湿方法。本发明采集高压开关柜凝露信息，当达到除湿的标准后通过除湿机构进行除湿，对高压开关柜内湿度和温度等因素进行分析判断，采用相适应的除湿方法，以起到调节柜内空气相对湿度的功能，可从根本上解决电气设备内部湿度，抑制凝露现象的产生，保证电网安全运行。
一种智能防凝露系统设备及其使用方法

[发明专利]光刻热板动态温度控制光刻胶膜厚的方法-CN202010878459.7有效
发明人：钱睿;赖璐璐 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2020-08-27 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种光刻热板动态温度控制光刻胶膜厚的方法，利用设有同心圆电阻丝的热板加热晶圆上的光刻胶，量测加热后晶圆各半径处的光刻胶膜厚，得到晶圆半径与其对应的膜厚的集合；根据集合与热板电压与温度的关系得到不同半径的电阻丝对应的电压的集合；用数据反馈系统将量测的膜厚反馈至热板；热板电压调节系统根据反馈至热板的集合中的晶圆半径调节热板不同半径对应的电压，使得热板对后续晶圆上的光刻胶加热后，晶圆不同半径处的光刻胶膜厚趋于均匀。本发明通过调节热板不同半径的电阻丝的电压，对热板不同区域实现独立的温度控制，对旋涂效应产生的膜厚差异分布进行补偿，从而改善光刻胶的不均匀性，并通过膜厚数据实时反馈动态调整温度。
光刻动态温度控制胶膜方法

[发明专利]表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法-CN202210395940.X在审
发明人：钱睿;赖璐璐;张聪 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-04-14 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法，横向以及与横向垂直的纵向；切割层图形和心轴图形组成的两层数据；其中心轴图形由中心图形和两侧图形组成；中心图形由多个沿横向间隔分布的多边形组成；切割层图形由多个沿纵向间隔分布的多边形组成，并且切割层图形叠放在中心图形上；两侧图形位于中心图形的两侧；中心图形由多个沿横向X间隔分布的多边形组成。本发明通过testkey的设计使SADP切割层刻蚀后产生印记，同时保持testkey的刻蚀行为与中心图形一致；通过testkey的量测直接对切割层的套刻误差进行量测；可以通过testkey的量测结果对套刻误差间接量测方法的准确性进行表征。
表征对准成像工艺误差准确性 testkey 应用方法

[发明专利]自对准成像工艺硬掩膜层刻蚀偏差的测量方法-CN202210170172.8在审
发明人：钱睿;赖璐璐;刘必秋;张聪 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种自对准成像工艺剪切层刻蚀偏差的测量方法，设计测试图形，主版图包括在X方向等间距分布、在Y方向以相差固定偏移量依次分布的牺牲层图形和多行沿着X，Y方向等间距分布的剪切层图形。每一列相邻的两个牺牲层图形在Y方向的周期与剪切层图形的周期一致。将该测试图形转移至光罩上，经过一系列光刻和刻蚀等工艺后，利用大场检测工具进行检测，通过正好被完全剪切掉的fin结构和刚刚被剪切到的fin结构的位置来确定刻蚀后图形的边界。本发明准确地确定剪切层AEI CD的边界，从而确定刻蚀偏差，为光学临近效应校正/光刻/刻蚀工艺的调整提供参考，提高工艺修正和调整的准确性，减少缺陷的产生。
对准成像工艺硬掩膜层刻蚀偏差测量方法

[发明专利]一种增大集成电路中旋转工艺窗口的装置及方法-CN202210185239.5在审
发明人：钱睿;赖璐璐;郭晓波;张聪 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种增大集成电路中旋转工艺窗口的装置及方法，转台上设有由多个密集排布且能独立升降的顶针，其中每个顶针均设有传感器；传感器用于探测顶针的顶端与晶圆背面的距离，并基于探测到的距离自动调节所述顶针的高度，使得顶针顶端与晶圆背面紧密贴合。本发明通过将光刻制程晶圆清洗单元中和晶圆接触的转台设计成多个有一定半径、密集排布、能独立升降且带有传感器的顶针，利用传感器探测各个顶针与晶圆之间的距离，并调节顶针的高度使每个顶针都能与晶圆背面紧密贴合，以得到优良的真空吸附效果，减少因晶圆背面污染或晶圆翘曲造成转台与晶圆之间接触不良，无法有效吸附而在旋转作业中发生掉/退片，最终提高生产效率。
一种增大集成电路旋转工艺窗口装置方法

[实用新型]一种以太网通信电路-CN202122820632.0有效
发明人： 赖璐璐;樊云鹏;李捷睿;池招荣;覃显南;吴泰乐;廖曼君;尤丽娜;林利;李杰儒;游重寅;卢丽丽;蒙文豪 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： H04L12/28 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种以太网通信电路，包括以太网芯片U29、AC耦合电路、光电转换接口电路，所述以太网芯片U29分别与AC耦合电路以及光电转换接口电路连接；所述AC耦合电路包括电阻R145、电阻R146、电容C78以及电容C77，所述以太网芯片U29的第十六引脚、电阻R145的一端以及电容C77的一端连接，以太网芯片U29的第十七引脚、电阻R146的一端以及电容C78的一端连接，电阻R145的另一端以及电阻R146的另一端与电源V3P3_VDD连接。本实用新型的优点在于：提供一种以太网通信电路，满足工业生产中对通信速率的高要求。
一种以太网通信电路

[发明专利]表征套刻精度量测方法准确性的方法-CN202210097317.6在审
发明人：钱睿;赖璐璐;刘硕;张聪 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2022-01-27 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种表征套刻精度量测方法准确性的方法中，包括：步骤一、对具有前层套刻精度标识的晶圆并进行第一次曝光，进行第一次测量收集整片晶圆的套刻精度数据，得到最佳补值并将晶圆返工。步骤二、选择性地在N个shot上添加固定偏移量并上传到光刻机。步骤三、结合最佳补值和固定偏移量对晶圆进行第二次曝光；进行第二次测量收集整片晶圆的套刻精度数据。步骤四、利用各未选定shot的套刻精度量测值进行模拟计算得到各选定shot的套刻精度模拟值。步骤五、将各选定shot的套刻精度量测值减去套刻精度模拟值得到各选定shot的偏差值，通过各选定shot的固定偏移量和偏差值进行点对点比较判断套刻精度量测方法的准确性。本发明能简化工艺方法并提高测试速度。
表征精度方法准确性

[实用新型]一种跳合闸回路采集器-CN202122818286.2有效
发明人：樊云鹏;孔向荣;郑家誉;周春杰;池招荣;李捷睿;陆春媚;赖璐璐;黄国月;吴泰乐;卢晶晶;黄雅琴;黄军淋 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种跳合闸回路采集器，变电站中每个间隔单元中均设置一个采集器，每个采集器包括FPGA以及分别与FPGA连接的以太网电路、开关量输入电路、RS485通信电路、AD采样电路、光串口接收和发送电路及UART串口电路，还包括若干路差分放大电路、系统电源电路及设置于跳合闸回路上的若干个电流传感器，每个电流传感器分别连接一路差分运放电路，每路差分放大电路均与AD采样电路连接；主机通过交换机将信号集中到站内工作站，站内工作站与移动终端通讯连接，本实用新型的优点在于：信号传输方式多，功能齐全，满足变电站所有场合使用，适用于变电站二次回路中跳合闸回路信号采集。
一种合闸回路采集

[发明专利]一种跳合闸回路采集器-CN202111363194.8在审
发明人：池招荣;樊云鹏;覃显南;李捷睿;赖璐璐;吴泰乐;黄军淋;马燕平;樊宇璐;何江潇;李青洪;曾智;梁明湖 -专利权人：广西电网有限责任公司崇左供电局
申请日： 2021-11-17 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种跳合闸回路采集器，包括FPGA以及分别与FPGA连接的以太网电路、开关量输入电路、RS485通信电路、AD采样电路、光串口接收和发送电路及UART串口电路，还包括若干路差分放大电路、系统电源电路及设置于跳合闸回路上的若干个电流传感器，系统电源电路为采集器供电，每个电流传感器分别连接一路差分运放电路，每路差分放大电路均与AD采样电路连接，本发明的优点在于：信号传输方式多，功能齐全，满足变电站所有场合使用，适用于变电站二次回路中跳合闸回路信号采集。
一种合闸回路采集

[发明专利]一种提高套刻精度的对准标识设计方法-CN201910529975.6有效
发明人： 赖璐璐;钱睿 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明提供一种提高套刻精度的对准标识设计方法，包括：前一层光刻层的对准标识放置于第一位置；当层曝光时，将对准标识放置于第二位置，同时将第一位置曝开，之后将曝开的第一位置填充金属；第三层曝光时，将对准标识放回所述第一位置，同时将第二位置曝开，之后将曝开的第二位置填充金属；后续层曝光时的对准标识位置设计依次类推。本发明的对准标识的位置摆放及前后层堆叠的设计可以有效减少对准标识的摆放空间，同时使对准标识底层薄膜更加稳定，因此可以提高套刻精度的稳定性，有利于日常跑货的维护及套刻精度的提高。此外，本发明的对准标识设计还有利于对套刻精度进行预测，节省新产品试跑时间，提高生产能力。
一种提高精度对准标识设计方法

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