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[发明专利]光刻机数据采集与诊断系统及方法-CN202111280543.X在审
发明人：陈丹;谢仁飚;朱晶;钱峰 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-10-29 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： G06F13/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机数据采集与诊断系统及方法，所述光刻机数据采集与诊断系统包括上位机、交换机、诊断控制器以及挂接在命令总线上的多核运动控制板及数据接口板；上位机、交换机和诊断控制器通过命令总线依次连接，数据接口板通过光纤连接若干个高速信号采集板；高速信号采集板用于数据存储、数据分析及异常数据恢复，多核运动控制板用于数据存储、性能分析及异常数据报错。本发明减轻了诊断控制器及上位机的数据存储和处理压力，减少了数据传输过程中所占用的带宽，提高了光刻机系统采样数据处理能力和实时性；多核运动控制板在原始数据或性能分析数据中存在错误或异常数据时产生不同的数据诊断请求，提高了对光刻机性能及可靠性问题的排查效率，优化了光刻机的设计反馈。
光刻数据采集诊断系统方法

[发明专利]硬件同步控制系统及其控制方法、步进扫描投影光刻机-CN202110808547.4在审
发明人：陈丹;谢仁飚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种硬件同步控制系统，包括上位机、同步控制器、信号采集单元、信号控制单元、信号收发单元、信号转换单元；所述同步控制器、信号采集单元以及信号控制单元通过命令总线连接所述上位机；所述信号收发单元根据上位机提供的光刻流程的时序收集所述信号控制单元发送的控制信号，并将所述同步控制器发送的信号分发给所述信号控制单元；所述信号转换单元用于接收所述信号收发单元发送的信号并经过转换后发送给所述同步控制器，并将所述同步控制器发送的信号经过转换后再传输给所述信号采集单元。采用硬件同步的方式重建同步控制架构，通过控制信号线传输控制信号，简化了整机同步机制，减少了同步软件调用接口的时间。
硬件同步控制系统及其控制方法步进扫描投影光刻

[发明专利]数据传输方法、装置、设备、系统及存储介质-CN202011564125.9在审
发明人：张骥;谢仁飚;郭林冲;郭本领;于修江 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H04W28/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种数据传输方法、装置、设备、系统及存储介质，包括：以第一线率接收第一数据模块发送的第一数据，并将第一数据存储在数据传输装置的第一存储器中；当确定第一存储器中的数据量满足第一预设条件时，向第一数据模块发送第一停止信号，以使第一数据模块在接收到第一停止信号后，停止发送第一数据；当确定第一存储器中的数据量不为空时，读取第一存储器中的第一待发送数据，以第二线率向第二数据模块发送第一待发送数据；当确定第一存储器中的数据量为空时，停止读取第一存储器中的第一待发送数据。该数据传输方法中，避免了数据传输出错，在接口线率不匹配的第一数据模块与第二数据模块之间实现了正常的数据传输。
数据传输方法装置设备系统存储介质

[发明专利]同步驱动设备的故障诊断系统及其诊断方法-CN201910363861.9有效
发明人：朱晶;谢仁飚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： G05B23/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种同步驱动设备的故障诊断系统及其诊断方法。在利用同步控制板卡向各个分系统发送同步指示信息，以同步控制同步驱动设备中的多个分系统的同时，还利用同步控制板卡接收由各个分系统返回的同步状态信息，从而可以将返回的同步状态信息和同步指示信息进行比对，并根据同步状态信息是否与同步指示信息匹配，进一步诊断出同步驱动设备是否存在故障。根据本发明提供的故障诊断系统和诊断方法，可以及时有效的诊断出同步驱动设备的故障，缩短了同步诊断的时间，并有利于节省人力。
同步驱动设备故障诊断系统及其诊断方法

[发明专利]扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备-CN201911181336.1有效
发明人：朱晶;陈丹;谢仁飚;张骥;于婷 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种扫描光刻机的同步诊断方法、装置、介质及电子设备。该方法包括：根据接收到的测试对象与测试参数，生成同步测试用例；若测试对象为运动控制器，则通过运动同步时序控制板卡发送；若为位置采样控制器，对准同步时序控制板卡，剂量同步时序控制板卡，像质同步时序控制板卡，垂向同步时序控制板卡以及照明同步时序控制板卡中的至少一种，则通过同步伺服时钟控制板卡发送；通过被测主系统接收被测分系统返回的同步返回值，并根据同步返回值诊断测试对象的同步问题。通过执行本方案，可以快速并准确的对扫描光刻机的同步问题进行定位，无需由人工诊断消耗大量的人力成本和时间成本，达到了保证扫描光刻机运行稳定性的效果。
扫描光刻同步诊断方法装置介质电子设备

[发明专利]一种曝光显影装置及方法-CN201710527269.9有效
发明人： 谢仁飚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： G03F7/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光显影装置及方法，该装置包括曝光系统、显影系统、视觉对准系统以及位于所述曝光系统、显影系统之间的工件传输系统，所述曝光系统设于系统框架上，包括沿光路依次设置的照明单元、掩模台、投影单元和工件台。本发明同时集成了曝光系统和显影系统，可一次性从曝光到显影，显影结果检验后可直接送出进行刻蚀，大幅减少人力操作和人工成本；通过视觉对准系统可自动完成所有PSS调试，包括确认焦面、调整拼接参数和调整非正交，无需人工干预，采用自适应的检测调整技术，使得机台的抗干扰能力大幅加强，PSS良率大幅提高。
一种曝光显影装置方法

[发明专利]光刻机同步触发诊断方法与系统-CN201710776280.9有效
发明人： 谢仁飚 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种光刻机同步触发诊断系统，所述光刻机同步触发诊断系统包括主控制器和至少两个分系统，所述至少两个分系统与整机主控制器之间通过以太网连接，每个分系统均包括分系统控制器、同步触发诊断卡和至少一块分系统控制子卡，所述至少两个分系统的各同步触发诊断卡之间通过外同步总线互连，在每个分系统中，所述分系统控制器、同步触发诊断卡和至少一块分系统控制子卡彼此之间通过标准的VME或者以太网互连；所述至少一块分系统控制子卡和同步触发诊断卡彼此之间还通过内同步总线互连。本发明通过自定义的外同步总线和内同步总线实现分系统数据的同步采集，其利用独立的数据传递通道与独立的整机处理机制，完全不影响原有系统的运行。
光刻同步触发诊断方法系统

[发明专利]一种准同步封装的装置及控制方法-CN201510197621.8有效
发明人：聂仕华;陈明;谢仁飚;赵娟 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2018-11-09 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明公开一种准同步封装的装置，包括：一激光功率控制器，用于控制一激光器提供一不同功率的激光光束；一振镜单元，该振镜单元包括一X‑Y向振镜以及一角度测量传感器，该激光光束经该X‑Y向振镜反射在一待封装物体表面形成一封装光斑，该角度测量传感器用于测量该X‑Y向振镜的偏转角度；一振镜检测控制单元，该振镜检测控制单元与该振镜单元以及该激光功率控制器相连，根据该X‑Y向振镜的偏转角度控制该激光功率控制器。
一种同步封装装置控制方法

[发明专利]曝光装置及方法-CN201510416093.0有效
发明人： 谢仁飚;杨志勇;白昂力;王健 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2015-07-15 - 公布日： 2018-10-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种曝光装置，包括曝光单元，用于对晶圆进行曝光；所述曝光单元包括照明系统和掩模，所述照明系统包括匀光单元，其特征在于，所述匀光单元包括正六边形的匀光石英棒，所述掩模的形状为与所述匀光石英棒相匹配的正六边形。本发明在相同曝光视场的情况下能够有效降低物镜场曲对焦深的影响，提高实际可使用的焦深；在投影物镜相同的焦深的情况下，扩大了曝光视场的曝光面积。
曝光装置方法

[发明专利]步进式激光封装温度及功率探测与控制装置及方法-CN201410198182.8在审
发明人：聂仕华;陈明;谢仁飚 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： H01L51/56 文献下载
摘要：本发明公开一种步进式激光封装温度及功率探测与控制装置，包括：一激光器，用于产生一激光束加热一玻璃料，该激光束投射在该玻璃料上的光斑的宽度大于该玻璃料的宽度；一运动控制模块，用于使该光斑与该玻璃料同步步进运动；一温度检测模块，用于测量该同步步进运动过程中该玻璃料的温度；一激光检测与控制模块，用于检测该激光束的形貌并实时控制该激光束的功率。
步进激光封装温度功率探测控制装置方法

[发明专利]一种多轴同步运动控制系统及其控制方法-CN201110279010.X无效
发明人： 谢仁飚;方欣 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-09-19 - 公布日： 2013-03-27 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明提供了一种多轴同步运动控制系统，包括：上位机；同步信号模块；主机箱，主机箱与上位机通讯连接，主机箱包括：主板卡和多个次级板卡，主板卡通过背板分别与多个次级板卡进行通讯传输，主板卡与上位机通讯连接，每个次级板卡之间连接同步信号模块；多个次级机箱，各个次级机箱之间以及各个次级机箱与主机箱之间连接同步信号模块。本发明还提供了一种多轴同步运动控制系统的控制方法。本发明所提供的多轴同步运动控制系统的结构简单，层次化清晰，且易于维修、更换、重用和扩展。该控制系统可以满足各种复杂的控制算法、轨迹规划等的计算量要求，为控制轴数的扩展提供了保障。
一种同步运动控制系统及其控制方法

[实用新型]升降装置-CN201120092515.0有效
发明人：李平欣;张志钢;谢仁飚;程德胜 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-03-31 - 公布日： 2011-10-12 - 主分类号： B66F3/18 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种升降装置，设置于设备部件内，所述升降装置包括蜗轮、蜗杆、丝杆、支撑架、启动元件以及升降控制单元，启动元件与蜗轮连接，蜗杆与丝杆啮合，蜗轮与蜗杆啮合并设置在支撑架内，支撑架固定在丝杆上，升降控制单元与启动元件连接。本实用新型提供升降装置通过蜗轮、蜗杆带动丝杆运动，由于支撑架固定在所述丝杆上，从而使设置在支撑架上的设备部件完成提升或下降作业，提升或下降作业占用垂直空间，大大节省了水平空间的占用率。在整个作业过程中，升降控制单元为启动元件提供停止和减速信号，防止在提升或下降突然停止时对设备部件产生冲击而损害设备部件。整个升降过程自动化程度高。
升降装置

[发明专利]一种粗精双角度传感器角度数据耦合方法-CN200910050315.6无效
发明人： 谢仁飚;王跃明;姜紫庆;张明涛;张育;谢惜惜;刘银年 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2009-07-20 - 公布日： 2009-11-18 - 主分类号： G01B7/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种粗精双角度传感器角度数据耦合方法。对于使用单通道旋转变压器和单通道感应同步器的双传感器测角方案，该方法利用前后两次测量的相关性融合粗精角度数据，大大简化了粗通道与精通道的角度数据融合过程，而且可以一定程度上抑制粗通道温度漂移对耦合的影响。本发明可以应用在航天对地观测、气象预报等一些对扫描机构体积质量要求较高的场合，也可应用于工业伺服控制等领域。
一种粗精双角度传感器数据耦合方法

[发明专利]一种应用于红外焦平面成像系统的像元增益控制方法-CN200810038825.7无效
发明人：刘银年;李春来;陈小文;孙德新;张明涛;谢仁飚 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2008-06-12 - 公布日： 2008-11-12 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于红外焦平面成像系统的像元增益控制方法。对于串行信号输出的面阵或线列红外焦平面器件，在模数转化之前，通过像元级增益控制的方法可以达到实时调整单个像元响应的目的。该方法大大提高了红外焦平面系统输出信号的均匀性，而且可以一定程度上扩大仪器的动态范围。本发明可以应用在航天对地观测，预警卫星等一些对红外焦平面系统输出信号实时性和信号质量要求较高的场合。
一种应用于红外平面成像系统增益控制方法

[发明专利]一种用于测量指向扫描镜角速度的装置及方法-CN200610031015.X无效
发明人：李春来;王跃明;刘银年;王建宇;王欣;张明;谢仁飚;张明涛;朱磊;吴刚;陈小文 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2006-09-11 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： G01P3/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于测量指向扫描镜角速度的装置及方法，该装置包括：光学部分和电子学部分。光学部分由直角反射镜和二块分光镜组成。电子学部分由激光器、单元光电探测器、信息处理模块组成。光学部分将指向扫描镜的微小角度变化转化为激光光束干涉的强度信号，利用探测器将光强信号转化为电信号，通过信息处理模块的处理和PC机内存有的反演软件获得指向扫描镜的角速度。本发明的装置结构紧凑，装调简单，成本低廉，测量精度能够达到角秒级，可以应用于航天，军事等一些对角度测量精度要求极高的场合。
一种用于测量指向扫描角速度装置方法

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