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- [发明专利]发光二极管外延片的加工方法-CN202111197829.1在审
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杜月欣;胡根水;任关涛;季佳俊
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华灿光电(苏州)有限公司
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2021-10-14
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2022-02-25
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H01L33/00
- 本公开提供了一种发光二极管外延片的加工方法,属于半导体技术领域。加工方法包括:提供一外延片;在外延片的表面涂覆一层光刻胶;根据外延片的类型,在外延片表面设置不同类型的光刻版;通过光刻版对外延片进行曝光显影,在外延片的有效芯片区域形成图案;去除光刻胶;检查外延片的有效芯片区域内的图案是否满足要求;若外延片的有效芯片区域内的图案满足要求,对外延片进行刻蚀、腐蚀、或蒸镀处理,以去除外延片的无效芯片区域。采用该加工方法,无需人工吸除无效管芯区域,避免了人工吸除无效管芯造成的人力浪费、以及后道加吸去圈造成的管芯浪费,有效的提高了芯片制程的效率,自动去除LED外延片外圈的无效管芯区域。
- 发光二极管外延加工方法
- [发明专利]电极蒸镀设备及其方法-CN202110866782.7在审
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张圣君;胡根水;孙虎;李俊生
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华灿光电(浙江)有限公司
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2021-07-29
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2021-12-24
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C23C14/50
- 本公开提供了电极蒸镀设备及其方法,属于发光二极管制作领域。镀锅包括安装板与多个支撑单元,多个支撑单元均匀分布在安装板的板面上,每个支撑单元均包括多个伸缩杆与一个衬底固定盘。将外延片的衬底安装到衬底固定盘上,由于支撑单元中多个伸缩杆的两端分别与安装板以及衬底固定盘的一个端面铰接,且多个伸缩杆呈圆周分布,控制衬底固定盘与镀锅的安装板之间的伸缩杆进行伸长或者缩短,将衬底固定盘调整到恰当的位置,避免光刻胶的遮挡并抵消重力对电极造成的偏移影响,减小电极的断层以及层之间融合的情况,可以提高最终得到的电极质量,延伸电极的使用寿命。改善了电极的包覆性,从而可改变钝化层的设计,增加了电极的可焊线面积。
- 电极设备及其方法
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