专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于牺牲层的悬空阵列器件制备方法及应用-CN202310711781.4在审
  • 罗芳;肖暘;张宇辰;朱梦剑;郭楚才;朱志宏;秦石乔 - 中国人民解放军国防科技大学
  • 2023-06-15 - 2023-09-12 - H10K71/80
  • 本发明公开了基于牺牲层的悬空阵列器件制备方法及应用,该方法包括刻蚀沟道、牺牲层填充沟道、抛光样品表面、转移二维材料、刻蚀二维材料、蒸镀源漏电极、去除牺牲层。本发明应用于微纳系统领域,通过蒸镀无机化合物作为悬空二维材料器件制备过程的暂时性支撑物,克服二维材料在转移过程中塌陷、破裂等情况,且采用高温气体反应去除牺牲层,避免常用的湿法刻蚀带来的侧蚀、污染等问题,也避免了二维材料与溶液接触带来的表面张力,为制备悬浮稳定、表面洁净、成品率高的大规模悬空二维材料器件提供了可行的方案,该方法制备的大规模悬空二维材料阵列器件可用于大面积二维材料发光器件、纳机电谐振器、谐振式传感器等微纳系统。
  • 基于牺牲悬空阵列器件制备方法应用
  • [发明专利]一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计-CN202111211412.6在审
  • 肖暘;胡峰;秦石乔;张宇辰;郑佳兴;王省书 - 中国人民解放军国防科技大学
  • 2021-10-18 - 2022-01-18 - G01P15/08
  • 本申请公开了一种石墨烯双轴差分式谐振式加速度计,包括敏感质量块、谐振组件和中部镂空的固定框架,敏感质量块设置在固定框架的镂空区域内,在敏感质量块与固定框架之间沿X轴和Y轴方向分别设置谐振组件,每个谐振组件均包括H型梁、横梁和石墨烯带,横梁位于敏感质量块和固定框架之间且与所在轴方向垂直,横梁两端与固定框架固连,H型梁水平设置且两端分别连接敏感质量块和横梁,石墨烯带的两端分别搭接在横梁和固定框架上且与H型梁的开口端位置对应,在石墨烯带两端的上、下表面均分别设置电极和绝缘层。本申请利用H型梁与横梁组成的微杠杆结构传递惯性力,避免石墨烯与敏感质量块直接连接,减小切向加速度和重力对石墨烯谐振频率的影响。
  • 一种石墨烯双轴差分式谐振加速度计

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