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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板处理方法以及程序记录介质-CN201880007089.0有效
发明人：西田崇之;石井淳一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-02-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：基板处理装置进行基板的刷洗。基板处理装置具有：旋转底座，以可绕旋转轴线旋转的方式设置；旋转底座旋转机构，使所述旋转底座旋转；以及多个第一夹盘销，可切换开状态与闭状态，以在闭状态下可将基板的端部从侧面夹持的方式构成，且设置于所述旋转底座。所述多个第一夹盘销分别以在夹持所述基板的端部的闭状态下，其上表面的高度与所述基板的上表面相同或比所述基板的上表面低的方式构成。
处理方法以及程序记录介质

[发明专利]衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法-CN202210854232.8在审
发明人：冲田展彬;石井淳一;中村一树;筱原敬;冈田吉文;筱原智之;髙桥拓马 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置、衬底洗净系统、衬底处理系统、衬底洗净方法及衬底处理方法。上侧保持装置将衬底以水平姿势保持且不使它旋转。下侧保持装置吸附保持衬底且使它旋转。使用洗净液洗净由上侧保持装置保持的衬底，使用洗净液洗净由下侧保持装置保持的衬底。处理空间的气体通过排气系统由工场的排气设备排出。在由上侧保持装置保持衬底时，不排出处理空间的气体或者以第1流量排出所述处理空间的气体。在由下侧保持装置保持衬底时，以高于第1流量的第2或第3流量排出处理空间的气体。
衬底洗净装置系统处理方法

[发明专利]衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法-CN202210790732.X在审
发明人：冲田展彬;筱原智之;石井淳一;中村一树;筱原敬;髙桥拓马;冈田吉文;加藤洋 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底对位装置、衬底处理装置、衬底对位方法及衬底处理方法。衬底对位装置包含以俯视下相互对向的方式且分开的方式配置，分别从衬底的下方位置支撑衬底的外周端部的第1支撑部件及第2支撑部件。另外，衬底对位装置具备：第1按压部件，以俯视下与第1支撑部件对向的方式配置，在衬底由第1及第2支撑部件支撑的状态下，在从第2支撑部件朝向第1支撑部件的第1方向按压所述衬底的外周端部的一部分，由此使衬底移动。第1支撑部件包含限制衬底超过预先确定的规定位置向第1方向移动的移动限制部。
衬底对位装置处理方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210773648.7在审
发明人：筱原智之;石井淳一;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过将洗净工具接触于由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域来将下表面中央区域洗净。通过将洗净工具接触于由第2保持部旋转的衬底的下表面外侧区域来将衬底的下表面外侧区域洗净。在下表面中央区域的洗净时，在不保持衬底的状态下使第2保持部绕铅直轴旋转。或，在下表面中央区域的洗净时，通过配置在洗净工具与第2保持部之间的气体喷出部从只离开衬底特定距离的第1高度向衬底喷出气体，且在下表面中央区域的干燥时，通过气体喷出部从比第1高度更接近衬底的第2高度向衬底喷出气体。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210719627.7在审
发明人：筱原智之;中村一树;冈田吉文;髙桥拓马;筱原敬;冲田展彬;石井淳一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。通过一边使洗净器具接触由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域，一边使洗净器具绕中心轴旋转，而将下表面中央区域洗净。使洗净器具接触通过第2保持部而旋转的衬底的下表面外侧区域，由此将下表面外侧区域洗净。以如下方式使设置着第2保持部及洗净器具的可动基座在水平面内移动，即，当在第1保持部与第2保持部之间交接衬底时，俯视下第1保持部的基准位置与第2保持部的中心轴一致，在对下表面中央区域进行洗净时，俯视下洗净器具与由第1保持部保持的衬底的下表面中央区域重叠，且洗净器具的中心轴和衬底的与中心不同的第1部分一致。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底洗净装置及衬底洗净方法-CN202210659023.8在审
发明人：中村一树;石井淳一;筱原智之;髙桥拓马 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底洗净装置及衬底洗净方法。本发明通过衬底保持部将衬底以水平姿势保持。在处理位置，通过下表面刷子将由衬底保持部保持的衬底的下表面洗净。在与由衬底保持部保持的衬底于上下方向重叠且位于处理位置的下方的待机位置，通过刷子洗净部将下表面刷子洗净。下表面刷子通过下表面刷子升降驱动部在处理位置与待机位置之间升降。
衬底洗净装置方法

[发明专利]衬底清洗装置-CN202210659024.2在审
发明人：筱原智之;冈田吉文;冲田展彬;筱原敬;石井淳一;中村一树;髙桥拓马 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的衬底清洗装置包含衬底保持部、第1清洗件、第2清洗件及第3清洗件。衬底保持部以水平姿势保持圆形状的衬底。第1清洗件在俯视时，以通过衬底外缘的第1点的方式在衬底的上方进行扫描，由此清洗衬底的上表面。第2清洗件在俯视时，通过接触于衬底外缘的第2点来清洗衬底的外周端部。定义通过第1点与第2点的假想性第1直线、及通过衬底的中心且与第1直线平行的假想性第2直线。第3清洗件配置在衬底的下方且隔着第2直线而与第1清洗件及第2清洗件相反的区域，清洗衬底的下表面。
衬底清洗装置

[发明专利]汽车内饰板及其制造方法-CN201680089680.6有效
发明人： 石井淳一;前原义孝;小野拓美 -专利权人：株式会社森傳
申请日： 2016-12-28 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B60R13/02 文献下载
摘要：本发明提供汽车内饰板及其制造方法，金属板端部附近的劣化和剥离等少，高质量、薄而轻量、高强度且生产性优异。汽车内饰板具备一对金属板(11、12)、以及形成在一对金属板(11、12)之间的发泡聚氨酯层(13)，在周围边缘部，发泡聚氨酯层(13)覆盖金属板(11、12)的周围端部(11c、12c)，且形成为与金属板(11、12)的外表面(11a、12a)共面。由此，能够抑制金属板(11、12)的切断面亦即周围端部(11c、12c)的氧化。此外，金属板(11、12)与发泡聚氨酯层(13)的接合变得良好，能够防止金属板(11、12)的剥离、发泡聚氨酯层(13)的缺损等。此外，汽车内饰板(1)的脱模变得容易。
汽车内饰板及其制造方法

[发明专利]衬底处理系统及衬底处理方法-CN202111569127.1在审
发明人：石井弘晃;石井淳一;本庄一大 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-12-21 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底处理方法。衬底处理系统具备：第1衬底保持单元，包含从下侧与具有保护对象面及所述保护对象面相反侧的洗净对象面的衬底对向的第1基座，将所述衬底以所述保护对象面朝向上侧的第1姿势保持；保护膜涂布喷嘴，对于由所述第1衬底保持单元保持的所述衬底的所述保护对象面，至少在周缘部涂布保护膜；第1翻转单元，与所述衬底的周缘部接触并使所述衬底翻转，以使得所述衬底的姿势从所述第1姿势变化为所述保护对象面朝向下侧的第2姿势；第2衬底保持单元，包含从下侧与所述衬底对向的第2基座，将所述衬底以所述第2姿势保持；以及洗净单元，将由所述第2衬底保持单元保持的所述衬底的所述洗净对象面洗净。
衬底处理系统方法

[发明专利]衬底处理系统及衬底处理方法-CN202111260510.9在审
发明人：石井弘晃;村元僚;石井淳一;西田崇之 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2022-05-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理系统及衬底处理方法。衬底处理系统包含：保护膜形成液供给单元，向衬底的一面供给保护膜形成液；保护膜形成单元，使保护膜形成液固化或硬化，而在衬底的一面形成保护膜；吸附单元，吸附衬底的一面；处理单元，在衬底的一面吸附于所述吸附单元的状态下，对该衬底的另一面执行指定的处理；及去除液供给单元，具有供去除所述保护膜的去除液喷出的去除液喷出口，从所述去除液喷出口朝向衬底的一面供给去除液。
衬底处理系统方法

[发明专利]聚酰亚胺、清漆及薄膜-CN202080063514.5在审
发明人：长谷川匡俊;石井淳一;渡部大辅 -专利权人：引能仕株式会社
申请日： 2020-09-09 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：一种聚酰亚胺，其具有下述式(1)所示的重复单元。[式中，R1表示4价基团，R2表示2价基团。其中，R1中至少一部分是下述式(2)所表示的基团。另外，R2中，一部分是下述式(3)所表示的基团，另一部分是下述式(4)所表示的基团。]
聚酰亚胺清漆薄膜

[发明专利]基板处理方法以及基板处理装置-CN201810090437.7有效
发明人：帆角良平;石井淳一;筱原敬 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-01-30 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一边使基板旋转一边使刷体的下表面沿着基板的上表面移动。通过使刷体以及喷雾嘴向上方从离位位置移动至下侧非接触位置，来使刷体的下表面离开基板的上表面。通过在刷体以及喷雾嘴位于下侧非接触位置的状态下使喷雾嘴产生多个液滴，来使多个液滴与基板的上表面碰撞，然后，一边将与基板的上表面碰撞的多个液滴供给至刷体的下表面，一边将其从刷体的下表面与基板的上表面之间的间隙排出。
处理方法以及装置

[发明专利]基板处理方法及基板处理装置-CN201680053173.7有效
发明人：津田祥太郎;石井淳一 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2016-04-22 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：进行中央侧喷洗工序，该中央侧喷洗工序与使刷子接触基板的下表面倾斜部的下侧刷洗工序并行进行，在中央侧喷洗工序中，一边使多个液滴撞击基板的上表面，一边使多个液滴对基板的上表面的撞击位置在基板的中央与基板的中间之间移动。之后，进行外周侧喷洗工序，该外周侧喷洗工序与使刷子接触基板的上表面倾斜部的上侧刷洗工序并行进行，一边使多个液滴撞击基板的上表面，一边使多个液滴对基板的上表面的撞击位置在基板的中间与基板的外周之间移动。
处理方法装置

[发明专利]新型二胺类、由其衍生的新型聚酰亚胺及其成型体-CN202080008065.4在审
发明人： 石井淳一;长谷川匡俊 -专利权人：本州化学工业株式会社;学校法人东邦大学
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2021-08-24 - 主分类号： C07C217/90 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种用于提供兼具优异溶剂溶解性(溶液加工性)和高耐热性的树脂的二胺化合物、由该二胺化合物合成的溶液加工性优异的聚酰亚胺及由该聚酰亚胺而得的具有高耐热性的成型体。通过下述通式(1)所表示的二胺化合物，可以解决上述课题。[化学式1]
新型二胺类衍生聚酰亚胺及其成型

[发明专利]新型四甲酸二酐及由该四甲酸二酐衍生的聚酰亚胺以及由该聚酰亚胺构成的成形体-CN201680056630.8有效
发明人： 石井淳一;长谷川匡俊 -专利权人：本州化学工业株式会社;学校法人东邦大学
申请日： 2016-09-27 - 公布日： 2021-01-19 - 主分类号： C08G73/10 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种由新型四甲酸二酐衍生的聚酰亚胺以及该聚酰亚胺的成形体，由于该聚酰亚胺相对于各种有机溶剂的溶解性优异且兼具热塑性，因此加工性优异且兼具低线热膨胀系数及高光透射性(透明性)。可通过由下述式(1)所示的四甲酸二酐衍生的聚酰亚胺来解决上述课题。
新型甲酸衍生聚酰亚胺以及构成成形

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