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[发明专利]一种磁流体轴-CN202210417198.8在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16C35/12 文献下载
摘要：本发明公开一种磁流体轴，包括内轴和外轴，所述外轴外套安装于所述内轴，且所述外轴和所述内轴之间设置有若干沿轴向间隔设置的轴承，至少两个相邻的所述轴承之间填充有磁流体，所述外轴和所述内轴中的至少一者设置有冷却通道，用于通入冷却介质。采用这种方案，在需要进行冷却时，可以向该冷却通道内通入冷却介质，以降低磁流体轴的温度，从而可以保证磁流体轴在高温环境中的使用性能和寿命，使得该磁流体轴可以在离子束蚀刻和离子束沉积这两种不同的工艺中使用，能够大幅提高该磁流体轴的适用性。
一种流体

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417216.2在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，所述壳体组件包括支撑板；旋转台组件，用于支撑晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述外轴密封装配于所述支撑板，所述内轴具有伸入所述壳体组件内的第一端部和伸出所述壳体组件外的第二端部，所述第二端部与所述旋转台组件相连；驱动组件，位于所述壳体组件内，所述驱动组件具有驱动轴，所述驱动轴与所述内轴平行设置，且所述驱动轴与所述第一端部传动连接。上述晶圆载台装置可以方便装配和维护，且具备较高的集成度，体积可以较小，占用空间可以较少。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210415919.1在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，包括支撑板；旋转台组件，包括支撑台和压接部，压接部用于将晶圆压紧于支撑台；第一磁流体轴，包括转动密封的第一内轴和第一外轴，第一外轴密封装配于支撑板，第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部，第二端部与旋转台组件相连；升降组件，升降组件包括主体部分和升降体，主体部分位于壳体组件内，升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封，且升降体能够与压接部相作用；遮挡组件，包括挡板，挡板被配置为可转动地装配于支撑板，以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417221.3在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：旋转台组件，包括支撑台和压接部，所述支撑台用于支撑晶圆，所述压接部用于压紧所述晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述内轴包括端部件和筒状件，二者围合形成容纳空间；升降组件，包括主体部分和升降体，所述主体部分位于所述容纳空间，所述升降体可滑动地密封装配于所述端部件，所述升降体与所述压接部相作用。上述晶圆载台装置可以更为充分地对内轴的内部空间进行利用，以提高设备的结构紧凑性和集成度，能够有效地缩减晶圆载台装置的占用空间，以便于安装。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置-CN202311026573.7在审
发明人：胡少谦;桑康;陈龙保;胡冬冬;冯家莉;张风林;向贵鑫;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置，OES终点检测装置包括：密封端盖，用于密封真空腔室，真空腔室用于放置测试样品，密封端盖具有安装通孔；检测探头，安装于安装通孔处，并且检测探头用于对真空腔室内的测试样品进行光谱测试，并得到光谱信号；透明隔离件，可拆卸密封安装于安装通孔处，并位于检测探头与真空腔室内部之间，且沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件。由于沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件，且至少一个靠近检测探头的透明隔离件密封遮挡安装通孔，因此，在更换被污染的透明隔离件时，另外的透明隔离件还在密封安装通孔，可保证真空腔室内的密封性，不会影响OES终点检测装置的正常使用。
一种 oes 终点检测装置半导体芯片加工

[实用新型]增程式混合动力总成协同热管理系统和汽车-CN202223515921.0有效
发明人：凌青海;桑康;杜慎之;邓祥宇;王照锦 -专利权人：赛力斯集团股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： B60K11/04 文献下载
摘要：本申请属于车辆技术领域，具体涉及增程式混合动力总成协同热管理系统和汽车。增程式混合动力总成协同热管理系统包括：发动机温控单元、电池温控单元、电机温控单元以及主管路系统，其中发动机温控单元可以理解为能够提高发动机的工作温度或者降低发动机工作温度，同理电池温控单元能够提高或者降低电池工作温度，电机温控单元能够提高或者降低电机工作温度，主管路系统可以将发动机温控单元、电池温控单元以及电机温控单元之间的热量进行转移并交换，从而达到热量利用的效果。
程式混合动力总成协同管理系统汽车

[实用新型]晶圆载台挡板结构-CN202223494984.2有效
发明人：桑康;陈龙保;程实然;耿斌;高强;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆载台挡板结构，包括晶圆载台基板、晶圆载台、电极挡板机构，电极挡板机构包括驱动机构以及挡板；驱动机构的动力输出端通过连杆滑槽机构与挡板连接块连接，且挡板通过挡板连接块与升降导向机构的上端连接，挡板连接块相对于升降导向机构的上端可旋转设置；挡板连接块在驱动机构的动力驱动下，通过升降导向机构、连杆滑槽机构的协同作用，带动挡板相对于升降导向机构张开并下沉直至挡板处于预设位置或者上升并合拢直至覆盖在晶圆载台上。由此可见，本实用新型相比于其它挡板结构，减小了整个晶圆载台整体结构的占地空间，从而降低了整个腔室的制造成本，使用升降气缸结构成本低，结构简单稳定可靠。
晶圆载台挡板结构

[实用新型]一种金属刻蚀中陶瓷介质窗匀温装置、金属刻蚀系统-CN202220514523.8有效
发明人：周赛赛;桑康;马兵;陈兆超;彭泰彦;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属刻蚀中陶瓷介质窗匀温装置，匀温装置包括散热装置、聚流道、引流道和紧固件；散热装置安装在屏蔽罩内，用于产生冷却介质；聚流道竖直安装在屏蔽罩正下方，其沿延伸方向具有第一端部和第二端部，第一端部与散热装置装置，第二端部与引流道连接，聚流道和引流道共同构成冷却介质的传输通道；引流道平铺在铜螺旋管和陶瓷介质窗之间，且铜螺旋管和陶瓷介质窗通过紧固件固定连接。本实用新型能够将散热装置产生的冷却介质引至陶瓷介质窗中心后再逐渐向四周扩散，达到了良好的匀温效果；并且整体结构简单，经过测试有效地延长了MTBC。
一种金属刻蚀陶瓷介质窗匀温装置系统

[发明专利]离子束刻蚀机的下电极腔及其组装方法-CN202110937721.5在审
发明人：高强;桑康;张怀东;张瑶瑶;胡冬冬;程实然;杨超全;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H01J37/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子束刻蚀机的下电极腔及其组装方法，该下电极腔包括壳体和壳盖，壳体设有：与壳盖密封配合的第一密封面，用于插装离子束刻蚀机的旋转密封轴的插孔，环绕在插孔外围、用于与旋转密封轴密封配合的第二密封面，供导电线路、气体输送管路或液体输送管路伸入下电极腔内部的过孔，环绕在过孔外围、用于与真空腔外的转轴密封连接的第三密封面。该下电极腔通过三个密封接合部位实现了与真空腔的隔绝，密封接合部位少，所以泄漏率低。而且，该下电极腔整体结构简单，壳体和壳盖可车削加工而成，加工工艺简单且容易组装。
离子束刻蚀电极及其组装方法

[实用新型]用于传输晶圆的机械手传动装置和传输装置-CN202220117233.X有效
发明人：桑康;王铖熠;郭颂;高强;刘海洋;张怀东;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于传输晶圆的机械手传动装置，所述传动装置包括：固定轨道；滑动件，所述滑动件连接在所述固定轨道上且可沿所述固定轨道的延伸方向来回滑动；机械手臂，所述机械手臂的一端通过连接固定座和所述滑动件固定相连，所述机械手臂的另一端形成为“匚”字形，且所述另一端的开口端远离所述连接固定座设置，用于支撑放置所述晶圆；齿条和第一齿轮，所述第一齿轮位于所述连接固定座的一侧，在所述连接固定座的朝向所述第一齿轮的一侧设有所述齿条，所述第一齿轮和所述齿条啮合传动以带动所述齿条移动。根据本实用新型的用于传输晶圆的机械手传动装置，通过传送晶圆的机械手和齿轮传动相结合，可以简化结构，运动传输更加稳定可靠。
用于传输机械手传动装置

[实用新型]一种PECVD和ICP反应腔室自动开盖装置-CN202220355876.8有效
发明人：高强;刘海洋;王铖熠;李百顺;胡冬冬;桑康;郭强;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2022-02-22 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： E05F15/603 文献下载
摘要：本发明公开了一种PECVD和ICP反应腔室自动开盖装置，包括位于腔室外侧的至少一组腔盖驱动组件；每个腔盖驱动组件均包括驱动机构、动力轮、前转动机构、后转动机构、传动机构、前开腔支撑板和后开腔支撑板；所述驱动机构在外力作用下驱使动力轮转动，并通过传动机构将力传递至前转动机构和后转动机构，使前转动机构和后转动机构同步转动；所述前开腔支撑板的其中一个端部固定在前转动机构上，另一个端部与腔盖轴套连接，后开腔支撑板的其中一个端部固定在后转动机构上，另一个端部与腔盖轴套连接。本发明够为半导体反应腔室提供一种更为方便稳固的开盖形式。
一种 pecvd icp 反应自动装置

[实用新型]用于半导体的反应腔体和半导体设备-CN202220117231.0有效
发明人：桑康;王铖熠;郭颂;高强;张怀东;刘海洋;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-17 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体的反应腔体和半导体设备，反应腔体包括腔盖和腔室本体和开闭装置，开闭装置连接在腔盖和腔室本体之间，腔盖通过开闭装置可转动地打开或者闭合腔室本体，腔盖通过预定的旋转角度沿开闭装置的周向倾斜打开或闭合腔室本体，且腔室本体处于打开状态时腔盖远离腔室本体的一侧向下倾斜。根据本实用新型的用于半导体的反应腔体，在打开和闭合时腔盖通过预定的旋转角度沿开闭装置的周向倾斜打开腔室本体或者闭合腔室本体，腔室本体处于打开状态时腔盖远离腔室本体的一侧向下倾斜，这样，由于腔盖的重力作用会使得腔盖会稳定在停留在打开状态，不存在突然向下脱落闭合的风险，不会对操作者造成安全隐患。
用于半导体反应半导体设备

[实用新型]刻蚀腔体的支撑装置和刻蚀腔体-CN202123071921.1有效
发明人：桑康;高强;王铖熠;郭颂;张怀东;刘海洋;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： F16M11/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了刻蚀腔体的支撑装置和刻蚀腔体，刻蚀腔体包括腔室本体和腔盖，腔盖可旋转地连接在腔室本体上，支撑装置适于在腔盖打开腔室本体时支撑在腔盖的背面，支撑装置包括：第一固定块和第二固定块，第一固定块和第二固定块沿刻蚀腔体的左右方向间隔开布置，第一固定块和第二固定块均固定在机架上；可折叠支撑杆，支撑杆的一端可转动地连接在第一固定块上，支撑杆可在展开状态和收纳状态之间进行切换，支撑杆处于收纳状态时支撑杆的另一端通过拨动杆限位在第二固定块上，支撑杆处于展开状态时拨动杆释放支撑杆且支撑杆展开呈人字形状。根据本实用新型的刻蚀腔体的支撑装置，不会额外占用机架周围的地面空间，使用方便，便于收纳。
刻蚀支撑装置

[发明专利]一种自动分拣清运垃圾桶-CN202110681264.8在审
发明人：张绍国;桑康;王超 -专利权人：西京学院
申请日： 2021-06-18 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： B65F1/14 文献下载
摘要：一种自动分拣清运垃圾桶，包括一个以上的桶体，桶体底部配置有底盘，底盘夹层中通过轮轴分别连接有车轮，底盘夹层内配置有第三电机，电池槽一侧配置有超声波感应模块，电池槽的另一侧配置有控制模块；桶体的空心圆柱体的开口上方配置有分拣平台，分拣平台正上方配置有视觉识别模块，视觉识别模块底部配置有摄像头；通过摄像头将待分类垃圾的图片传入控制模块分类后，控制模块控制电机对垃圾分类，利用超声波感应模块进行垃圾清运，能够实现对垃圾类型的识别、自动分拣和运输的功能，具有使用方便，节约人力物力的特点。
一种自动分拣清运垃圾桶

[实用新型]一种多功能防皱褶晾衣架-CN202022520306.3有效
发明人：桑康 -专利权人：西京学院
申请日： 2020-11-04 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： A47G25/40 文献下载
摘要：一种多功能防皱褶晾衣架，包括第一挂钩，第一挂钩下方配置有第一旋转轴，第一挂钩通过第一旋转轴与架体的横梁相连接，架体与第一旋转轴垂直对称的位置上配置有第二旋转轴；架体两端分别配置有支架转轴，支架转轴上分别配置有第三旋转轴，支架转轴通过第三旋转轴与支撑架相连接；架体的横梁上对称设置有第二挂钩；具有结构简单，体积轻巧，可折叠，以及防止衣物出现褶皱的特点。
一种多功能皱褶晾衣架

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