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[发明专利]一种磁流体轴-CN202210417198.8在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： F16C35/12 文献下载
摘要：本发明公开一种磁流体轴，包括内轴和外轴，所述外轴外套安装于所述内轴，且所述外轴和所述内轴之间设置有若干沿轴向间隔设置的轴承，至少两个相邻的所述轴承之间填充有磁流体，所述外轴和所述内轴中的至少一者设置有冷却通道，用于通入冷却介质。采用这种方案，在需要进行冷却时，可以向该冷却通道内通入冷却介质，以降低磁流体轴的温度，从而可以保证磁流体轴在高温环境中的使用性能和寿命，使得该磁流体轴可以在离子束蚀刻和离子束沉积这两种不同的工艺中使用，能够大幅提高该磁流体轴的适用性。
一种流体

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417216.2在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，所述壳体组件包括支撑板；旋转台组件，用于支撑晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述外轴密封装配于所述支撑板，所述内轴具有伸入所述壳体组件内的第一端部和伸出所述壳体组件外的第二端部，所述第二端部与所述旋转台组件相连；驱动组件，位于所述壳体组件内，所述驱动组件具有驱动轴，所述驱动轴与所述内轴平行设置，且所述驱动轴与所述第一端部传动连接。上述晶圆载台装置可以方便装配和维护，且具备较高的集成度，体积可以较小，占用空间可以较少。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210415919.1在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：与大气环境相连通的壳体组件，包括支撑板；旋转台组件，包括支撑台和压接部，压接部用于将晶圆压紧于支撑台；第一磁流体轴，包括转动密封的第一内轴和第一外轴，第一外轴密封装配于支撑板，第一内轴具有伸入壳体组件内的第一端部和伸出壳体组件外的第二端部，第二端部与旋转台组件相连；升降组件，升降组件包括主体部分和升降体，主体部分位于壳体组件内，升降体与支撑板或者第一外轴滑动密封，且升降体能够与压接部相作用；遮挡组件，包括挡板，挡板被配置为可转动地装配于支撑板，以在转动至与旋转台组件相对的第一工位和与旋转台组件相错开的第二工位之间进行切换。
一种晶圆载台装置

[发明专利]一种晶圆载台装置-CN202210417221.3在审
发明人：桑康;胡冬冬;陈龙保;刘朋飞;王铖熠;程实然;郭颂;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-04-20 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明公开一种晶圆载台装置，包括：旋转台组件，包括支撑台和压接部，所述支撑台用于支撑晶圆，所述压接部用于压紧所述晶圆；磁流体轴，包括内轴和外轴，所述内轴和外轴之间设置有磁流体，所述内轴包括端部件和筒状件，二者围合形成容纳空间；升降组件，包括主体部分和升降体，所述主体部分位于所述容纳空间，所述升降体可滑动地密封装配于所述端部件，所述升降体与所述压接部相作用。上述晶圆载台装置可以更为充分地对内轴的内部空间进行利用，以提高设备的结构紧凑性和集成度，能够有效地缩减晶圆载台装置的占用空间，以便于安装。
一种晶圆载台装置

[发明专利]离子源挡板装置和离子束刻蚀机-CN202311079064.0在审
发明人：赵长喜;胡冬冬;李娜;刘好好;耿斌;程实然;陈龙保;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2023-08-25 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了离子源挡板装置和离子束刻蚀机，离子源挡板装置包括基础件和叶片；叶片为多个，并分别能沿预设轨迹运动地安装于基础件；其中，叶片能围成开口，且各叶片沿预设轨迹运动后能调节上述开口的尺寸。上述离子源挡板装置中，各叶片分别能沿预设轨迹运动地安装于基础件，叶片围成的开口能通过各叶片沿预设轨迹运动实现调节尺寸，从而使开口的尺寸能与不同尺寸的晶圆适配，既不影响离子束穿过开口到达晶圆处进行刻蚀，又避免离子束刻蚀到未被晶圆覆盖的晶圆载台区域，保护晶圆载台免受损伤。本发明公开的离子束刻蚀机应用上述离子源挡板装置，能提高晶圆载台的使用寿命。
离子源挡板装置离子束刻蚀

[发明专利]一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置-CN202311026573.7在审
发明人：胡少谦;桑康;陈龙保;胡冬冬;冯家莉;张风林;向贵鑫;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2023-08-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种OES终点检测装置和半导体芯片加工装置，OES终点检测装置包括：密封端盖，用于密封真空腔室，真空腔室用于放置测试样品，密封端盖具有安装通孔；检测探头，安装于安装通孔处，并且检测探头用于对真空腔室内的测试样品进行光谱测试，并得到光谱信号；透明隔离件，可拆卸密封安装于安装通孔处，并位于检测探头与真空腔室内部之间，且沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件。由于沿安装通孔的轴线方向至少具有两个透明隔离件，且至少一个靠近检测探头的透明隔离件密封遮挡安装通孔，因此，在更换被污染的透明隔离件时，另外的透明隔离件还在密封安装通孔，可保证真空腔室内的密封性，不会影响OES终点检测装置的正常使用。
一种 oes 终点检测装置半导体芯片加工

[发明专利]射频电极组件和等离子体处理设备-CN201910600861.6有效
发明人： 陈龙保;梁洁;王伟娜;涂乐义 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于等离子体处理设备的射频电极组件和等离子体处理设备，其中，用于等离子体处理设备的射频电极组件包括：基座，基座内设置有第一流体通道，第一流体通道连接第一流体源；位于基座上的静电夹盘；位于静电夹盘外围的聚焦环；位于基座周围的热传导环，热传导环至少部分包围基座，热传导环位于聚焦环下方，热传导环内设置有第二流体通道，第二流体通道连接第二流体源，热传导环与聚焦环之间能够进行热传导。所述等离子体处理设备能够对待处理基片边缘区域聚合物的分布进行调节。
射频电极组件等离子体处理设备

[实用新型]一种腔盖开合辅助结构-CN202222162393.9有效
发明人：郭颂;刘磊;陈龙保;刘海洋;王铖熠;王海东;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-08-16 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种腔盖开合辅助结构，包括：腔室和腔盖；腔盖位于腔室上方，两者通过铰链固定连接，且腔盖可以该铰链为固定点旋转实现腔盖在腔室上的开合。腔室与腔盖之间两侧和固定端均设有开盖气弹簧，开盖气弹簧包括缸体和活塞杆，活塞杆可在缸体中伸缩，向腔盖提供作用力。本实用新型在将腔盖打开的全程所有位置，操作者只需要施加较小的作用力即可实施，开盖或者合盖用力符合安全要求，克服了现有技术中半导体设备的腔盖的难以开合的问题。
一种腔盖开合辅助结构

[实用新型]晶圆载台挡板结构-CN202223494984.2有效
发明人：桑康;陈龙保;程实然;耿斌;高强;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆载台挡板结构，包括晶圆载台基板、晶圆载台、电极挡板机构，电极挡板机构包括驱动机构以及挡板；驱动机构的动力输出端通过连杆滑槽机构与挡板连接块连接，且挡板通过挡板连接块与升降导向机构的上端连接，挡板连接块相对于升降导向机构的上端可旋转设置；挡板连接块在驱动机构的动力驱动下，通过升降导向机构、连杆滑槽机构的协同作用，带动挡板相对于升降导向机构张开并下沉直至挡板处于预设位置或者上升并合拢直至覆盖在晶圆载台上。由此可见，本实用新型相比于其它挡板结构，减小了整个晶圆载台整体结构的占地空间，从而降低了整个腔室的制造成本，使用升降气缸结构成本低，结构简单稳定可靠。
晶圆载台挡板结构

[实用新型]托盘装置及具有该托盘装置的刻蚀机-CN202223434261.3有效
发明人：王海东;郭颂;郭春祥;陈龙保;李娜;张彪;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种托盘装置及具有该托盘装置的刻蚀机，所述托盘装置包括：托盘，用于放置于刻蚀机的下电极，包括：晶圆承载面，用于承载晶圆；晶圆非承载面，低于所述晶圆承载面；通孔，位于晶圆承载面与晶圆非承载面之间，用于流通冷却气体；压盘，用于盖设于所述托盘以固定晶圆。托盘装置能够提高晶圆降温效果。
托盘装置具有刻蚀

[实用新型]一种用于等离子体刻蚀的捕集器沉积装置-CN202222684525.4有效
发明人：王海东;陈龙保;郭春祥;郭颂;李晓磊;张彪;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于等离子体刻蚀的捕集器沉积装置，所述捕集器沉积装置连接在真空泵和前级阀之间；前级阀远离捕集器沉积装置的一端与等离子体刻蚀腔连接；所述捕集器沉积装置包括壳体和沉积板；所述壳体沿气流流向设置有进气端和出气端，进气端通过第一管道与真空泵连接，出气端通过第二管道与前级阀连接，所述壳体的侧壁内设置有冷却液通道；所述沉积板安装在所述壳体内，所述沉积板所在平面与气流方向形成夹角，所述沉积板上分布设置有多个通孔。本实用新型能够有效避免工艺过程中产生的颗粒物沉积到前级阀内壁上，延长管道及前级阀的抗堵塞时间，延长设备的维护周期，提高设备产能。
一种用于等离子体刻蚀捕集器沉积装置

[实用新型]离子束设备、离子源装置及其栅极结构-CN202223183902.2有效
发明人：闫奎呈;杨振;陈龙保;刘海洋;郭颂;胡冬冬;石小丽;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子束设备、离子源装置及其栅极结构，该栅极结构包括屏栅和加速栅，两者平行设置；还包括第一支撑环、第二支撑环以及支撑柱；所述第一支撑环和所述第二支撑环平行布置，所述屏栅和所述加速栅位于所述第一支撑环和所述第二支撑环之间；所述支撑柱为绝缘柱，所述支撑柱的两端分别与所述第一支撑环和所述第二支撑环抵接，所述屏栅和所述加速栅间隔套设于所述支撑柱；所述第一支撑环和所述第二支撑环通过若干紧固件固定连接。通过对栅极结构的优化，方便栅极结构的拆卸更换，降低了维护成本。
离子束设备离子源装置及其栅极结构

[实用新型]一种多功能树脂工艺品-CN202221557274.7有效
发明人： 陈龙保 -专利权人：泉州市茂发玩具礼品有限公司
申请日： 2022-06-21 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B44C5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及树脂工艺品技术领域，且公开了一种多功能树脂工艺品，包括工艺品本体；所述工艺品本体包括加湿器、摆件、连接座、通孔和管体，所述加湿器的顶部设置有所述摆件，所述摆件和所述加湿器通过所述连接座连接，所述摆件的内部开设有所述通孔，所述通孔的内部设置有所述管体，所述加湿器的内部设置有出雾口，所述管体与所述出雾口连接；该多功能树脂工艺品，通过在树脂工艺品的底部设置一个加湿器，并通过管体与加湿器的出雾口连接，将加湿器的打开，加湿器就可通过吸收水分制作水雾，并通过管体从工艺品上喷出，增加工艺品的有趣性，又能对周围的空气环境进行改善。
一种多功能树脂工艺品

[实用新型]一种具有多种灯光效果的树脂工艺品-CN202222070089.1有效
发明人： 陈龙保 -专利权人：泉州市茂发玩具礼品有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B44C5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及树脂工艺品技术领域，且公开了一种具有多种灯光效果的树脂工艺品，包括工艺品本体；所述工艺品本体包括固定座、*放置槽、摆件、盖体、灯座和灯，所述固定座的外侧壁开设有放置槽，所述放置槽的内部设置有所述摆件，所述固定座的顶部设置有所述盖体，所述盖体的底部设置有所述灯座，所述灯座的底部设置有多个所述灯，所述灯的色彩不一样；该具有多种灯光效果的树脂工艺品，通过在工艺品上设置多种色彩的灯具，对工艺品的摆件的氛围进行渲染，使工艺品不管是在白天还是黑夜，都能有丰富的观赏性，增加工艺品的可玩性，使工艺品在更换不同的摆件之后都能有合适的灯光进行照射。
一种具有多种灯光效果树脂工艺品

[实用新型]一种晶圆载台装置及晶圆压紧机构-CN202221273099.9有效
发明人：王海东;李娜;郭颂;陈龙保;刘海洋;李晓磊;胡冬冬;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开一种晶圆载台装置及晶圆压紧机构，其中，晶圆压紧机构包括：重力压紧组件，包括连杆以及间隔设置的压环、导向部件和配重环，所述导向部件固定装配，所述导向部件设置有导向构件，所述连杆穿过所述导向构件，所述连杆的两端分别与所述压环、所述配重环相连；驱动组件，包括驱动件和驱动杆，所述驱动件和所述驱动杆传动连接，所述驱动杆能够与所述配重环相作用，以至少用于驱使所述配重环进行顶升。上述晶圆压紧机构可以相对较佳地对晶圆进行压紧。
一种晶圆载台装置压紧机构

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