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[发明专利]晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统-CN202310341994.2在审
发明人：蒋家欣;舒贻胜;杨奉利;王建玮;陈思乡 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆预对位方法、装置、设备和晶圆检测系统，该方法包括：接收传感器采集到的线性数据，根据线性数据确定晶圆的缺口位置；线性数据为旋转平台带动晶圆旋转时，传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到；根据晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标；根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置。在旋转平台带动晶圆旋转时，利用传感器对晶圆的边缘进行数据采集得到线性数据后，根据传感器采集的线性数据确定晶圆的缺口位置，进而结合晶圆的缺口位置以及预设参数进行分析，确定晶圆的偏心坐标，根据晶圆的偏心坐标将晶圆的缺口位置调整至目标位置，无需进行二次数据采集和处理，提高了晶圆预对位效率。
晶圆预对位方法装置设备检测系统

[实用新型]一种料盘及测试装置-CN202320226751.X有效
发明人：万杨;包荣剑;张东东 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种料盘及测试装置。该料盘包括：承载板，开设有承载槽和定位孔，承载槽具有在第一预设方向上相对的第一侧表面和第二侧表面，第一侧表面呈具有多个第一阶梯面的阶梯状，第二侧表面呈具有多个第二阶梯面的阶梯状，各个第一阶梯面与各个第二阶梯面一一对应，且每一组彼此对应的第一阶梯面与第二阶梯面用于形成支撑待测试件的第一支撑位；底板，位于承载板背离承载槽的一侧；及锁紧组件，包括定位件及锁紧件，定位件连接在底板朝向承载板的一侧，且与定位孔定位配合，锁紧件穿设于定位孔，并与定位件可拆卸地连接，以锁紧承载板与底板。
一种测试装置

[实用新型]一种管路组件及测试分选机-CN202320191900.3有效
发明人：练俭鹏;胡鹏飞 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-29 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： F17D1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种管路组件及测试分选机。该管路组件包括：安装座；波纹管，包括沿自身纵长延伸方向布设的运动段和延长段，运动段远离延长段的一端用于与料梭连接，以跟随料梭相对安装座运动；刚性管，用于连接在冷媒机与延长段远离运动段的一端之间；及固定件，于运动段与延长段之间的位置将波纹管固定连接在安装座上。上述管路组件，延长了波纹管的长度，使得在固定件与刚性管之间预留的一定长度的波纹管(即波纹管的延长段)，从而避免了波纹管与刚性管连接的端部位于固定件处，进而避免了波纹管与刚性管连接的端部反复受力而产生变形或裂纹，大大延长了波纹管的使用寿命。
一种管路组件测试分选

[实用新型]测试装置-CN202320493119.1有效
发明人：王佳淳;李杰;陈振朋;张琦杰;邱国志 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种测试装置，所述测试装置包括测试机构和支撑座；所述测试机构包括向其一侧表面凸设的探针，所述探针用于与电子元器件接触测试；所述支撑座设于所述测试机构的另一侧表面；所述支撑座上开设有气流通道，所述气流通道被构造为供预设温度的气体流过以与所述测试机构换热。上述测试装置，将气流通道开设于支撑座上，当向气流通道内通入预设温度的气体时，通过测试机构间接传温于探针及芯片，相对于现有技术中将气流通道直接开设于测试机构的测试座上的方式，测试机构设有探针的位置不再镂空，即测试机构的测试座不再镂空，使得测试机构在承受较大的下压力时也不易损坏，满足测试大尺寸的芯片的需求。
测试装置

[实用新型]输送装置及分选设备-CN202320186699.X有效
发明人：陈俊荣;王海燕 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-03 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B65G61/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种输送装置，包括底座、托盘、连接件、减震件及驱动件。所述托盘沿竖直方向能够往复移动地连接于所述底座；连接件沿竖直方向能够往复移动地连接于所述托盘面向底座的一侧；减震件设置于所述连接件与所述托盘之间，驱动件连接于所述底座，且所述驱动件的输出轴与所述连接件固定连接。通过设置上述的输送装置，步进电机驱动连接件朝上移动，连接件抵接于减震件，以推动减震件和托盘朝上移动。在移动的过程中，步进电机和螺杆因低频共振产生的振动会先传递至减震件，经过减震件的减震缓冲，振动不会传递至托盘，从而避免料盘内的芯片发生抖动，避免芯片从料盘掉落。本实用新型还涉及一种分选设备。
输送装置分选设备

[实用新型]冷却组件、压头机构及分选测试设备-CN202320317123.2有效
发明人：张靓靓;王东;童仲尧;邱国志 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及一种冷却组件、压头机构及分选测试设备，冷却组件包括换热主体，换热主体内具有在第一方向上延伸的进液区域及在第二方向上分别位于进液区域两侧的两个出液区域；第一方向与第二方向相交；每个出液区域设有与进液区域连通的分流结构，分流结构能够引导经进液区域进入出液区域的冷媒分流扩散，并经出液区域在第二方向上远离进液区域的一端流出。有利于增大换热主体的中部区域的换热效率，提高换热主体的换热能力。
冷却组件压头机构分选测试设备

[实用新型]托盘机构及分收盘装置-CN202320204280.2有效
发明人：周炯锋;高聪;叶赛波;王泽君 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B65D19/38 文献下载
摘要：本申请涉及一种托盘机构及分收盘装置，包括：托盘；第一夹紧单元及第二夹紧单元，第一夹紧单元包括在第一方向上间隔设于托盘上的第一挡板与第一运动组件，第二夹紧单元包括在第二方向上间隔设于托盘上的第二挡板与第二运动组件；第一挡板、第一运动组件、第二挡板、第二运动组件及托盘共同形成一具有开口并用于放置料盘的夹紧空间；第一运动组件及第二运动组件能够相对于托盘运动，以夹紧位于夹紧空间的料盘；第一夹紧单元与第二夹紧单元在托盘上的位置可调，以改变夹紧空间在第一方向与第二方向上的尺寸；第一方向与第二方向相交。托盘机构在兼容不同规格的料盘时，不需要更换零部件来实现，工作量小，提高了生产效率。
托盘机构收盘装置

[实用新型]数字板卡通道电平精度测试装置及测试机-CN202320532226.0有效
发明人：赵阳 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-03-10 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本申请涉及一种数字板卡通道电平精度测试装置及测试机，测试装置包括切换输出数字板卡的数字通道的电平信号的切换开关矩阵，和并行测试各数字板卡的数字通道的电平精度的信号处理模块；切换开关矩阵连接对应数字板卡的数字通道，信号处理模块连接切换开关矩阵。将切换开关矩阵连接对应数字板卡的数字通道，切换输出数字板卡的数字通道的电平信号，并利用信号处理模块并行测试各数字板卡的数字通道的电平精度，可对多个数字板卡进行并行测试，提高了测试效率。
数字板卡通道电平精度测试装置

[发明专利]应用于测试电子元件的测试分选装置-CN202011436506.9有效
发明人：赵轶;鲍军其;胡鹏飞;叶梦雅;梁敬好;王子豪;张琦杰;崔海洋 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B07C5/34 文献下载
摘要：本申请涉及应用于测试电子元件的测试分选装置，所述装置包括机台、设于机台的测试室；所述机台还设有与所述测试室管道连接的换热设备，所述换热设备对外界输入的气体进行冷热交换后输入至所述测试室，输入至所述测试室的气体用于调整所述测试室的测试温度；所述机台还设有与所述换热设备管道连接的冷媒物质压缩设备，所述冷媒物质压缩设备用于压缩冷媒物质并为所述换热设备提供冷媒物质，解决了相关技术中冷媒输送装置和测试装置搬运不便利的问题，提高了测试分选装置搬运的便利性。
应用于测试电子元件分选装置

[实用新型]传送轴及半导体测试设备-CN202320043744.6有效
发明人：沈超;韩世杰 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B65G13/06 文献下载
摘要：本申请涉及芯片测试设备技术领域，尤其是涉及一种传送轴及半导体测试设备。传送轴包括同轴设置的传送轴主体、联轴器和转接轴，联轴器用于穿设于测试腔室的侧板上，传送轴主体位于测试腔室内并与联轴器的一端相连接，转接轴位于测试腔室外并与联轴器的另一端相连接，且转接轴为塑料转接轴。通过将传送轴分为通过联轴器连接的两段，使得传送轴主体和转接轴可以选用不同的材质，比如位于测试腔室内的传送轴主体可以选用强度较好且具有良好地耐高低温性能的钢件，而位于测试腔室外的转接轴则选用导热性能较差的塑料件，从而使传送轴主体上的低温不易传导至转接轴上，转接轴不易因温度与外界环境温度之间相差较大而结霜。
传送半导体测试设备

[实用新型]导向板及取放料装置-CN202320078307.8有效
发明人：姜旭军;刘文福;曹明阳;陈文艺 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B65G47/22 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种导向板及取放料装置，涉及取放料装置技术领域。该导向板包括导向板本体，导向板本体设有多个导向槽，多个导向槽沿第一方向间隔设置；相邻两个导向槽的第一端之间的距离与第二端之间的距离不同；导向槽配置为与吸嘴组件滑动配合，以引导吸嘴组件沿导向槽的长度方向运动。本实用新型解决了现有的取放料装置无法兼容不同规格的料盘的技术问题。
导向取放料装置

[实用新型]测试单元及测试装置-CN202223603494.1有效
发明人：徐燊;程高飞 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种测试单元及测试装置，涉及电子元件测试装置的技术领域。该测试单元包括定位件、固定板和连接器；固定板设有安装孔，连接器安装于安装孔内，且设有安装部；定位件包括连接部和定位部，连接部与定位部连接，且与定位部呈夹角设置；连接部与固定板连接，安装部夹设于定位部和固定板之间。本实用新型提供的测试单元解决了现有技术中连接器安装不稳定的技术问题。
测试单元装置

[实用新型]限位机构、预温装置及测试分选机-CN202320057938.1有效
发明人：邵驰翔;胡鹏飞;邱国志 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B07C5/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种限位机构、预温装置及测试分选机，涉及测试分选机技术领域。该限位机构包括支撑座和至少两个限位组件，多个限位组件间隔设置于支撑座；限位组件具有限位面，限位面配置为与承载体抵接，多个限位组件的限位面位于支撑座的同一侧。本实用新型提供的限位机构解决了现有技术中存在的承载件可绕主体旋转导致两者之间存在安装偏差和承载件的变形没有规律性的技术问题。
限位机构装置测试分选

[实用新型]晶圆承载装置及晶圆测试设备-CN202320043741.2有效
发明人：廖明;童仲尧;张强 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本申请涉及半导体测试设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆承载装置及晶圆测试设备，晶圆承载装置包括：承载吸盘，承载吸盘内形成有冷媒流道；承载吸盘避让冷媒流道的部分形成有至少一个真空吸附孔，真空吸附孔连通至承载吸盘的上表面，承载吸盘的上表面形成有与真空吸附孔连通的负压吸附部；加热件，设置在承载吸盘的下表面，加热件能够通过改变承载吸盘的温度以调节晶圆的温度。本申请实施例提供的晶圆承载装置，能够提供较大的测试温度范围，提高晶圆测试的全面性，并且通过调整制冷介质的温度调节测试温度的方式，温度控制精度更高。
承载装置测试设备

[实用新型]防霜装置及分选设备-CN202320057884.9有效
发明人：陶骋;陈豪杰;邱国志 -专利权人： 杭州长川科技股份有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05B3/02 文献下载
摘要：本申请涉及电子元件测试技术领域，尤其涉及一种防霜装置及分选设备。防霜装置包括开合板，用于对托盘入口进行打开或关闭，当开合板关闭托盘入口时，开合板的第一区域对应覆盖托盘入口；和铺设安装于开合板上的加热件，其至少覆盖第一区域设置，其铺设尺寸至少覆盖托盘入口的开口尺寸设置；和与加热件电连接的电源控制端。分选设备包括防霜装置。该防霜装置及分选设备解决了预温室在低温档的测试模式下，托盘入口及周边易结露或易结霜的技术问题。
装置分选设备