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[发明专利]一种LED灯珠器件及其生产工艺-CN202310868271.8在审
发明人：钟伟祥;颜海波;涂良成;杨山清;官盛果 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L33/48 文献下载
摘要：本发明属于红外线光源技术领域，尤其涉及一种LED灯珠器件，包括支撑架体、从所述支撑架体一侧外壁向其内部开设并延伸一段长度的反射凹腔、固定绕设于所述支撑架体外侧且与所述反射凹腔部分相对的引线支架、固定封装于所述引线支架面向所述反射凹腔一侧的至少一个晶片单元、以及灌装于所述反射凹腔内部且覆盖所述晶片单元和部分引线支架的透光封胶，所述晶片单元用于向所述反射凹腔内部发射光线并经过反射后射出，晶片单元经引线支架传输电能后向反射凹腔内部发出光线，引线支架对面向反射凹腔的晶片单元进行阻挡，无法从外部观测到晶片单元的位置，消除LED的850nm红外线光源的红曝现象带来的影响，减少近距离观测红外管时被破坏或者躲避所造成的失效。
一种 led 器件及其生产工艺

[发明专利]一种热解双面胶在提高深硅刻蚀均一性中的应用-CN202310744782.9在审
发明人：官盛果;陈婷;龚跃武;李志贤;涂良成;杨山清 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C09J7/25 文献下载
摘要：本发明属于涉及半导体器件技术领域，更具体地，涉及一种热解双面胶在提高深硅刻蚀均一性中的应用。该应用中的热解双面胶由聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜和涂覆于基膜两面的硅酮高分子聚合物弹性体组成。本发明将热解双面胶用于深硅刻蚀，替代常规粘接剂，不仅可以提供良好的粘接性能以防止晶圆片与托片在刻蚀过程中发生偏移，提高刻蚀精度；还可以增强晶圆片与托片之间的导热性能，使得晶圆片通过热解双面胶向托片快速传递扩散，从而提高刻蚀的均一性。
一种双面提高刻蚀均一中的应用

[发明专利]一种MEMS芯模的制备方法-CN202310728498.2在审
发明人：刘芹篁;龚跃武;陈婷;李志贤;官盛果;涂良成;杨山清 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明属于涉及半导体器件技术领域，涉及一种MEMS芯模的制备方法，包括以下步骤：先将硅片的氧化层侧与晶圆衬底通过热解膜粘合，同时采用深反应离子刻蚀在硅片表面形成所需图形，并在表面沉积金属膜；然后将硅片金属膜侧与晶圆衬底过热解膜粘合，进一步刻蚀形成所需图形，加热分离，剥离金属膜、去除氧化层，即得MEMS芯模；其中，S1和S2中所述热解膜由聚对苯二甲酸乙二醇酯基膜和涂覆于基膜两面的亚克力胶层组成。本发明利用热解膜与硅片的氧化层和金属膜相结合，有效避免叠片及释放过程中硅片与热解膜相接触，从而减少刻蚀过程中或刻蚀完成后对MEMS芯模的污染及损伤，还可以实现快速释放。
一种 mems 制备方法

[发明专利]一种双顶针及扭摆系统的高精度对准方法及系统-CN202310637500.5在审
发明人：薛超;王吉;杨彪;蔡炳蔚;施迪文;周泽凡;谭文海;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： B25H1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种双顶针及扭摆系统的高精度对准方法及系统，涉及精密测量领域。所述系统包括：检验质量、双顶针系统、多自由度位移台、上位机、扭摆系统、六自由度测量臂、竖直位移台、自准直仪和拍摄系统。相较于现有技术，所述上位机通过拍摄系统对顶针进行非接触式测量、通过六自由度测量臂对顶针进行接触式测量，通过多自由度位移台的配合实现顶针的对准，通过扭摆系统调装检验质量的扭转姿态，可在地面验证真实在轨时理想接触条件下的释放结果，并保证在多次重复实验中所述检验质量可以固定角度与两侧顶针接触，避免检验质量初始扭转姿态的偏差对释放结果的影响，确保实验结果的可重复性和准确性，减小顶针未对准释放引入的误差。
一种顶针扭摆系统高精度对准方法

[发明专利]一种亚微牛推力矢量测试方法和装置-CN202310702130.9在审
发明人：李祝;刘洪凡;王观芳;程郑文韬;杨泽邦;刘建平;涂良成;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本发明涉及精密测量技术领域，提出一种亚微牛推力矢量测试方法和装置，其中所述装置包括架设于底座上的框架支架，以及双轴悬梁机构，所述框架支架顶部设置有第一横梁，所述双轴悬梁机构连接于所述第一横梁的中心，组成悬摆式双轴结构；微推进器安装架，用于亚微牛量级微推进器的安装固定以及测量过程中的位置调整；双轴电磁执行机和双轴位移传感器，用于测量水平面内正交两个方向上微推进器安装架的位移变化及亚微牛量级微推进器的推力矢量；数据处理模块，用于读取测量过程中双轴电磁执行机的工作电流，对亚微牛量级微推进器推力矢量的计算，输出亚微牛量级微推进器的推力矢量测量结果。
一种亚微牛推力矢量测试方法装置

[实用新型]一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机-CN202320277821.4有效
发明人：薛超;杨彪;王吉;周泽凡;谭文海;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-02-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H02N2/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及电机设备领域，提出一种箝位驱动一体化的尺蠖直线电机，包括机座、中间动子、第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构及其控制器；第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构分别位于中间动子的两侧；第一箝位驱动机构和第二箝位驱动机构均包括至少两个箝位驱动足，每个箝位驱动足包括有驱动单元和箝位单元，驱动单元与箝位单元触接；驱动单元分别夹持中间动子的两个相对设置的夹持面、并带动中间动子的滑动面在机座所设的导轨上做直线运动。本实用新型简化了箝位机构和驱动机构的结构和连接关系，使得尺蠖型直线电机结构紧凑，减小了整体体积。
一种箝位驱动一体化尺蠖直线电机

[发明专利]一种基于双层环形压电陶瓷叠堆的比例流量控制阀及其使用方法-CN202310576297.5在审
发明人：刘建平;张浩源;胡少刚;李祝;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F16K31/00 文献下载
摘要：本发明涉及比例阀设备领域，提出一种基于双层环形压电陶瓷叠堆的比例流量控制阀及其使用方法，其包括阀盖、压电陶瓷驱动机构、阀芯和阀体，其中：所述阀盖上设置有电极芯，所述阀盖中部设置有入气管，所述入气管与所述阀体连通；所述压电陶瓷驱动机构设置于所述阀体内，所述压电陶瓷驱动机构通过引线与所述电极芯连接；所述阀体上部开口设置并与所述阀盖紧密连接设置，所述阀体底部开设有开口结构，且开口结构位置设置有喷嘴；所述阀芯的一端穿过所述压电陶瓷驱动机构后通过第一弹性限位件压紧在所述喷嘴的开口位置并配合阀座实现密封；所述阀芯的另一端通过固定设置在所述压电陶瓷驱动机构顶部的螺母与所述压电陶瓷驱动机构连接。
一种基于双层环形压电陶瓷比例流量控制及其使用方法

[发明专利]一种大自然健康LED光源器件及其制备方法-CN202310347614.6在审
发明人：钟伟祥;颜海波;涂良成;杨山清;官盛果 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L33/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种大自然健康LED光源器件及其制备方法。本发明的大自然健康LED光源器件，包括近紫外发光芯片、支架、用于粘接近紫外发光芯片与支架的固化荧光胶，以及涂覆于近紫外发光芯片上的光转化层；所述固化荧光胶由封装胶与荧光粉末组成，所述荧光粉末为浅蓝白色粉末；所述光转化层由浅蓝白色粉末、浅蓝绿色粉末、黄绿色粉末、橘红色粉末和白色粉末按质量比(28.5～39):(4.5～21):(3～5.9):(0.56～5.3):(0.5～0.7)组成的复合荧光粉与封装胶混合制得。本发明通过筛选芯片和选用多种特定荧光粉及特定比例混合，可有效抑制紫外强度、增加近紫外转换蓝光峰值，保证高显色指数的同时提高光效，使得本发明的光源更舒适，更接近大自然健康光源光谱。
一种大自然健康 led 光源器件及其制备方法

[发明专利]一种检验质量在轨释放的地面验证测试装置及方法-CN202310319447.4在审
发明人：薛超;王吉;杨彪;周泽凡;施迪文;蔡炳蔚;谭文海;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01V13/00 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器技术领域，提出一种检验质量在轨释放的地面验证测试装置及方法。其中包括真空容器；真空容器内底部设置有两个位移台，两个位移台上分别设置有顶针释放机构，两个顶针释放机构同轴设置；真空容器内悬挂设置有检验质量，检验质量位于两个顶针释放机构之间，且顶针释放机构的顶针端部与检验质量的外表面垂直接触；还包括至少2个正交布置的自准直仪和2个正交布置的激光干涉仪，自准直仪用于测量检验质量至少2个方向上的转动角度，激光干涉仪用于测量检验质量至少2个平动自由度上的位移；还包括上位机，上位机分别与自准直仪和激光干涉仪连接，用于根据采集的转动角度数据和位移数据计算检验质量释放动量、释放角动量。
一种检验质量释放地面验证测试装置方法

[发明专利]一种基于图像识别的球体质心偏离测量装置及方法-CN202310070458.3在审
发明人：刘建平;薛超;胡少刚;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-01-30 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明为克服气体悬浮法测量球体偏心存在测量精度低的缺陷，提出一种基于图像识别的球体质心偏离测量装置及方法，其包括气浮单元、运动限制单元、图像采集单元和数据处理单元，其中，气浮单元输出高压气体使待测球体悬浮于气浮单元的正上方；运动限制单元设置在气浮单元的一侧，对待测球体的侧面贴合接触，且运动限制单元与待测球体的接触点与待测球体的形心处于同一水平高度；图像采集单元设置在气浮单元的上方，对待测球体的摆动情况进行拍摄记录；数据处理单元的输入端与图像采集单元的输出端连接，对采集的待测球体摆动的图像数据进行图像识别分析，得到待测球体摆动的周期，再根据球体偏心距与球体摆动的周期关系得到待测球体的偏心距大小。
一种基于图像识别球体质心偏离测量装置方法

[发明专利]一种微机电系统封装结构及其制备方法-CN202110546475.0有效
发明人：涂良成;杨山清;陈婷;龚跃武;张晨艳;崔建玉 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2021-05-19 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明属于微机电系统封装技术领域，提供了一种微机电系统封装结构，其包括硅基底、在所述硅基底上图案化制备得到的MEMS器件结构，以及用于对所述MEMS器件结构进行键合封装的盖板；所述硅基底背面还依次设置有第二金属层和第一金属层，所述第一金属层和第二金属层的总厚度不低于5μm；所述第一金属层和第二金属层用于保护所述MEMS器件结构在键合封装时不受破坏，同时用于释放刻蚀过程中产生的热量。在本发明微机电系统封装结构制备过程中，由于先在硅基底背面沉积了一定厚度的金属层，用以固定MEMS器件的薄弱结构，使得本发明可通过刻蚀后先键合再划片的工序，实现MEMS器件结构的晶圆级封装，封装效率高，质量好，成本低。
一种微机系统封装结构及其制备方法

[发明专利]一种力和位移一体化测量的释放装置及其使用方法-CN202310154065.0在审
发明人：薛超;王吉;杨彪;周泽凡;谭文海;杨山清 -专利权人：中山大学
申请日： 2023-02-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： G01V7/02 文献下载
摘要：本发明涉及惯性传感器技术领域，提出一种力和位移一体化测量的释放装置及其使用方法，其中释放装置包括从下至上依次安装在管状外壳内的顶针、位移传感器、驱动机构和轴向力传感器；其中：所述顶针的端部套设有弹性支撑件，用于对顶针施加向上的压力，所述顶针的底部与驱动机构压紧，所述弹性支撑件对驱动机构施加预紧力；所述位移传感器设置于所述顶针的底部与驱动机构之间，用于测量顶针与外壳的相对位移；所述轴向力传感器与所述驱动机构连接设置，用于测量顶针释放过程中的轴向力；所述装置还包括控制器，用于接收所述位移传感器和轴向力传感器的感应信号，并根据感应信号的大小控制所述驱动机构的工作。
一种位移一体化测量释放装置及其使用方法

[发明专利]一种改善电绝缘性能的加速度计及其制备方法-CN202110127615.0有效
发明人：涂良成;杨山清;陈婷;龚跃武;张晨艳;崔建玉 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01P15/08 文献下载
摘要：本发明属于微纳加工技术领域，更具体地，涉及一种改善电绝缘性能的加速度计及其制备方法。本发明采用特定组成的有机绝缘膜代替PSPI或二氧化硅作为电绝缘层材料，该有机绝缘膜固含量低，具有良好流动性，解决现有技术绝缘层材料粘度大所引起的气泡导致第一金属层和第二金属层断层的问题，很好的提高了第一金属层和第二金属层的导通性，提高器件良品率，同时也解决了现有技术退火工艺时间长的技术问题，提高了器件产能。
一种改善绝缘性能加速度计及其制备方法

[实用新型]一种黄光曝光用挡板装置-CN202220958442.7有效
发明人：龚跃武;陈婷;官盛果;杨山清;涂良成 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种黄光曝光用挡板装置，包括曝光挡板，所述曝光挡板为圆形、尺寸为4寸‑12寸；所述曝光挡板分成N块盖板，N≥2；所述曝光挡板的中央设有旋转件，所述N块盖板分别通过所述旋转件串联，各块盖板能够单独转动。通过在曝光光源与Mask版之间设置本实用新型的挡板装置，挡住不需要的曝光部分，进行多次实验，摸索不同曝光、显影等条件，成本降低较明显，效率提高十分多。
一种曝光挡板装置

[实用新型]一种键合强度测试装置-CN202220959378.4有效
发明人：陈婷;龚跃武;官盛果;杨山清;涂良成 -专利权人：中山大学南昌研究院
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： G01N3/08 文献下载
摘要：本实用新型属于微纳加工制造技术领域，具体涉及一种键合强度测试装置，包括底座(1)，所述底座(1)上均匀设有密集的真空吸附孔洞(2)，所述底座(1)上设有可滑动的刀片(3)，所述刀片(3)由设置在控制单元(6)中的电机马达通过电路控制，所述刀片(3)上设置有拉力传感器，所述拉力传感器与显示单元(7)电性连接。本实用新型通过在控制单元中安装电机马达，实现自动拉动刀片，并在控制单元中安装拉力感应器，显示单元实时显示拉力值，结束后显示最大值、平均值和最小值。操作安全性高、误差基本可忽略不计。
一种强度测试装置

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