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- [实用新型]用于晶圆自动清洗移载装置-CN202223384908.6有效
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李佳森;张少阳;陈晨;孙博
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-07-18
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B65G49/07
- 本实用新型揭示了一种用于晶圆自动清洗移载装置，包括机架，所述机架上设有一组具有容置槽的容置块，每一所述容置槽内均设有一用以承载晶圆的承载框，所述承载框的两侧固设有传动臂，所述传动臂至少部分延伸置于所述容置槽外，且延伸置于所述容置槽外的所述传动臂上固设有驱动组件，所述驱动组件可驱动所述承载框上下移动，所述机架上还设有驱动所述驱动组件水平移载的移载组件。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，驱动组件和移载组件相互配合即可通过传动臂驱动承载框移动，从而实现在单一机台内依次进行涂布、清洗等作业，能提升生产效率，降低生产成本。
- 用于自动清洗装置
- [实用新型]晶圆框抓取移载装置-CN202223384865.1有效
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李佳森;张少阳;陈晨;孙博
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-07-18
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H01L21/677
- 本实用新型揭示了一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框的承载座，所述承载座至少包括框体，所述框体上设有用以将晶圆框限位的限位组件，所述框体的两端设有用以将所述晶圆框固定的固定杆，所述固定杆呈L形，其竖直端与所述框体固接，其水平端上设有两个凸起部；所述承载座的上方设有一固定板，所述固定板上固设有挂钩，所述挂钩可卡接在相应的两个所述凸起部之间。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，下限位杆和上限位杆相互配合可将晶圆框限位，避免移载过程中出现意外掉落或损坏的情况发生，从而提高良品率，另外，该设计便于更换及调整，具有较广的适用性。
- 晶圆框抓取装置
- [实用新型]蒸汽干燥机-CN202221069008.X有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-11-08
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H01L21/67
- 本实用新型揭示了一种蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口的壳体；所述壳体内形成有加热区和烘干区，两者之间通过油浴加热板隔离；所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端，且两者连通；所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口，所述加热区加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区；所述烘干区的外壁上设置有IPA回收管，且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区上；IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管再次进入所述加热区。本实用新型的有益效果体现在：将加热后产生的IPA蒸汽液化成IPA液体，并将IPA液体回收至IPA回收口中再次进入加热区进行循环使用，降低IPA的消耗，起到节约IPA的目的，同时减少对外部环境的污染。
- 蒸汽干燥机
- [实用新型]一种供液回收管道-CN202221068910.X有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-10-28
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F17D1/00
- 本实用新型揭示了一种供液回收管道，包括连接气源的充气管道，充气管道的输出端连接有至少一个供液桶，并插接至供液桶的输出口内；供液桶的输出口上连接有输出管道；输出管道的出口与一气液分离装置的输入口连接，分离装置上设置有三个输出口，三个输出口处分别通过第一管道连接抽风管，通过第二管道连接排液口，以及通过第三管道连接主机装置；主机装置运行过程中产生的废液经过回收管道输入回收桶中。本实用新型的有益效果体现在：管路结构采用简单的串并联，管道设置简单，方便后期对管道进行保养和维护处理；同时在主机上还设置有一液体回收管道，将供液过程中和主机使用后产生的废液废气同一排出至回收桶中进行集中处理，保护环境。
- 一种回收管道
- [实用新型]单片清洗机-CN202221069003.7有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-10-28
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B08B3/02
- 本实用新型揭示了一种单片清洗机，包括底板，所述底板上设置有清洗槽，以及同轴设置于所述清洗槽内部且可自转的承载座；所述承载座四周并用于固定晶圆位置的锁紧装置；有一喷淋机构的喷淋管道贯穿所述清洗槽的外壁，所述喷淋管道由直线驱动机构驱动其沿所述承载座的直径方向往复移动；所述清洗槽底部设置有排液口。本实用新型的有益效果体现在：清洗效果佳，在承载座的旋转过程中，由驱动电机驱动喷淋管道沿承载座的直径方向移动，使得放置于承载座上的晶圆外表面与喷淋管道的清洗液充分接触，且晶圆的边缘和死角处也能得到充分清洗，提高清洗效果的同时保障了清洗效率。
- 单片清洗
- [实用新型]晶圆高效抓取装置-CN202021685056.2有效
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李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-05-04
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B25J15/06
- 本实用新型揭示了一种晶圆高效抓取装置，包括呈圆柱状的基座，所述基座外圆周面的四周均布有一组抓取块，所述抓取块上固设有一滑杆，所述滑杆至少部分贯穿所述基座延伸置于所述基座的容置腔内，所述基座上固设有一可上下移动的驱动件，所述驱动件可驱动所述抓取块面向或背向所述基座的中轴线移动；所述基座的底部还固设有一吹气板，所述吹气板上还设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。
- 高效抓取装置
- [实用新型]晶圆旋转清洗装置-CN202021686394.8有效
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李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-05-04
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B08B3/04
- 本实用新型揭示了一种晶圆旋转清洗装置，包括基座以及开设在其上的容置空间，所述容置空间内配置有用以容置晶圆的承载组件，所述承载组件的下方设有枢轴设置在所述基座上用以驱动所述晶圆转动和震荡的转辊组件，所述转辊组件的外表面承靠所述晶圆的边缘，且所述转辊组件由固设在所述基座上的驱动组件驱动。本实用新型的有益效果主要体现在：驱动电机依次通过驱动齿轮、主动齿轮和从动齿轮驱动转辊转动，从而通过转辊带动晶圆旋转清洗的效果，该装置结构精巧，装配要求低，能够降低晶圆转速防止容置空间内的液体因摩擦而升温。另外，转辊上开设有的缺口，可增加晶圆震荡的幅度，便于晶圆表面附着的污染物和细小微粒被强制除去，提高良品率。
- 旋转清洗装置
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