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- [实用新型]用于晶圆自动清洗移载装置-CN202223384908.6有效
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李佳森;张少阳;陈晨;孙博
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-07-18
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B65G49/07
- 本实用新型揭示了一种用于晶圆自动清洗移载装置，包括机架，所述机架上设有一组具有容置槽的容置块，每一所述容置槽内均设有一用以承载晶圆的承载框，所述承载框的两侧固设有传动臂，所述传动臂至少部分延伸置于所述容置槽外，且延伸置于所述容置槽外的所述传动臂上固设有驱动组件，所述驱动组件可驱动所述承载框上下移动，所述机架上还设有驱动所述驱动组件水平移载的移载组件。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，驱动组件和移载组件相互配合即可通过传动臂驱动承载框移动，从而实现在单一机台内依次进行涂布、清洗等作业，能提升生产效率，降低生产成本。
- 用于自动清洗装置
- [实用新型]晶圆框抓取移载装置-CN202223384865.1有效
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李佳森;张少阳;陈晨;孙博
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-12-16
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2023-07-18
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H01L21/677
- 本实用新型揭示了一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框的承载座，所述承载座至少包括框体，所述框体上设有用以将晶圆框限位的限位组件，所述框体的两端设有用以将所述晶圆框固定的固定杆，所述固定杆呈L形，其竖直端与所述框体固接，其水平端上设有两个凸起部；所述承载座的上方设有一固定板，所述固定板上固设有挂钩，所述挂钩可卡接在相应的两个所述凸起部之间。本实用新型的有益效果主要体现在：设计精巧，下限位杆和上限位杆相互配合可将晶圆框限位，避免移载过程中出现意外掉落或损坏的情况发生，从而提高良品率，另外，该设计便于更换及调整，具有较广的适用性。
- 晶圆框抓取装置
- [发明专利]一种词嵌入表示方法、装置及设备-CN201911336859.9有效
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张少阳
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东软集团股份有限公司
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2019-12-23
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2023-04-28
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G06F40/284
- 本申请公开一种词嵌入表示方法、装置及设备，所述方法包括：对待处理文本进行分词处理，得到分词结果；其中，所述分词结果中包括待表示词语；将所述待表示词语输入至word2vec模型中，经过所述word2vec模型的处理后，得到所述待表示词语的第一词向量；其中，所述word2vec模型为利用与所述待处理文本属于同领域的数据样本训练得到；以及，将所述待表示词语输入至Bert模型中，经过所述Bert模型的处理后，得到所述待表示词语的第二词向量；其中，所述Bert模型为利用不限领域的数据样本训练得到；结合所述第一词向量和所述第二词向量，确定所述待表示词语的词向量，以实现所述待表示词语的词嵌入表示。本申请结合word2vec模型输出的第一向量和Bert模型输出的第二向量，为待表示词语确定词向量，能够最大化的提高词嵌入表示效果。
- 一种嵌入表示方法装置设备
- [实用新型]一种防堵水利清淤装置-CN202222165635.X有效
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张玥;张少阳;刘彩虹;赵卫平
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张玥
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2022-08-17
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2023-02-17
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E02F3/88
- 本实用新型涉及清淤装置技术领域，特别是一种防堵水利清淤装置，包括万向轮，所述万向轮的一侧固定连接有移动架，所述移动架的一侧固定连接有储泥箱，所述储泥箱的一侧管道连接有离心泵。本实用新型的优点在于：通过万向轮、移动架、储泥箱、离心泵、抽泥管和防堵构件之间的配合设置，工作人员将清淤装置组装完成之后，将抽泥管放置到河道内淤泥处，随后开启离心泵使其产生吸力进而可以通过抽泥头将淤泥抽到储泥箱内部，同时通过远程控制模块远程控制防水电机开启，使其通过转动轴带动粉碎刀进行转动，可以对淤泥中的大颗粒杂物进行粉碎，可以防止大颗粒杂物进入抽泥管内部使其发生堵塞，不会因抽泥管堵塞而影响清淤效率。
- 一种水利清淤装置
- [实用新型]蒸汽干燥机-CN202221069008.X有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-11-08
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H01L21/67
- 本实用新型揭示了一种蒸汽干燥机，包括顶端设置有放料口的壳体；所述壳体内形成有加热区和烘干区，两者之间通过油浴加热板隔离；所述放料口居中设置于所述烘干区的顶端，且两者连通；所述壳体的加热区侧壁上设置有用于注入IPA溶液的IPA进口，所述加热区加热后产生的IPA蒸汽进入所述烘干区；所述烘干区的外壁上设置有IPA回收管，且所述IPA回收管的输出端连接至所述加热区上；IPA蒸汽液化后通过所述IPA回收管再次进入所述加热区。本实用新型的有益效果体现在：将加热后产生的IPA蒸汽液化成IPA液体，并将IPA液体回收至IPA回收口中再次进入加热区进行循环使用，降低IPA的消耗，起到节约IPA的目的，同时减少对外部环境的污染。
- 蒸汽干燥机
- [实用新型]一种供液回收管道-CN202221068910.X有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-10-28
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F17D1/00
- 本实用新型揭示了一种供液回收管道，包括连接气源的充气管道，充气管道的输出端连接有至少一个供液桶，并插接至供液桶的输出口内；供液桶的输出口上连接有输出管道；输出管道的出口与一气液分离装置的输入口连接，分离装置上设置有三个输出口，三个输出口处分别通过第一管道连接抽风管，通过第二管道连接排液口，以及通过第三管道连接主机装置；主机装置运行过程中产生的废液经过回收管道输入回收桶中。本实用新型的有益效果体现在：管路结构采用简单的串并联，管道设置简单，方便后期对管道进行保养和维护处理；同时在主机上还设置有一液体回收管道，将供液过程中和主机使用后产生的废液废气同一排出至回收桶中进行集中处理，保护环境。
- 一种回收管道
- [实用新型]单片清洗机-CN202221069003.7有效
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张少阳;李佳森
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2022-05-06
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2022-10-28
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B08B3/02
- 本实用新型揭示了一种单片清洗机，包括底板，所述底板上设置有清洗槽，以及同轴设置于所述清洗槽内部且可自转的承载座；所述承载座四周并用于固定晶圆位置的锁紧装置；有一喷淋机构的喷淋管道贯穿所述清洗槽的外壁，所述喷淋管道由直线驱动机构驱动其沿所述承载座的直径方向往复移动；所述清洗槽底部设置有排液口。本实用新型的有益效果体现在：清洗效果佳，在承载座的旋转过程中，由驱动电机驱动喷淋管道沿承载座的直径方向移动，使得放置于承载座上的晶圆外表面与喷淋管道的清洗液充分接触，且晶圆的边缘和死角处也能得到充分清洗，提高清洗效果的同时保障了清洗效率。
- 单片清洗
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