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- [实用新型]一种半导体晶圆外观检测标记设备-CN202320503358.0有效
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王坚红;徐明成;陈锋;黄国军;王锋
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常山弘远电子有限公司
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2023-03-16
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2023-10-27
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H01L21/68
- 本实用新型提供一种半导体晶圆外观检测标记设备,属于半导体晶圆检测技术领域,解决传统工艺中需要人工手动进行外观检测,费时费力并且需要对不合格的晶圆挑出并进行分类,操作麻烦的问题,包括支架、输送带、检测机构、标记机构和壳体;所述支架的下端安装有四组支脚;所述输送带安装在支架的上端,输送带上安装有两组定位板;所述检测机构、标记机构和壳体安装在定位板上;将半导体晶圆放置在输送带上,通过定位板对晶圆的位置进行定位,控制二号电机以及三号电机对检测器的位置进行调整并对晶圆进行检测,若检测出晶圆不合格,则通过标记机构对晶圆进行涂墨标记,并通过烤灯对墨点进行烘干,实现自动化检测,效率高,便于客户使用。
- 一种半导体外观检测标记设备
- [实用新型]一种特性检测设备-CN202320327964.1有效
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王坚红;徐明成;陈锋;黄国军;王锋
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常山弘远电子有限公司
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2023-02-28
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2023-09-01
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G01R31/28
- 本实用新型提供一种特性检测设备,属于芯片检测技术领域,解决传统的检测设备检测效率低以及缺乏对芯片的保护结构的问题,包括底架、支杆和显示件;所述支杆设有两组,两组支杆的下端通过螺栓安装有两组连接座,连接座通过螺栓安装在在底架上;所述显示件安装在底架上;本实用新型的竖板上安装有直角座,直角座的下端安装有十字板,十字板上安装有四组检测器,检测器与显示器电性连接,在对半导体芯片进行检测时,通过四组检测器对芯片进行检测,与目前的检测设备相比,检测效率更高;通过转动调节杆使滑动块对压板进行挤压,使压板下压在半导体芯片上,实现芯片的固定,橡胶座起缓冲作用,实现对芯片的保护。
- 一种特性检测设备
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