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[发明专利]一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统-CN202310651652.0有效
发明人：张博;刘玉伟;孙文俊;赵刚;陈龙飞;李晓营;王艳军;张品祥;刘琴;孟德文 -专利权人：河南百合特种光学研究院有限公司
申请日： 2023-06-05 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统，包括扩束镜组件、微透镜阵列组件和场镜组件，扩束镜组件包括扩束镜和扩束镜安装座，扩束镜固定在扩束镜安装座上，微透镜阵列组件包括不可调微透镜阵列镜座、可调微透镜阵列镜座、第一片微透镜阵列、第二片微透镜阵列和微透镜调节滑座，扩束镜出口端与不可调微透镜阵列镜座固定连接，第一片微透镜阵列安装在不可调微透镜阵列镜座内，第二片微透镜阵列安装在可调微透镜阵列镜座内；第一片微透镜阵列为固定状态，利用第二片微透镜阵列可做X\Y\Z三方向和旋转调整；并对光束进行校正，并通过对场镜镜筒X\Y方向位移及旋转方向的调整，来实现场镜与整形光路的光轴重合，使光束汇聚到同一个区域。
一种高斯转平顶紫外激光整形镜头系统

[发明专利]一种无掩膜光刻用光学镜头-CN202310552341.9有效
发明人：张博;王艳军;张品祥;刘琴 -专利权人：河南百合特种光学研究院有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种无掩膜光刻用光学镜头，包含从物面到曝光面依次设置的第一镜组、第二镜组，第一镜组和第二镜组之间设置有孔径光阑；第一镜组包含5个光焦度依次为正、正、负、正和正的透镜；第二镜组包含4个光焦度依次为负、负、正和正的透镜；所有透镜均采用同一种光学玻璃。在405nm±5nm工作范围内，仅采用石英一种光学透镜材料，在石英基底上制作衍射面实现消色差，简化了光学系统；石英材料属于环保材料，本身耐405nm±5nm紫外光照射，长期使用不会有发黄现象，光学透过率不降低；石英材料理化性能、热学性能和机械性能优异，加工工艺性好，表面光洁度能做到Ⅱ级，镀膜后的膜层牢固度更佳。
一种无掩膜光刻用光镜头

[发明专利]一种对位曝光装置-CN201910294646.8有效
发明人：詹果;薛成志;张品祥;巢宏斌;黄吉林;高云峰 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明涉及印刷电路板领域，提供了一种对位曝光装置，包括:固定座、对位组件以及动力组件；对位组件包括第一对位组件和第二对位组件,第一对位组件包括第一压板和第一紫外标记，第二对位组件包括第二压板和第二紫外标记，第一压板和第二压板相对设置在固定座上，第一紫外标记固定在第一压板的远离第二压板的一侧上，第二紫外标记固定在第二压板的远离第一压板的一侧上；动力组件固定在固定座上，动力组件驱动第一压板和/或第二压板使得两者相对靠近或相向远离。运用本发明的技术方案，减少了现有技术中在进行对位时需要机械钻通孔的操作工序，提高了对位精度和工作效率。
一种对位曝光装置

[发明专利]一种曝光机-CN202110124148.6在审
发明人：王飞;巢宏斌;黄吉林;张品祥;曾庆权;肖华 -专利权人：深圳市大族数控科技股份有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种曝光机，包括：光路系统，光路系统包括多个用于对待曝光基板进行曝光的曝光镜头；分隔腔，光路系统位于分隔腔中，分隔腔设置有进风口和出风口；空调机，与分隔腔的进风口通过通风管道连接，空调机中安装有温度闭环控制系统，温度闭环控制系统用于驱动所述空调机吹出换热气体以控制所述分隔腔内的温度。本发明提高了曝光机内部光路系统温度的稳定性，减少了图像拼接偏差，提升了图像曝光精度。
一种曝光

[发明专利]一种基于位置传感器的光刻机掩模预对准系统-CN201310332380.4有效
发明人： 张品祥;储兆祥 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2013-08-02 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开一种光刻机掩模预对准系统，包括照明部件，具有预对准标记的掩模板，其特征在于相应于所述预对准标记的位置传感装置，所述照明部件照射所述预对准标记，所述位置传感装置采集所述预对准标记被照明部件照亮后产生的光斑，并输出代表所述预对准标记位置信息的电流值，根据该电流值运算出所述掩模板的水平位置与旋转角度信息。
一种基于位置传感器光刻机掩模预对准系统

[发明专利]超短焦投影物镜-CN201310139790.7无效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2013-04-20 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种超短焦投影物镜，包括具有正光焦度的透镜组、具有负光焦度的反射镜以及显示芯片，所述透镜组包括第一子镜组、光阑和第二子镜组，其中，由显示芯片所反射的光经过透镜组被反射镜反射到指定屏幕上，从而形成清晰画面图像。本发明的超短焦投影物镜所采用的镜片数量较少，结构简单，具有超低投射比、超低畸变、体积适中、公差适中、工艺性良好等一系列优点。
超短投影物镜

[发明专利]广角转接镜头及其应用的投影系统-CN201210472394.1无效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2014-06-04 - 主分类号： G02B13/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种广角转接镜头，应用于投影系统，可与主投影镜头配合使用，所述广角转接镜头包括具有负光焦度的第一透镜、具有负光焦度的第二透镜、具有正光焦度的第三透镜以及具有正光焦度的第四透镜，所述第一、第二、第三及第四透镜分别从投影屏至显示芯片顺序排列，并且均为单透镜，中间通过空气间隔隔开，一共有八个光学表面，三个空气间隔。本发明还涉及一种具有所述广角转接镜头的投影系统。本发明的广角转接镜头具有尺寸小、成本低、畸变小及像方远心等优点。
广角转接镜头及其应用投影系统

[发明专利]微型投影镜头-CN201210468534.8无效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2014-05-28 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种微型投影镜头，包括具有负光焦度的第一透镜组、具有正光焦度的第二透镜组、位于第一透镜组和第二透镜组之间的光阑以及显示芯片，所述第一透镜组位于光阑前面，包括第一透镜、第二透镜及第三透镜，第一透镜具有正光焦度，靠近一投影屏，所述第二、第三透镜为双胶合透镜，具有负光焦度，靠近光阑；所述第二透镜组位于光阑后面，包括双胶合的具有正光焦度第四及第五透镜、具有正光焦度第六透镜及具有正光焦度的第七透镜。本发明的微型投影镜头具有尺寸小、结构紧凑、畸变小、像方远心以及大视场角等一系列优点。
微型投影镜头

[实用新型]超短焦投影物镜-CN201320204260.1有效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2013-04-20 - 公布日： 2014-02-12 - 主分类号： G02B13/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种超短焦投影物镜，包括具有正光焦度的透镜组、具有负光焦度的反射镜以及显示芯片，所述透镜组包括第一子镜组、光阑和第二子镜组，其中，由显示芯片所反射的光经过透镜组被反射镜反射到指定屏幕上，从而形成清晰画面图像。本实用新型的超短焦投影物镜所采用的镜片数量较少，结构简单，具有超低投射比、超低畸变、体积适中、公差适中、工艺性良好等一系列优点。
超短投影物镜

[发明专利]光刻投影物镜-CN201110353697.7有效
发明人： 张品祥;黄玲 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2011-11-10 - 公布日： 2013-05-15 - 主分类号： G02B13/06 文献下载
摘要：一种光刻投影物镜，所述光刻投影物镜包含：第一平面反射镜，具有正光焦度的第一球面反射镜，具有负光焦度的镜片组，具有负光焦度的第二球面反射镜，第二平面反射镜；光线沿传播方向，依次经过第一平面反射镜，第一球面反射镜，镜片组，第二球面反射镜，镜片组，第一球面反射镜，第二平面反射镜。本发明的投影物镜具有较大的曝光视场，非扫描方向500mm；使用多波长曝光，增加了曝光照度，提高光刻机的产率；在光瞳面附近使用若干片小口径镜片控制像差，使得在保证物镜的制造、成本、重量等前提下，获得优异的曝光像质。
光刻投影物镜

[实用新型]广角转接镜头及其应用的投影系统-CN201220617897.9有效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2012-11-20 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G02B13/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种广角转接镜头及其应用的投影系统，可与主投影镜头配合使用，所述广角转接镜头包括具有负光焦度的第一透镜、具有负光焦度的第二透镜、具有正光焦度的第三透镜以及具有正光焦度的第四透镜，所述第一、第二、第三及第四透镜分别从投影屏至显示芯片顺序排列，并且均为单透镜，中间通过空气间隔隔开，一共有八个光学表面，三个空气间隔。本实用新型还涉及一种具有所述广角转接镜头的投影系统。本实用新型的广角转接镜头具有尺寸小、成本低、畸变小及像方远心等优点。
广角转接镜头及其应用投影系统

[实用新型]微型投影镜头-CN201220614153.1有效
发明人： 张品祥;程琳 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2012-11-19 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：一种微型投影镜头，包括具有负光焦度的第一透镜组、具有正光焦度的第二透镜组、位于第一透镜组和第二透镜组之间的光阑以及显示芯片，所述第一透镜组位于光阑前面，包括第一透镜、第二透镜及第三透镜，第一透镜具有正光焦度，靠近一投影屏，所述第二、第三透镜为双胶合透镜，具有负光焦度，靠近光阑；所述第二透镜组位于光阑后面，包括双胶合的具有正光焦度第四及第五透镜、具有正光焦度第六透镜及具有正光焦度的第七透镜。本实用新型的微型投影镜头具有尺寸小、结构紧凑、畸变小、像方远心以及大视场角等一系列优点。
微型投影镜头

[发明专利]一种高投射比投影物镜-CN201210095425.6无效
发明人： 张品祥;刘治新;侯永乐 -专利权人：上海三鑫科技发展有限公司
申请日： 2012-04-02 - 公布日： 2012-08-01 - 主分类号： G02B13/18 文献下载
摘要：本发明涉及一种高投射比投影物镜，该高投射比投影物镜具有正光焦度的第一镜组、具有正光焦度的第二镜组、光阑及显示芯片，第一镜组包括第一、第二子镜组，第一子镜组具有负光焦度，靠近投影屏幕面，第二子镜组具有正光焦度，靠近光阑面，第一、第二子镜组组成反摄远式结构，第二镜组包括第三、第四子镜组，第三子镜组具有负光焦度，靠近光阑面，第四子镜组具有正光焦度，靠近显示芯片。根据本发明的高投射比物镜具有高投射比优点同时，也具有高相对照度、超低畸变、结构紧凑简单、公差适中、工艺性良好、像方远心等一系列优点。
一种投射投影物镜

[发明专利]光刻机掩模预对准装置及方法-CN201010572160.5有效
发明人： 张品祥;郭勇;朱立荣 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-12-03 - 公布日： 2012-06-06 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光刻机的掩模预对准装置，包括：调制信号电源，照明模块，掩模，掩模预对准标记、四象限传感器和信号处理模块组成，所述调制信号电源提供两种不同频率的电流或电压使照明模块出射两种不同频率的光斑，所述两种不同频率的光斑被所述四象限传感器同时接收。本发明简化了现有技术中复杂的预对准装置结构，节省了光刻机内部布局空间，实现了光刻机的整体性能的提升，降低了生产制造和集成成本。
光刻机掩模预对准装置方法

[发明专利]一种用于大面积光刻的投影物镜-CN201010255087.9有效
发明人： 张品祥;黄玲 -专利权人：上海微电子装备有限公司
申请日： 2010-08-17 - 公布日： 2012-03-14 - 主分类号： G02B13/00 文献下载
摘要：本发明提供一种用于大面积光刻的投影物镜，包括沿光轴依次设置的一具有正光焦度的第一透镜组，一具有负光焦度的第二透镜组，一孔径光阑，以及一与第二透镜组相对孔径光阑对称设置的第三透镜组，一与第一透镜组相对孔径光阑对称设置的第四透镜组；第一、第二透镜组的光焦度满足以下关系式：G1∶G2＝-0.92～-1.08。本发明提供的投影物镜选用0.1的数值孔径使得镜头的总镜片数最少化，并使得大视场的实现不用依赖过多的镜片甚至使用非球面，从而满足大视场曝光分辨率需求。同时本发明使用3nm半高全宽的365nm带宽设计，避免了使用i，g，h三线设计带来的镜头结构复杂性及对材料的苛刻选择性，使得制造本镜头具有广泛的材料可选择。
一种用于大面积光刻投影物镜

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