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- [实用新型]气相沉积装置-CN202321364332.9有效
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郑锦;姚铖
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南京原磊纳米材料有限公司
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2023-05-31
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2023-10-13
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C23C16/455
- 本申请实施例提供了一种气相沉积装置，包括腔壁和进气口组件。其中，腔壁围合出用于对晶圆表面进行气相沉积的沉积空间；进气口组件包括至少一个管路；管路包括第一管路和第二管路。反应气体进入第一管路后分别流向位于第一管路两端的第一出气口，然后流入第二管路，并经第二管路流至沉积空间中。由于两个第二管路与沉积空间相连通的出口位于同一平面且分别位于沉积空间与第一管路两端对应的两侧，从而能够使反应气体在沉积空间中充分流动，所以自两个第二管路的端口流出的气体能够均匀扩散到沉积空间中的每个位置，解决了因沉积空间中反应气体分布不均导致的气相沉积效果差的问题。
- 沉积装置
- [实用新型]晶圆转运装置及晶圆加工设备-CN202321364645.4有效
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郑锦;姚铖
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南京原磊纳米材料有限公司
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2023-05-31
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2023-10-13
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H01L21/677
- 本申请实施例提供了一种晶圆转运装置及晶圆加工设备，包括承载机构、冷却机构和驱动机构，其中，承载机构和冷却机构均设置在晶圆转运装置的转运腔室中；冷却机构包括冷却件，且冷却件朝向承载机构的一侧设有用于支撑晶圆的凸起。另外，驱动机构与承载机构相连接，并驱动承载机构向靠近或远离冷却机构的方向移动，以使放置于承载机构上的晶圆靠近或者远离冷却机构中的冷却件，从而利用冷却件对晶圆进行冷却降温。在晶圆转运装置中设置与晶圆接触以对其冷却的冷却机构，既无需将晶圆转运至冷却站中，提高了冷却效率，又避免了流动的冷却气体对晶圆冷却速度慢且易导致晶圆表面产生缺陷的问题。
- 转运装置加工设备
- [实用新型]一种市政道路绿化带-CN202320766559.X有效
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夏骏翔;姚铖;周芳芳
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浙江知水仁山环境建设有限公司
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2023-04-10
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2023-08-01
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A01G27/00
- 本实用新型提供一种市政道路绿化带，种植箱和植被层，种植箱内水平固定连接有支撑板，支撑板将种植箱的内部空间分隔为种植区和存水区，支撑板上均匀开设有若干灌溉孔，存水区内活动设置有承接板，承接板的内部开设有灌溉腔，承接板的顶部连接有多个灌溉嘴，灌溉嘴能够插入相应的灌溉孔内，存水区内设置有用于控制承接板竖直运动的驱动件，存水区内设置有抽水件，抽水件用于将存水区内的清水抽取至灌溉腔，并使清水通过多个灌溉嘴排出。通过将多个灌溉嘴分别插入相应的灌溉孔，当多个灌溉嘴同时排水时，可以对整个植被层进行均匀灌溉，无需工作人员定时调整水管的位置，既能方便对植被层的均匀灌溉，又能降低工作人员的负担。
- 一种市政道路绿化带
- [实用新型]一种外延用灯头插座-CN202320387121.0有效
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郑锦;姚铖;陶佳月
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南京原磊纳米材料有限公司
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2023-03-06
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2023-07-21
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H01R33/05
- 本实用新型公开了一种外延用灯头插座，属于半导体设备技术领域。所述外延用灯头插座包括接线柱本体，所述接线柱本体包括第一卡接柱，所述第一卡接柱的底部固设有外螺纹柱，所述外螺纹柱上安装有锁紧机构，所述锁紧机构用于锁紧绕设于所述外螺纹柱上的引线，所述外螺纹柱的底部固设有第二卡接柱，所述第二卡接柱的底部固设有定位柱，所述定位柱的底部固设有爪合机构，所述爪合机构用于插拔外设灯脚。本实用新型提供一种外延用灯头插座，解决了现有技术中安全性较差、拆装效率较低以及极大影响引线使用寿命的技术问题。
- 一种外延灯头插座
- [实用新型]一种外延用反射镜水冷装置-CN202320493964.9有效
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郑锦;姚铖;陶佳月
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南京原磊纳米材料有限公司
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2023-03-15
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2023-07-14
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F28D21/00
- 本实用新型公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部，冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件，第二安装结构组件、通风组件和若干第一安装部之间形成水路通道，进出水调节机构固连于盖板的顶部，进出水调节机构与水路通道连通，水槽板的底部固连有反射镜体。本实用新型提供的外延用反射镜水冷装置，制作工艺简单，能够有效协调各安装加热零部件与水路通道之间的关系以达到最佳的冷却效果。
- 一种外延反射水冷装置
- [发明专利]一种外延用反射镜水冷装置-CN202310247146.5在审
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郑锦;姚铖;陶佳月
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南京原磊纳米材料有限公司
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2023-03-15
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2023-05-16
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F28D21/00
- 本发明公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部，冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件，第二安装结构组件、通风组件和若干第一安装部之间形成水路通道，进出水调节机构固连于盖板的顶部，进出水调节机构与水路通道连通，水槽板的底部固连有反射镜体。本发明提供的外延用反射镜水冷装置，制作工艺简单，能够有效协调各安装加热零部件与水路通道之间的关系以达到最佳的冷却效果。
- 一种外延反射水冷装置
- [实用新型]一种乳化装置-CN202222027143.4有效
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姚铖
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德清若辰生物技术有限公司
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2022-08-02
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2022-12-06
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B01F29/64
- 本申请提供了一种乳化装置，包括底座，底座顶端的两侧均固定设有固定板，两个固定板之间设置有罐体，两个固定板之间设置有翻转机构，翻转机构用于罐体的纵向方向的旋转，罐体上设置有乳化机构，乳化机构用于乳化，翻转机构上设置有驱动机构。本申请通过设置的翻转机构，在翻转机构的作用下，可以实现了罐体纵向方向的旋转，进而实现原料在罐体内从顶部到底部的循环，同时随着翻转机构的运作，可以使得驱动机构运作，随着驱动机构的运作，可以驱动乳化机构运作，使得乳化机构的两个乳化头在横向方向上转动，且转动的方向相反，配合罐体的翻转，不仅可以彻底乳化罐体内的原料，保证了产品的品质，而且实现了一机多用，提高了实用性。
- 一种乳化装置
- [发明专利]圆弧形卤素加热灯-CN202210596193.6在审
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郑锦;姚铖;陶佳月
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南京原磊纳米材料有限公司
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2022-05-30
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2022-11-22
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H05B3/00
- 本发明公开了一种圆弧形卤素加热灯，所述加热灯包括有石英玻璃罩、加热钨丝和陶瓷灯帽，所述石英玻璃罩设置有圆弧部和柱体部，所述柱体部设置在圆弧部的两端，且所述柱体部垂直于圆弧部；所述加热钨丝用于对加工工件进行加热，同时所述加热钨丝固定在石英玻璃罩的内部；所述石英玻璃罩用于将加热钨丝与空气进行隔绝；所述陶瓷灯帽通过陶瓷泥与石英玻璃罩的端部进行固定连接。本发明通过一体成型的钨丝引线和圆弧形石英玻璃罩的设置，可以更友好的适配圆形半导体晶圆的加热处理，同时由于多个圆弧形卤素加热灯共同作用时，其可以形成紧凑型的圆环形加热区域，从而其可以更好地利用反应空间，进而可以提高整体加热效果。
- 圆弧卤素加热
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