“陶佳月”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果41个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种外延用动密封沉积装置-CN202310550073.7有效
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C30B25/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延用动密封沉积装置，属于半导体设备技术领域。所述外延用动密封装置包括底板，所述底板的上方设置有定位调节机构，所述定位调节机构用于水平方向的定位调节，所述定位调节机构的上方设置有升降旋转机构，所述升降旋转机构的上方设置有工艺腔室，所述工艺腔室内设置有盛放顶出机构，所述升降旋转机构用于使所述盛放顶出机构升降旋转。本发明提供一种外延用动密封沉积装置，解决现有技术中沉积设备沉积均匀性较差以及沉积质量较差的技术问题。
一种外延密封沉积装置

[实用新型]一种外延用灯头插座-CN202320387121.0有效
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01R33/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外延用灯头插座，属于半导体设备技术领域。所述外延用灯头插座包括接线柱本体，所述接线柱本体包括第一卡接柱，所述第一卡接柱的底部固设有外螺纹柱，所述外螺纹柱上安装有锁紧机构，所述锁紧机构用于锁紧绕设于所述外螺纹柱上的引线，所述外螺纹柱的底部固设有第二卡接柱，所述第二卡接柱的底部固设有定位柱，所述定位柱的底部固设有爪合机构，所述爪合机构用于插拔外设灯脚。本实用新型提供一种外延用灯头插座，解决了现有技术中安全性较差、拆装效率较低以及极大影响引线使用寿命的技术问题。
一种外延灯头插座

[实用新型]一种外延用反射镜水冷装置-CN202320493964.9有效
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： F28D21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部，冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件，第二安装结构组件、通风组件和若干第一安装部之间形成水路通道，进出水调节机构固连于盖板的顶部，进出水调节机构与水路通道连通，水槽板的底部固连有反射镜体。本实用新型提供的外延用反射镜水冷装置，制作工艺简单，能够有效协调各安装加热零部件与水路通道之间的关系以达到最佳的冷却效果。
一种外延反射水冷装置

[实用新型]一种外延用半开式加热拆装机构-CN202320387062.7有效
发明人：郑锦;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2023-03-06 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外延用半开式加热拆装机构，属于半导体设备技术领域。外延用半开式加热拆装机构包括两个对称设置的半开壳体以及用于外接的搭合组件，两个半开壳体的侧壁分别向内延伸有半开环形安装板，半开环形安装板上安装有半开反射板，半开反射板上自外向内依次开设有环形凹槽，半开反射板的底部固连有半开冷却板，靠近半开反射板半开面一侧的圆弧形卤素加热灯的一端或两端穿过半开反射板和半开冷却板并通过第一定位拆装组件与半开冷却板可拆卸连接，圆弧形卤素加热灯之间的相邻四端穿过半开反射板和半开冷却板并通过第二定位拆装组件与半开冷却板可拆卸连接。本实用新型解决现有技术中壳体和卤素加热灯拆装效率较低的技术问题。
一种外延半开加热拆装机构

[发明专利]一种外延用反射镜水冷装置-CN202310247146.5在审
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： F28D21/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延用反射镜水冷装置，属于半导体设备技术领域。外延用反射镜水冷装置包括水冷板和进出水调节机构，水冷板包括水槽板和盖板，盖板固连于水槽板顶部，水槽板与盖板之间设置有冷却密封空间，水槽板沿外侧延伸方向向内间隔设置有若干第一安装部，冷却密封空间内设置有第二安装结构组件和通风组件，第二安装结构组件、通风组件和若干第一安装部之间形成水路通道，进出水调节机构固连于盖板的顶部，进出水调节机构与水路通道连通，水槽板的底部固连有反射镜体。本发明提供的外延用反射镜水冷装置，制作工艺简单，能够有效协调各安装加热零部件与水路通道之间的关系以达到最佳的冷却效果。
一种外延反射水冷装置

[发明专利]外延环形红外卤素加热灯组件的设计-CN202210554629.5在审
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： F21V19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延环形红外卤素加热灯组件的设计，所述安装方法包括：获取环形加热灯的总环数；获取每个所述环形加热灯对应的半径尺寸和圆弧形卤素加热灯的数量；将安装好的环形加热灯固定在反射板上。本发明的安装方法在确定了环形加热灯的尺寸和圆弧形卤素加热灯的数量后，即可通过灯夹头和灯夹头安装板进行组装固定，从而极大地简化了工作人员的操作步骤，提高了工作人员的整体工作效率。
外延环形红外卤素加热组件设计

[发明专利]圆弧形卤素加热灯-CN202210596193.6在审
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆弧形卤素加热灯，所述加热灯包括有石英玻璃罩、加热钨丝和陶瓷灯帽，所述石英玻璃罩设置有圆弧部和柱体部，所述柱体部设置在圆弧部的两端，且所述柱体部垂直于圆弧部；所述加热钨丝用于对加工工件进行加热，同时所述加热钨丝固定在石英玻璃罩的内部；所述石英玻璃罩用于将加热钨丝与空气进行隔绝；所述陶瓷灯帽通过陶瓷泥与石英玻璃罩的端部进行固定连接。本发明通过一体成型的钨丝引线和圆弧形石英玻璃罩的设置，可以更友好的适配圆形半导体晶圆的加热处理，同时由于多个圆弧形卤素加热灯共同作用时，其可以形成紧凑型的圆环形加热区域，从而其可以更好地利用反应空间，进而可以提高整体加热效果。
圆弧卤素加热

[发明专利]外延环形红外卤素加热组件及稳态温度场获取方法-CN202210596167.3在审
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延环形红外卤素加热组件，包括有反射板和N个环形加热灯，所述N≥1且N为整数，同时N个所述环形加热灯均固定安装在反射板上。本发明具有较高的灵活性，可以快捷的进行安装组合，从而提高了装置整体安装拆卸的工作效率，同时还能够更为高效的适配外延加热场景，也能够高效的利用能源。
外延环形红外卤素加热组件稳态温度场获取方法

[发明专利]外延用圆弧形红外卤素加热灯定位夹头组件-CN202210791645.6在审
发明人：姚铖;郑锦;陶佳月;张帅;李超 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H05B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种外延用圆弧形红外卤素加热灯定位夹头组件，包括：灯头夹块组件，所述灯头夹块组件内设有固定槽，所述固定槽贯穿灯头夹块组件；灯头定位台阶件，设置在所述固定槽的两侧中部；合页组件，固定在所述灯头夹块组件的一侧；锁紧机构，固定在所述灯头夹块组件的另一侧。本发明的灯头夹块组件可在不将整个加热灯组件安装基板从设备腔室内移除的前提下，独立更换每一组损坏的加热灯组，不仅可以减少设备的停工时间，还可以减少腔体的整体拆卸次数，从而提高了整体工艺制造的效率，具有拆装维护简单，低成本，高安全性的特点。
外延圆弧红外卤素加热定位夹头组件

[发明专利]一种半导体反应腔室加热设备及方法-CN202210689130.5在审
发明人：郑锦;姚铖;陶佳月;张帅 -专利权人：南京原磊纳米材料有限公司
申请日： 2022-06-17 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体反应腔室加热设备及方法，属于半导体设备加热领域。本装置包括，加热腔室，加热腔室一侧设有进气口，加热腔室另一侧设有出气口，加热腔室内设有加热组件；以及，加热组件，加热组件包括上加热灯组以及下加热灯组，上加热灯组和下加热灯组分别设置在加热腔室的两侧；上加热灯组包括若干组环形灯具以及反射板，若干组环形灯具可拆卸连接在反射板上；下加热灯组包括若干组环形灯具以及反射板，若干组环形灯具可拆卸连接在反射板上。本发明在加热腔室上端以及下端设有上加热灯组以及下加热灯组，可以使得被加工工件上下面受热均匀，有效增加成品率，且结构设计合理，原理简单，便于推广使用。
一种半导体反应加热设备方法

[发明专利]一种防倾倒的装料机械手-CN201810790657.0有效
发明人：冯沉冲;左勤平;陶佳月 -专利权人：芜湖固高自动化技术有限公司
申请日： 2018-07-18 - 公布日： 2021-07-02 - 主分类号： B65G67/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种防倾倒的装料机械手，安装架位于主架一侧且安装在主架上，安装架下端设有向远离主架方向延伸的托料臂，挡料板竖直设置在托料臂上方且安装在安装架上，防倾倒机构上设有垂直于挡料板方向设置的转轴，防倾倒机构通过转轴可转动安装在安装架上，第一驱动机构与防倾倒机构连接用于驱动防倾倒机构转动，防倾倒机构上设有挡臂，挡臂平行于挡料板设置。通过上述优化设计的防倾倒的装料机械手，通过托料臂将堆垛好的货物整体托起，通过防倾倒机构旋转，挡臂向下旋转，将货物挡在挡臂和挡料板之间，从而防止移动过程中货物倾倒。
一种倾倒装料机械手

[发明专利]一种喷洒釉粉装置-CN201810798220.1有效
发明人：冯沉冲;左勤平;陶佳月 -专利权人：芜湖固高自动化技术有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B28B11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种喷洒釉粉装置，包括壳体、支撑轴、夹持组件、动力机构、支撑管、多个喷头、供料机构，支撑轴位于壳体内并与壳体转动连接；夹持组件位于壳体内并安装在支撑轴上；动力机构用于带动支撑轴转动；支撑管位于壳体内并位于夹持组件的上方，支撑管与壳体连接，支撑管与供料机构连通；多个喷头均位于壳体内并均安装在支撑管上，多个喷头依次分布。
一种喷洒装置

[发明专利]一种袋装物料自动排料系统-CN201810798247.0有效
发明人：冯沉冲;左勤平;陶佳月 -专利权人：芜湖固高自动化技术有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B65G47/31 文献下载
摘要：本发明公开了一种袋装物料自动排料系统，包括：送线依次对接的第一输送线、第二输送线和第三输送线，其中：第二输送线的输送速度大于第一输送线的输送速度，第二输送线的一侧设有转向机构，第三输送线的输送速度小于第二输送线的输送速度，第三输送线远离第二输送线的一端设有排料台，排料台上设有推料机构。本发明无需借助外界装置既可以实现对所输送的物料之间间距控制，并利用转向机构与推料机构相互，使得排料过程中可以根据需要自由选择横向排列、竖向排列或横向和竖向交替排列的排列方式，以适应不同车厢的放置需求。
一种袋装物料自动系统

[发明专利]一种自动规整的高平稳性袋装物料夹具-CN201810798283.7有效
发明人：冯沉冲;左勤平;陶佳月 -专利权人：芜湖固高自动化技术有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B65G47/52 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动规整的高平稳性袋装物料夹具，包括：支撑架，固定安装在支撑架上的夹料部件，以及第一动力机构、第二动力机构、第三动力机构、第四动力机构和第五动力机构，其中：夹料部件的内部具有料腔，料腔的一侧设有进料口，料腔的底部设有卸料口，卸料口的下方设有托板；料腔内部设有相对布置的第一推板、第二推板，以及相对布置在第一侧板和第二侧板两端的第三推板、第四推板；第一动力机构、第二动力机构、第三动力机构、以及第四动力机构分别与第一侧板、第二侧板、第三侧板、以及第四侧板连接以用于驱动其移动；第五驱动机构用于驱动托板移动。本发明不仅可以确保物料在转移过程中不会意外脱落，还可以对物料的位置进行调整。
一种自动规整平稳袋装物料夹具

[发明专利]一种木托盘生产加工设备-CN201810798234.3有效
发明人：冯沉冲;左勤平;陶佳月 -专利权人：芜湖固高自动化技术有限公司
申请日： 2018-07-19 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： B27M3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种木托盘生产加工设备，包括加工台、钉枪、升降机构、支撑台、第一执行部、第二执行部，加工台上设有两个第一限位槽、两个第二限位槽，两个第一限位槽、两个第二限位槽间隔布置，第一限位槽与两个第二限位槽均相交，两个第一限位槽的两端、两个第二限位槽的两端均分别贯穿加工台的侧面；钉枪位于第一限位槽与第二限位槽的相交处的上方；升降机构用于带动钉枪升降；支撑台上设有第一容纳槽、第二容纳槽，第一容纳槽、第二容纳槽均贯穿支撑台靠近加工台的侧面；第一容纳槽与第一限位槽同一直线布置，第一容纳槽用于放置木板；第二容纳槽与第二限位槽同一直线布置，第二容纳槽用于放置木板。
一种托盘生产加工设备

1
2
3
下一页»
尾页
共 41 条