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- [发明专利]激光装置管理系统-CN201580082992.X有效
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峰岸裕司;五十岚豊;太田毅
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极光先进雷射株式会社
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2015-10-19
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2020-06-26
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H01S3/00
- 本公开提供一种激光装置管理系统,其可以具备:服务器,以存储第一信息、第二信息和第三信息的方式构成,第一信息以通过第一访问权限可以进行访问的方式受到访问限制,第二信息以通过第二访问权限可以进行访问的方式受到访问限制,第三信息以通过第一访问权限和第二访问权限的双方可以进行访问的方式受到访问限制;以及激光装置,包括激光输出部和控制部,激光输出部向进行晶片曝光的曝光装置输出脉冲激光束,控制部进行将第一信息、第二信息和第三信息保存在服务器中的控制。第二信息包括互相建立对应的曝光装置的晶片曝光关联信息与激光装置的激光控制关联信息。
- 激光装置管理系统
- [发明专利]窄带化激光装置-CN201580053741.9有效
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守屋正人;太田毅;石田启介;草间高史
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极光先进雷射株式会社
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2015-11-20
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2019-08-16
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H01S3/13
- 窄带化激光装置可以具有:激光谐振器,其包含使光谱宽度窄带化的光学元件;一对放电电极,它们隔着激光谐振器的脉冲激光的光路配置;电源,其对一对放电电极施加脉冲状的电压;第1波长计测器,其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测,输出第1计测结果;第2波长计测器,其对从激光谐振器输出的脉冲激光的波长进行计测,输出第2计测结果;以及控制部,其根据第2计测结果对第1计测结果进行校正。控制部根据以第1方式控制电源时的第2计测结果与以第2方式控制电源时的第2计测结果之差,对第1计测结果进行校正,其中,该第1方式是电源以第1重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压,该第2方式是电源以比第1重复频率高的第2重复频率对一对放电电极施加脉冲状的电压。
- 窄带激光装置
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