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- [发明专利]溅射靶及其制造方法-CN201380005832.6有效
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奈良淳史;佐藤和幸
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吉坤日矿日石金属株式会社
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2013-01-21
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2016-11-09
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C23C14/34
- 一种溅射靶,其特征在于,在Al的含量以Al2O3换算为0.2~3.0摩尔%、Mg和/或Si的含量以MgO和/或SiO2换算为1~27摩尔%、其余部分由Zn的以ZnO换算的含量构成的基本组成的基础上,还含有以氧化物重量换算为0.1~20重量%的形成熔点为1000℃以下的低熔点氧化物的金属。本发明提供不含硫、体积电阻低、能够进行DC溅射且折射率低的光学薄膜形成用靶及其制造方法。靶自身为高密度,因此异常放电少,能够进行稳定的溅射。而且,溅射成膜得到的薄膜的透射率高且由非硫化物系构成,因此,对于形成相邻的反射层、记录层不易产生劣化的光信息记录介质用薄膜而言有用。通过提高光信息记录介质的特性、降低设备成本、提高成膜速度而大幅改善产量。
- 溅射及其制造方法
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