专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果16个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]溅射靶及其制造方法-CN201380005832.6有效
  • 奈良淳史;佐藤和幸 - 吉坤日矿日石金属株式会社
  • 2013-01-21 - 2016-11-09 - C23C14/34
  • 一种溅射靶,其特征在于,在Al的含量以Al2O3换算为0.2~3.0摩尔%、Mg和/或Si的含量以MgO和/或SiO2换算为1~27摩尔%、其余部分由Zn的以ZnO换算的含量构成的基本组成的基础上,还含有以氧化物重量换算为0.1~20重量%的形成熔点为1000℃以下的低熔点氧化物的金属。本发明提供不含硫、体积电阻低、能够进行DC溅射且折射率低的光学薄膜形成用靶及其制造方法。靶自身为高密度,因此异常放电少,能够进行稳定的溅射。而且,溅射成膜得到的薄膜的透射率高且由非硫化物系构成,因此,对于形成相邻的反射层、记录层不易产生劣化的光信息记录介质用薄膜而言有用。通过提高光信息记录介质的特性、降低设备成本、提高成膜速度而大幅改善产量。
  • 溅射及其制造方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top