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[发明专利]平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法-CN202110085155.X有效
发明人：唐锋;卢云君;王向朝;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置与测量方法，测量装置包括：平面干涉仪，平面干涉仪支架，安装平台，XY二维运动拼接位移台，俯仰偏摆角二维调节台，偏摆角测量系统，俯仰角测量系统，被测平面光学元件；本发明在平面面形子孔径拼接干涉测量装置中加入了偏摆角测量系统和俯仰角测量系统，能够从原理上消除拼接累积误差，即拼接测量误差与拼接口径无关，不会随着拼接口径的增大而增大。
平面面形子孔径拼接干涉测量装置测量方法

[发明专利]一种电子加速器的能量测量方法-CN202110184543.3有效
发明人：戚文元;郭福东;李鹏;孔秋莲;唐锋;王海宏;冯鹏;岳玲;王向朝;郑琦;陈志军;颜伟强;陈建忠 -专利权人：上海市农业科学院;中国科学院上海光学精密机械研究所;上海束能辐照技术有限公司
申请日： 2021-02-10 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：一种电子加速器能量测量方法，将所述的辐射变色计放置在电子加速器束流输出口，且所述的辐射变色计的长度方向沿束流方向；设置所述的电子加速器输出能量值，开启束流,在束流输出时间t后关闭束流；利用所述的变色长度测量单元测量所述的辐射变色计经加速器束流辐照后发生变色的变色区域长度L；计算束流能量E元。本发明可以在极短的时间内对辐射变色计能量进行测量，无需繁杂的计算过程，提高了电子加速器能量的测量精度，节省了测量时间，能够适用于需要方便携带且实现现场实时测量的工况。
一种电子加速器能量测量方法

[发明专利]大数值孔径物镜的波像差拼接测量装置及测量方法-CN202110180217.5有效
发明人：卢云君;唐锋;王向朝;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种大数值孔径的物镜波像差测量装置及测量方法，测量装置包含波面测量模块、标准球面反射镜、可提供旋转和倾斜调整的旋转机构。待测物镜置于波面测量模块和标准球面反射镜中间，其光轴与波面测量模块光轴重合。将待测物镜全数值孔径范围内的波前划分为一系列子孔径波前，由旋转机构控制标准球面反射镜实现各子孔径的定位，由波面测量模块对子孔径数据进行测量，通过对子孔径数据进行拼接计算，最终得到待测物镜在全数值孔径范围内的波像差信息。同时，通过标定波面测量模块的系统误差，提高了拼接测量精度。本发明具有测量通用性好、测量装置简单、可测的待测物镜数值孔径可扩展的特点，尤其适用于数值孔径N.A为0.9及以上的物镜波像差测量。
数值孔径物镜波像差拼接测量装置测量方法

[发明专利]一种双侧斐索干涉仪检测装置-CN202110383929.7有效
发明人：魏相宇;唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-04-09 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G01B9/02015 文献下载
摘要：一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括光源模块，第一干涉仪主机，第二干涉仪主机，第一标准镜，第二标准镜，被测非透明平面；所述的第一干涉仪主机、第二干涉仪主机均为斐索干涉仪。本发明将点光源位于准直镜的焦面但不在焦点上，从而使经准直镜透射的出射光与干涉仪光轴具有夹角，通过与光阑配合，使对侧干涉仪的出射光进入到本侧干涉仪后，汇聚在光阑的遮光区，不影响本侧干涉仪干涉图的接收；或者使用光开关，使第一干涉仪主机、第二干涉仪主机单独工作。本发明有效的提高了干涉图的质量，具有装置结构简单，操作方便，测量精度高的优点。
一种双侧斐索干涉仪检测装置

[发明专利]基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置-CN202110529251.9在审
发明人：魏相宇;唐锋;王向朝;郭福东;冯鹏;陈梦来 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-05-14 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：基于双侧干涉仪的形貌与厚度检测装置，通过在一侧干涉仪光路中加入相干性抑制单元，使得对侧干涉仪的输出光与本侧干涉仪的测量光、参考光不相干，不能发生干涉；或对侧干涉仪输出光与本侧干涉仪测量光、参考光等效不发生干涉，仅产生背景直流量，不影响干涉相位的提取。本发明不改变双侧干涉仪系统的光路结构，有效利用了光学系统的数值孔径，简化了系统工作流程，具有测量精度与效率高，分光方式灵活等优点。
基于干涉仪形貌厚度检测装置

[发明专利]双侧多重平面倾斜波面干涉仪及其检测方法-CN202010054305.6有效
发明人：唐锋;王向朝;郭福东;卢云君 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2021-07-27 - 主分类号： G01J9/02 文献下载
摘要：一种双侧多重平面倾斜波面干涉仪，系统包括光源模块、第一干涉仪主机、第二干涉仪主机、双面标准平板、双面标准平板调整架、被测非透明平板元件、单点厚度测量传感器、控制处理单元；所述的第一干涉仪主机和第二干涉仪主机均为多重平面倾斜波面干涉仪，通过点源阵列发生器出射多个方向的平行测量光进行被测非透明平板元件的双侧形貌及厚度测量，本发明具有测量动态范围大、测量精度与效率高、相移方式灵活，系统误差可原位标定的特点。
多重平面倾斜干涉仪及其检测方法

[发明专利]透射波前检测干涉仪-CN201810804999.3有效
发明人：唐锋;王向朝;徐静浩;卢云君;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种透射波前检测干涉仪，包括：光源单元、传输光纤、准直单元、第一转折镜、被测介质、第二转折镜、汇聚镜、波前检测单元和控制单元；该干涉仪采用光纤进行光路布局，具有结构简单，易于装调、抗干扰性强、信号强度可调等优点，并且，系统进行双波长测量扩展时，采用准直单元双色分光镜、干涉仪单元双色分光镜，能够方便、低成本的建立双波长透射波前检测系统。
透射检测干涉仪

[发明专利]锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法-CN201711099311.8有效
发明人：唐锋;卢云君;王向朝;严焱;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台，和待测光学元件；所述的波面测量干涉仪输出准直光束，待测光学元件是锥镜或柱面镜，待测光学元件安装在精密旋转台上，其旋转对称轴与精密旋转台的旋转轴对齐；波面测量干涉仪出射光与待测光学元件的一条母线垂直，从而测得该母线的面形信息，通过精密旋转台扫描完成待测光学元件全表面测量。具有高精度、低成本、高通用性的特点。
柱面镜面形测量装置测量方法

[发明专利]偏振同步相移干涉仪-CN201710312393.3有效
发明人：唐锋;王向朝;冯鹏;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2019-05-17 - 主分类号： G01B9/02 文献下载
摘要：一种偏振同步相移干涉仪，包括偏振干涉仪和同步相移模块；同步相移模块包括非偏振分束器，第一检偏器阵列，第二检偏器阵列或检偏器，第一光电探测器阵列和第二光电探测器阵列。本发明采用2个光电探测器阵列实现3个以上相移量干涉图的同步探测，具有光电探测器阵列坐标关系标定难度低，光路简单，检偏器阵列复杂性降低，检测空间分辨率高的优点。
光电探测器阵列相移检偏器阵列干涉仪偏振非偏振分束器复杂性降低空间分辨率偏振干涉仪同步探测坐标关系干涉图检偏器相移量标定光路检测

[发明专利]电机及其驱动器的选型比较测试及运动参数确定方法-CN201710007848.0有效
发明人： 郭福东;唐锋;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-01-05 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01R31/34 文献下载
摘要：一种电机及其驱动器的选型比较测试及运动参数确定方法，使用的运动控制装置包括运动控制器、上位机、数据采集卡、加速度传感器、负载、运动执行机构。本发明通过选取在带有负载情况下，运动控制装置运行最平稳，台面振动小，运行声音小，无噪音的运动参数作为运动控制器及电机驱动器的运动参数，并通过比较振动加速度有效值之和，选取振动加速度有效值之和为最小的值作为电机与电机驱动器组合作为最佳组合。本发明的优点是在选定的运动控制器与电机驱动器的运动参数条件下，采用振动加速度有效值作为判断电机运动性能的参数标准，寻找到最佳的电机与电机驱动器组合。
电机及其驱动器选型比较测试运动参数确定方法

[发明专利]平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法-CN201710143097.5有效
发明人：唐锋;卢云君;郭福东;王向朝;张国先 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2019-04-19 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法，装置包括干涉仪、干涉仪拼接位移台、干涉仪倾斜调整台、被测件拼接位移台、被测件倾斜调整台、被测件，支撑平台及控制系统。本发明具有子孔径定位精度高、测量精度高和全自动测量的优点。
平面面形子孔径拼接干涉测量装置测量方法

[发明专利]一种降低激光相干性的装置及方法-CN201810895303.2在审
发明人： 郭福东;唐锋;王向朝;袁春晓;冯鹏;徐静浩 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： G02B27/48 文献下载
摘要：一种降低激光相干性的装置，包括激光器、运动执行机构、第一电机驱动器、第二电机驱动器、运动控制器、上位机、第一透镜、透镜固定座、散射体材料、电机、第二透镜、分光镜、双缝板、相机；上位机分别与所述的运动控制器、相机通信连接；所述的运动控制器的第一输出端与第一电机驱动器的输入端相连。本发明通过运动执行机构沿着激光器输出的准直光束传播方向进行直线运动，调节经过第一透镜形成的光斑宽度，控制光斑被旋转的散射体材料散射的程度大小，不仅降低了激光的相干性，并对部分相干光的相干度进行实时可调，使得部分相干光的相干度满足干涉测量、全息及投影等系统中对部分相干光的需求。
电机驱动器运动控制器相干光透镜运动执行机构激光相干性散射体材料光斑激光器上位机相干度相机透镜固定座传播方向干涉测量实时可调通信连接透镜形成准直光束分光镜输出端输入端相干性散射全息双缝投影电机激光输出

[发明专利]光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法-CN201510237227.2有效
发明人：李杰;唐锋;王向朝;吴飞斌;张国先;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2015-05-12 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法，该装置包括用于产生激光光束的光源，沿光束传播方向依次是照明系统、物面光栅板、能承载物面光栅板并拥有精确定位能力的掩模台、光刻机投影物镜、波像差传感器、能承载波像差传感器并具有XYZ三维扫描能力和精确定位能力的工件台。利用该装置实时原位检测光刻机投影物镜的波像差，提高了波像差检测速度和空间分辨率。
光刻原位快速空间分辨率波像差检测装置方法

[发明专利]一种光功率可调衰减装置-CN201710581881.4在审
发明人： 郭福东;唐锋;王向朝 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-07-17 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： G02B6/26 文献下载
摘要：一种光功率可调衰减装置，其特征在于构成包括上位机、运动控制器、电机驱动器、电机、电机卡座、挡光片、限位开关挡块、限位开关、限位开关固定座、入射光纤、光纤准直接头、光纤准直/耦合固定基座、光纤耦合接头、输出光纤。本发明优点是在改变光功率的衰减值时不用再进行光路的调整，结构设计简单，使用方便，不需要人工调整，调整精度高，制造成本低，使用了限位开关，使得该衰减装置在掉电启动后能够自行标定衰减器衰减值，保证了光功率可调衰减装置能够在真空环境及其他一些热敏感应用场合进行长时间的正常使用。
一种功率可调衰减装置

[发明专利]采用多探测器的光场光强分布测量方法-CN201710142748.9在审
发明人：唐锋;王向朝;郭福东 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2017-03-10 - 公布日： 2017-08-11 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：一种采用多探测器的光场光强分布测量方法，该方法利用的系统包括光电传感单元、精密扫描台、信号处理与控制单元；采用的光电传感单元1包含2个以上的点探测器；精密扫描台带动光电传感单元扫描实现待测光场时，至少有一个参考探测器位于已检测位置，并通其光强检测值对传感探测器的光强检测值进行修正，消除光源光强波动对光强分布检测结果的影响。具有实现容易，结构简单，成本低的优点。
采用探测器光场光强分布测量方法

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