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[实用新型]带通滤波器电路、带通滤波器芯片以及射频前端模组-CN202320425855.3有效
发明人：余聪;盛潮云;赵坤丽;孙博文;王健 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H03H11/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种带通滤波器电路、带通滤波器芯片以及射频前端模组。该带通滤波器电路包括串联电路、第一并联电路、第二并联电路以及第三并联电路，其中，串联电路包括依次串联的第一串联谐振器、第一耦合电容、第二耦合电容以及第二串联谐振器，第一串联谐振器包括并联的第一串联电感和第一串联可重构电容，第二串联谐振器包括并联的第二串联电感和第二串联可重构电容；第一并联电路包括串联的第一并联可重构电容和第一并联谐振器；第二并联电路包括串联的第二并联可重构电容和第二并联谐振器；第三并联电路包括串联的第三并联可重构电容和第三并联谐振器。该电路解决了现有技术中带通滤波器电路无法实现不同终端对带外抑制的不同需求的问题。
带通滤波器电路芯片以及射频前端模组

[实用新型]滤波器-CN202320425871.2有效
发明人：余聪;盛潮云;孙博文;赵坤丽;王健 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H03H7/01 文献下载
摘要：本申请提供了一种滤波器，该滤波器包括第一LC并联电路、第一LC串联电路以及第二LC串联电路，其中，第一LC并联电路用于在高频处产生两个传输零点；第一LC串联电路的第一端与第一LC并联电路的第一端电连接，第一LC串联电路的第二端接地，第一LC串联电路的第一端用于通入射频信号，且第一LC串联电路用于在低频处产生传输零点；第二LC串联电路的第一端与第一LC并联电路的第二端电连接，第二LC串联电路的第二端接地，第二LC串联电路同样用于在低频处产生传输零点。传输零点改善带通滤波器的带外抑制，解决了现有技术中薄膜滤波器的带外抑制效果较差的问题，保证了滤波器的带外抑制效果较好。
滤波器

[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器-CN202111116758.8有效
发明人：孙博文;蔡耀;王健;赵坤丽;赵俊武;周亚萍;高超;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：基底以及设置于基底上的压电堆叠结构，压电堆叠结构包括依次层叠设置的底电极、压电材料层和顶电极，顶电极在基底上的正投影的轮廓包括至少一条阶数大于或等于2的贝塞尔曲线。如此，能够增加横向声波横向传播路径的长度，以此使得横向声波在传播过程中的损耗增大，从而减小横向声波对体声波谐振器带来的横向寄生模态的影响，即提高体声波谐振器对横向寄生模态的抑制效果，进而提高体声波滤波器的性能。
一种声波谐振器滤波器

[发明专利]射频前端模组的构建方法和装置、以及射频前端模组-CN202310239559.9在审
发明人：余聪;盛潮云;赵坤丽;孙博文;王健 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H04B1/40 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种射频前端模组的构建方法和装置、以及射频前端模组，其中，该方法包括：构建包括初始信号处理器和目标射频开关的初始射频前端模组，其中，初始信号处理器在全频段上保持目标阻抗，初始信号处理器用于对射频信号进行信号处理，目标射频开关用于控制初始信号处理器与射频天线之间射频信号的通断；确定初始信号处理器中的待调节器件参数；调节待调节器件参数，得到包括目标信号处理器和目标射频开关的目标射频前端模组。通过本申请，解决了射频前端模组的体积较大的问题，进而达到了减小射频前端模组的体积的效果。
射频前端模组构建方法装置以及

[发明专利]体声波谐振器及其制备方法、滤波器-CN202111116757.3有效
发明人：罗天成;蔡耀;赵坤丽;邹杨;曲远航;刘炎;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种体声波谐振器及其制备方法、滤波器，涉及滤波器技术领域。该体声波谐振器包括具有空腔的衬底、设于衬底上的底电极、设于底电极上的压电层和设于压电层上的顶电极；空腔、底电极、压电层和顶电极在层叠方向上的交叠区域形成有效谐振区域；体声波谐振器还包括位于有效谐振区域之外且贯通压电层并延伸至衬底内的至少一个声波隔离孔，声波隔离孔与空腔连通。该体声波谐振器能够有效改善声波能量自有效谐振区域向非有效谐振区域泄漏，从而提高体声波谐振器的品质因数。
声波谐振器及其制备方法滤波器

[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器-CN202111116978.0有效
发明人： 赵坤丽;高超;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2023-02-17 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，下电极在衬底上的正投影和上电极在衬底上的正投影具有交叠区域，交叠区域的轮廓形状由圆弧线段和至少两条直线段首尾顺次连接形成，相邻两条直线段的连接点至圆弧线段圆心的距离等于圆弧线段所在圆的半径。如此，使得体声波谐振器能够同时具有较高的机电耦合系数和Q值，从而有效提高器件性能。
一种声波谐振器滤波器

[发明专利]一种体声波谐振器和体声波滤波器-CN202111175347.6有效
发明人： 赵坤丽;刘炎;罗天成;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-10-09 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请提供一种体声波谐振器和体声波滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，在衬底上依次层叠设置的下电极、压电层和上电极，上电极在衬底的正投影的轮廓由四条曲线首尾相接而成，相邻两条曲线的连接处设置有弧形过渡，间隔设置的两条曲线不平行。如此，能够有效提高器件的可靠性，同时，还能够有效抑制寄生谐振幅值，提高Q值，从而提高器件性能。
一种声波谐振器滤波器

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN202211073917.5在审
发明人：皮本松;赵坤丽;王健;孙成亮;孙博文 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，该薄膜体声波谐振器包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，其中，压电层上设置有凹槽，底电极层和顶电极层分别通过图案化形成底电极图案和顶电极图案，底电极图案、压电层和顶电极图案在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，凹槽环绕于谐振区域的外缘。该薄膜体声波谐振器及其制备方法能够在加工精度要求较低的情况下，有效提高谐振器的Q值。
一种薄膜声波谐振器及其制备方法

[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器-CN202220304552.1有效
发明人：高超;赵坤丽;蔡耀;詹道栋;龙开祥;林炳辉;孙博文;孙成亮 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-02-15 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：一种薄膜体声波谐振器及滤波器，涉及谐振器技术领域。该薄膜体声波谐振器包括基底以及依次设于基底上的下电极层、压电层和上电极层；其中，基底内具有谐振器的空腔结构，下电极层通过穿设于压电层内的引出金属引出至压电层靠近上电极层的一侧，基底内集成有电子元器件，电子元器件为电容或者电感。该薄膜体声波谐振器不需要在滤波器中预留与电感或电容相连接的电极板，也不会增加滤波器水平方向上的尺寸，可以减小器件体积。
薄膜声波谐振器滤波器

[发明专利]一种谐振器及其制备方法-CN202210066325.4在审
发明人：罗天成;蔡耀;刘炎;孙成亮;孙博文;赵坤丽 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振器及其制备方法，涉及半导体技术领域，本发明的谐振器，包括依次层叠设置的底电极层、压电层、顶电极层、键合层和第一衬底层，键合层上设有第一通孔和依次围绕第一通孔的至少两个第一环形通槽，顶电极层上设有与至少两个第一环形通槽一一对应的第二环形通槽，第一环形通槽和第二环形通槽内填充有固体材料，固体材料的声阻抗低于键合层和顶电极层的声阻抗。本发明提供的谐振器，在器件有效区的周围设有声子晶体结构，能够减少声波能量的横向泄露，具有较高的品质因数。
一种谐振器及其制备方法

[发明专利]一种横向激发体声波谐振器和滤波器-CN202111134229.0在审
发明人：孙成亮;谷曦宇;蔡耀;刘婕妤;国世上;赵坤丽 -专利权人：武汉敏声新技术有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-24 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请提供一种横向激发体声波谐振器和滤波器，涉及滤波器技术领域，包括：衬底，设置于衬底上的压电层，压电层的上表面包括第一区域和第二区域，第一区域和第二区域的分隔线为直线，在第一区域内设置有多个正电极，在第二区域内设置有多个负电极。如此，在正电极和负电极上施加射频信号后，会在正电极和负电极之间产生横向水平电场，从而在压电层上产生水平方向的振动模态。由于正电极和负电极分别位于压电层上表面的两端，因此，产生的横向水平电场会增大，由此，能够增加水平振动模态的能量，从而增大横向激发体声波谐振器的机电耦合系数，提高器件的性能。
一种横向激发声波谐振器滤波器

[发明专利]一种改善滤波器性能的方法及其滤波器-CN201810949567.1有效
发明人： 赵坤丽 -专利权人：武汉衍熙微器件有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： H01P1/20 文献下载
摘要：本发明提供一种改善滤波器性能的方法，所述的滤波器包括裸芯；裸芯上设有裸芯焊盘和若干个彼此相连的谐振器，每个裸芯焊盘分别与最近的谐振器通过引线连接；通过改变至少一根所述的引线的面积，从而调整滤波器带外传输零点频率到达预设范围，其中引线面积越大，滤波器通带外右侧的高频处的带外抑制传输零点的频率值越大，引线面积越小，滤波器通带外右侧的高频处的带外抑制传输零点的频率值越小。
一种改善滤波器性能方法及其

[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制作方法、以及滤波器-CN202010506449.0在审
发明人：万少波;赵坤丽;林瑞钦 -专利权人：武汉衍熙微器件有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种薄膜体声波谐振器及其制作方法、以及滤波器，该薄膜体声波谐振器包括依次层叠设置的衬底、第一电极、压电层和第二电极；衬底、压电层和第一电极之间形成有空腔，第一电极和压电层分别形成空腔相对两侧的第一侧壁和第二侧壁，第一侧壁表面和第二侧壁表面中的其中一个为平面，另一个为曲面，从而能有效改善空腔侧壁附近的裂纹现象，提高现有薄膜体声波谐振器的Q值，改善滤波器的带内插损性能。
薄膜声波谐振器及其制作方法以及滤波器

[发明专利]谐振器及滤波器-CN202010507710.9在审
发明人： 赵坤丽 -专利权人：武汉衍熙微器件有限公司
申请日： 2020-06-05 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种谐振器及滤波器。所述谐振器包括：衬底；形成于所述衬底上的压电堆叠结构，所述压电堆叠结构包括依次设置的底电极、压电层和顶电极；以及，形成于所述衬底与所述压电堆叠结构之间的谐振腔；所述谐振器包括谐振区和非谐振区，所述底电极和所述顶电极中的至少一个包括在所述非谐振区中相对于所述衬底上表面呈斜坡状的第一侧壁，且所述第一侧壁在背离所述谐振区中心方向上的厚度逐渐减小。本发明能够提高器件电学性能和良率。
谐振器滤波器

[实用新型]一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块-CN201920115109.8有效
发明人： 赵坤丽;赵俊武 -专利权人：武汉衍熙微器件有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本实用新型提供一种功率改善的谐振器及其滤波器和射频通讯模块，谐振器包括从上到下依次连接的顶电极、压电层、底电极和衬底，其中底电极与衬底之间设有空气腔，空气腔中设有至少1个分布反射器；分布反射器由导热的高低声阻抗材料交替叠加而成，分布反射器的顶部与底电极连接，分布反射器的底部与衬底连接。本实用新型通过在空气隙型或背腔型FBAR的空气腔或背腔区域增加分布反射器将热量通过热传导的方式释放到衬底中，从而达到快速散热的目的，而且分布反射器具有很好的声反射特性，可以通过改变分布反射器的大小能够降低分布反射器对谐振器性能的影响。
反射器衬底底电极空气腔谐振器滤波器射频通讯模块本实用新型功率改善背腔导热谐振器性能从上到下交替叠加快速散热区域增加依次连接阻抗材料顶电极空气隙热传导声反射压电层释放

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