[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法在审
| 申请号： | 202211073917.5 | 申请日： | 2022-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN115412048A | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 皮本松;赵坤丽;王健;孙成亮;孙博文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王思楠 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，涉及谐振器技术领域，该薄膜体声波谐振器包括衬底以及依次设置于衬底上的底电极层、压电层和顶电极层，其中，压电层上设置有凹槽，底电极层和顶电极层分别通过图案化形成底电极图案和顶电极图案，底电极图案、压电层和顶电极图案在层叠方向上的交叠区域作为谐振区域，凹槽环绕于谐振区域的外缘。该薄膜体声波谐振器及其制备方法能够在加工精度要求较低的情况下，有效提高谐振器的Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉敏声新技术有限公司，未经武汉敏声新技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211073917.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
