[发明专利]一种谐振器及其制备方法在审
申请号: | 202210066325.4 | 申请日: | 2022-01-20 |
公开(公告)号: | CN114421913A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 罗天成;蔡耀;刘炎;孙成亮;孙博文;赵坤丽 | 申请(专利权)人: | 武汉敏声新技术有限公司 |
主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 崔熠 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种谐振器及其制备方法,涉及半导体技术领域,本发明的谐振器,包括依次层叠设置的底电极层、压电层、顶电极层、键合层和第一衬底层,键合层上设有第一通孔和依次围绕第一通孔的至少两个第一环形通槽,顶电极层上设有与至少两个第一环形通槽一一对应的第二环形通槽,第一环形通槽和第二环形通槽内填充有固体材料,固体材料的声阻抗低于键合层和顶电极层的声阻抗。本发明提供的谐振器,在器件有效区的周围设有声子晶体结构,能够减少声波能量的横向泄露,具有较高的品质因数。 | ||
搜索关键词: | 一种 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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