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[发明专利]因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座-CN202111442702.1在审
发明人： 赵仁洁;杨超 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B22F10/366 文献下载
摘要：本发明涉及3D打印技术领域，尤其涉及一种因瓦合金的3D打印方法及光镜安装座。所述因瓦合金的3D打印方法适用于以铁为基体、镍含量范围为30％～40％、粉末粒径范围为15μm～53μm的因瓦合金，所述因瓦合金的3D打印方法包括如下步骤：步骤a、将所需打印的目标产品划分为主体部分和柔性部分；步骤b、分别设置主体部分的打印参数和柔性部分的打印参数，然后进行3D打印；步骤c、对3D打印的产品进行热处理。该方法打印出的因瓦合金热膨胀系数低且力学性能优异，采用上述参数打印的因瓦合金热膨胀系数在0.3×10‑6℃‑1～1.0×10‑6℃‑1(20℃～100℃)，拉伸强度在400MPa以上，弹性模量在150GPa以上，能够满足精密仪器的高精度需求。
合金打印方法安装

[发明专利]一种3D打印光学反射镜-CN202110684749.2有效
发明人： 赵仁洁;徐松;刘国淦 -专利权人：上海现代先进超精密制造中心有限公司
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G02B7/182 文献下载
摘要：本发明涉及一种3D打印光学反射镜，反射镜本体正面为反射区域，反射镜本体背面绕反射镜轴心设固定接环并环形阵列设置主加强筋；所述主加强筋的头端固定至所述固定接环，所述主加强筋沿反射镜本体的径向延伸并将尾端固定至反射镜本体背面；反射镜本体背面铺设填充网状筋。本发明的有益效果是使得反射镜在保证刚度和强度的前提下轻量化显著，最大化3D打印制造的优势。
一种打印光学反射

[发明专利]一种隔热结构及晶圆加热装置-CN202111157150.X在审
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B32B3/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种隔热结构及晶圆加热装置，其属于半导体技术领域，隔热结构包括网格结构以及设置于所述网格结构内部的隔热层，所述网格结构的顶面能够放置物品，所述网格结构沿热源传导方向的投影全部位于所述隔热层所覆盖的范围内，所述网格结构与所述隔热层通过3D打印一体成型。晶圆加热装置包括如上所述的隔热结构。网格结构直接与物品接触，能够降低热传导，隔热层能够起到阻挡空气对流和热辐射导致的传热，因此提升了隔热效果。网格结构能够减小隔热结构的重量，隔热层起到增加强度的作用，网格结构与隔热层配合，减小变形，延长使用寿命。
一种隔热结构加热装置

[发明专利]一种气足-CN202111162039.X在审
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明涉及半导体装备技术领域，尤其涉及一种气足。本发明中气足的气浮机构包括出气主管路、至少两组第一分支管路组以及出气管路，至少两组第一分支管路组与出气主管路相连通，第一分支管路组连接有出气管路，通过所有出气管路并连设置，从出气主管路排出的正压气体经第一分支管路组到各个出气管路流经的路径长度相同，能够保证从出气主管路排出的正压气体分流的均匀性。同时，由于取消掉红宝石的设置，能够保证出气管路的出气口的正压气体的流量较大，保证气浮力较大，还降低了气足的制造难度和成本。综上，通过上述设结构，能实现气足均匀且较大的气浮力，保证气足的可靠性，还降低了气足的制造难度和成本。
一种

[实用新型]一种应用于平衡悬架的瓦特连杆机构-CN202223269154.X有效
发明人：牛军强;张帆;赵仁洁;杨维星 -专利权人：陕汽集团商用车有限公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： B60G21/05 文献下载
摘要：本实用新型公开一种应用于平衡悬架的瓦特连杆机构，包括：瓦特连杆机构总成，瓦特连杆机构总成安装于平衡悬架总成上；其中，瓦特连杆机构总成由左连杆总成、右连杆总成、摇臂本体、摇臂支架以及连杆支架总成构成；其中，左连杆总成以及右连杆总成均通过锥销球头、调节卡子、连接杆、开口销、安装螺栓以及安装螺母构成，左连杆总成的一端连接摇臂本体轴下端。较无此瓦特连杆机构的平衡悬架，其车辆的横向外移动大幅度减小，不仅可以避免引起的异响及撞击部件造成的疲劳寿命降低问题，而且可以一定程度的限制车身侧倾，使车辆始终保持在垂直跳动的运动下运行，并且由于车桥始终在垂直方向直线运动，可减小车身侧倾量。
一种应用于平衡悬架瓦特连杆机构

[发明专利]一种氮气保护装置及激光退火设备-CN202110739366.0在审
发明人：王飞;赵仁洁;黄元昊;王黎明;罗兵 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明属于显示设备制造技术领域，公开了一种氮气保护装置及激光退火设备，该氮气保护装置包括喷嘴机构和回收机构，所述喷嘴机构设置于所述回收机构的上方，所述喷嘴机构用于向下喷射氮气，所述回收机构用于抽取空气，以在所述喷嘴机构和所述回收机构之间形成气帘。气帘可以有效阻隔其外部空气流场对其内部的影响，减少涡流存在，保证氮气气氛平稳供给；同时能在喷嘴机构和回收机构之间形成很高的真空度，从而有效降低氧气浓度，经试验验证，氧气浓度可控制在100ppm以内甚至更低。
一种氮气保护装置激光退火设备

[发明专利]一种超洁净湿空气制备装置及光刻设备-CN202010242015.4有效
发明人： 赵仁洁;王泽锟 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-03-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01D47/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种超洁净湿空气制备装置及光刻设备，其中超洁净湿空气制备装置包括：进气单元；与进气单元连接的洗气单元；洗气单元内部设置有多孔结构，多孔结构用于增大注入气体与洁净水的接触面积；出气单元，出气单元与洗气单元连接。本发明实施例提供的技术方案通过在洗气单元内部设置多孔结构，通过多孔结构增大注入气体与洁净水的接触面积，保证能够持续稳定地提供大流量高湿度的湿空气，并且降低了器件的成本以及减小器件的占用空间。
一种洁净湿空气制备装置光刻设备

[发明专利]一种光学金属镜的制作方法及光学金属镜-CN201911396491.5有效
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-12-30 - 公布日： 2022-06-17 - 主分类号： B22F3/105 文献下载
摘要：本发明涉及光学金属镜技术领域，公开一种光学金属镜的制作方法及光学金属镜。其中，光学金属镜的制作方法包括：S1.利用3D打印方法在金属基板的第一侧面上打印支撑部，并使所述支撑部与所述金属基板之间形成镂空结构；S2.对所述金属基板的第二侧面进行加工以形成镜面。本发明提供的光学金属镜的制作方法，首先，利用3D打印的方法，可以使支撑部与金属基板之间形成结构复杂的镂空结构，从而起到很好的减重作用，使光学金属镜更加的轻量化；其次，支撑部能够起到对金属基板的支撑和加固的作用，从而有利于提高光学金属镜整体的强度和刚度；同时，在组织致密的金属基板上加工镜面，可以保证镜面的致密度，确保镜面的成像质量。
一种光学金属制作方法

[发明专利]一种工件制造方法及工件-CN201910059062.2有效
发明人： 赵仁洁;朱文洁;张丽 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C25D5/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件制造方法及工件，方法包括：采用型芯材料形成内腔型芯；将接头件装配至所述内腔型芯上；在所述接头件和所述内腔型芯的表面形成金属薄壁层；去除所述内腔型芯，形成金属薄壁腔体件。本发明中金属薄壁腔体件包括包覆于其内部的接头件，便于薄壁件的安装；内腔型芯可以具有复杂的结构特征，克服现有的制造工艺中薄壁腔体件内腔复杂度限制；金属薄壁层依附在内腔型芯的表面形成，可以在满足强度需求的前提下尽可能地薄，克服现有的制造工艺中的壁厚限制和金属可适用材料限制；同时制备工艺简单，降低制造成本。
一种工件制造方法

[发明专利]一种电弧熔丝增材制造装置及其方法-CN202010326632.2有效
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2020-04-23 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B23K9/04 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种电弧熔丝增材制造装置及其方法。该电弧熔丝增材制造装置的电热单元设置于电基板的上方，且电热单元与电基板之间的距离为引弧距离；控制单元分别与焊丝和引弧单元电连接，用于控制焊丝在区域打印时运动至电热单元和电基板之间，用于熔丝增材制造；以及控制引弧单元在区域打印结束时运动至与电热单元相对设置，用于将电热单元和电基板之间的热源引至电热单元和引弧单元之间。实现了在打印层与层之间的路径非衔接处、每层的非连通区域或者位于同一基板上的多个零件的过程中热源的不熄弧，提高了成形路径规划的自由度，也提高了电弧熔丝增材制造的成形效率，拓展了电弧熔丝增材制造对于批量打印的适用性。
一种电弧熔丝增材制造装置及其方法

[发明专利]一种气浮块安装结构、气浮滑块及直线电机-CN201911137291.8有效
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备(集团)股份有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： F16C29/02 文献下载
摘要：本发明涉及电机技术领域，公开了一种气浮块安装结构、气浮滑块及直线电机。气浮块安装结构包括主体部和装配接口，所述主体部包括呈凹槽状的上表面，用于安装气浮块，所述主体部还包括向下凸起的下表面，所述下表面的曲率大于所述上表面的曲率，所述上表面与所述下表面之间形成容置腔；装配接口设置于所述主体部的相对的两侧。气浮滑块包括如上所述的气浮块安装结构。直线电机包括如上所述的气浮滑块。下表面的设置，采用较少的材料，达到减重的目的；容置腔的设置，对气浮块有一定的缓冲作用，弱化运动过程中气浮力的变化对主体部变形的影响，使得主体部在减重的同时具有一定的承载能力，进而使得气浮滑块重量下降，直线电机移动速度加快。
一种气浮块安装结构浮滑直线电机

[发明专利]一种龙门式结构件及其增材制造方法-CN201911006706.8有效
发明人： 赵仁洁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-10-22 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： B23Q1/01 文献下载
摘要：本发明涉及一种龙门式结构件及其增材制造方法，该龙门式结构件上设置有大量的减重孔，从而降低龙门式结构件的自重，提高龙门式结构件的刚重比，而采用本发明提供的增材制造方法来生产所述龙门式结构件，可简化龙门式结构件的生产过程，提高龙门式结构件的质量。
一种龙门结构件及其制造方法

[发明专利]工件加工模具、工件加工方法及埋管结构-CN201910363848.3有效
发明人： 赵仁洁;杨超;张丽;朱文洁 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： B22D19/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种工件加工模具、工件加工方法及埋管结构，旨在实现埋管制造时不同管路的精确定位，提升埋管的制造能力和应用范围。具体的，先要制作工件加工模具，包括上模、下模和定位装置，定位装置包括上定位结构和/或下定位结构，上定位结构形成于上模，下定位结构形成于下模，上定位结构和/或下定位结构的形态与管路形状一致；然后执行合模工艺，将管路埋入上模和下模之间，并利用上定位结构和/或下定位结构定位固定管路；最后执行预定的处理工艺，例如利用模具材料的局部热熔，或金属型铸造或砂型铸造等工艺，得到埋管结构；这样做定位效果好，定位精度高，而且能够实现各种管路的定位，并克服了现有难以定位异型管路或大幅面管路的问题。
工件加工模具方法结构

[实用新型]一种便携式钢筋弯曲装置-CN202121252408.X有效
发明人：孙英楠;梁怀成;许贵亮;刘晓明;赵仁洁 -专利权人：中铁二十三局集团第二工程有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B21F1/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑施工辅助工具技术领域，公开了一种便携式钢筋弯曲装置，包括底板和转杆，底板固定有套筒，转杆包括手握杆、套杆一和套杆二，套杆一和套杆二间隔固定于手握杆的同一侧，套杆一的大小与套筒适配，套杆一能在套筒内转动。通过本实用新型的便携式钢筋弯曲装置，能够完成常规钢筋的弯曲工作，且该装置结构简单，操作方便，体积较小，便于携带，可在多个施工地点周转使用，提高了工作效率。
一种便携式钢筋弯曲装置

[实用新型]一种便携式块材搬运装置-CN202121252410.7有效
发明人：孙英楠;梁怀成;马洪博;刘晓明;赵仁洁 -专利权人：中铁二十三局集团第二工程有限公司
申请日： 2021-06-04 - 公布日： 2022-01-25 - 主分类号： B65G7/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑施工辅助工具技术领域，公开了一种便携式块材搬运装置，包括直杆一和直杆二，直杆一和直杆二相互交叉且铰接连接，直杆一和直杆二的一端均固定连接有手持段，且两个手持段位于铰接点的同一侧，直杆一和直杆二的另一端均固定连接有夹持段，且两个夹持段位于铰接点的同一侧，两个夹持段组合形成用于夹持块材的空间，铰接点靠近夹持段设置。通过本实用新型的便携式块材搬运装置，取代工人们直接用手接触块材的搬运方式，能够通过杠杆原理提起所需搬运的块材，节省人力，本装置结构简单，体积小巧，携带方便，且能够增加工人与块材的安全距离，提高了搬运施工的安全性。
一种便携式搬运装置

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