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[发明专利]离合器控制装置-CN201810268808.6有效
发明人：坂本直树;西山真也;荒井大 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： F16D48/06 文献下载
摘要：本发明提供一种离合器控制装置。若不是从上次的初始无效行程消除的实施起经过规定的禁止期间之后，则禁止再次的初始无效行程消除，防止由初始无效行程消除在短时间内被反复进行导致的离合器压力的过度的上升。基本脉冲时间设定部将当前的油温和节气门开度用于基本脉冲时间映射而求出初始无效行程消除的基本脉冲时间。缩减时间设定部将当前的油温和离合器液压用于缩减时间映射而求出缩减时间。脉冲时间决定部从基本脉冲时间减去缩减时间而决定初始无效行程消除脉冲时间。在初始无效行程消除的开始时机，当从上次的初始无效行程消除的实施时机起经过的经过时间处于规定的禁止期间内时，初始无效行程消除许可与否判定部禁止此次的初始无效行程消除。
无效行程基本脉冲离合器控制装置禁止期间时间设定时间映射节气门开度离合器压力离合器液压时间决定部消除脉冲判定部脉冲时机减去许可

[发明专利]曝光装置、曝光方法、及元件制造方法-CN201610055729.8有效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2018-07-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
曝光装置方法元件制造

[发明专利]曝光装置、曝光方法、及元件制造方法-CN201510850074.9有效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
曝光装置方法元件制造

[发明专利]测量方法、载台装置、及曝光装置-CN201410270424.X有效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2017-01-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
测量方法装置曝光

[发明专利]换挡位置检测装置-CN201410174128.X有效
发明人：布袋乔史;手塚贵志;荒井大;千叶淳史 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： F16H63/30 文献下载
摘要：一种换挡位置检测装置，具有换挡位置判断机构，其基于与具有多个突起部的多个突起列至少一个个对应的3个开关的开关状态的组合来判断换挡位置，并作为配置在第1速以及第2速之间的空挡的检测逻辑而分配了各开关处于开启状态下的“1、1、1”，该换挡位置检测装置能够缓和向空挡操作时的摩擦变化，而得到不会感到不舒服的操作感。使3个开关(SA～SC)中的2个特定开关(SB、SC；SA、SC)的作为检测对象的2个突起列(98、99)，在从第1速以及第2速的至少一方向空挡进行换挡变化时，使特定开关(SB、SC；SA、SC)的开关状态从关闭状态变化为开启状态，并且以将成为开启状态的定时错开的方式形成。
换挡位置检测装置

[发明专利]曝光装置、曝光方法、及元件制造方法-CN201610055966.4在审
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
曝光装置方法元件制造

[发明专利]换挡位置检测装置-CN201410174408.0有效
发明人：手塚贵志;布袋乔史;荒井大;千叶淳史;田村贤一 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2014-04-28 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： F16H63/42 文献下载
摘要：一种换挡位置检测装置，基于由在与设在换挡鼓上的多个非检测部列对应的位置上至少各固定配置1个的多个开关的开启、关闭的组合构成的检测逻辑来判断换挡位置，即使多个开关的开关状态的切换定时存在偏差也能够检测准确的换挡位置。换挡位置判断机构(100)在从与确定换挡位置对应的检测逻辑向不同的检测逻辑过渡时，在过渡后的检测逻辑为与从确定换挡位置接下来能够变位的换挡位置对应的检测逻辑时，将其作为新的换挡位置而确定并输出换挡位置信息，但在过渡后的检测逻辑为与能够变位的换挡位置对应的检测逻辑以外的检测逻辑时，将新的换挡位置设为未确定而输出未确定信息。
换挡位置检测装置

[发明专利]测量方法、载台装置、及曝光装置-CN201410270432.4有效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
测量方法装置曝光

[发明专利]测量方法、载台装置、及曝光装置-CN201410271092.7无效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
测量方法装置曝光

[发明专利]变速控制装置-CN201210347412.3有效
发明人：坂本直树;荒井大;高桥考作 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2012-09-18 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： F16H61/18 文献下载
摘要：提供一种在自动变速模式中由驾驶者进行了手动变速模式的插入操作的情况下，遵循驾驶者的行驶意愿而恢复至自动变速模式的变速控制装置。本发明的变速控制装置具有手动地使变速器变速的手动变速模式以及基于自动变速图表来使变速器自动地变速的自动变速模式，并且具备自动变速模式恢复单元，其在自动变速模式中进行了手动变速操作的情况下，切换至手动变速模式，并在手动变速操作后，自动恢复至自动变速模式，自动变速模式恢复单元具备：在自动变速模式中检测变速器的升档以及降档的手动变速操作的手动操作检测单元；判别在执行手动变速操作时的车辆的行驶状态的第1行驶状态判别单元；和判别在手动变速操作后的车辆的行驶状态的第2行驶状态判别单元，根据变速器的升档和降档的手动变速操作、手动变速操作时和手动变速操作后的行驶状态，来切换向自动变速模式的自动恢复的状态。
变速控制装置

[发明专利]液压离合器-CN201110039405.2无效
发明人：深谷和幸;高桥考作;渡边纯也;荒井大;田中政隆 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2011-02-15 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： F16D25/0638 文献下载
摘要：本发明提供一种液压离合器，能够减小离合器断开时向多个离合器摩擦片及多个离合器盘间的供油量，能够防止离合器的拖滞，能够减小变速时的换档声。离合器连接时，使形成在离合器压盘(102a、102b)上的供油孔(122a、122b)和形成在离合器中央部(107a、107b)上的供油孔(121a、121b)的重合量成为最大。
液压离合器

[发明专利]变速控制装置-CN201110032849.3有效
发明人：根建圭淳;小岛浩孝;荒井大 -专利权人：本田技研工业株式会社
申请日： 2011-01-26 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： F16H61/04 文献下载
摘要：本发明提供可防止在用一侧离合器行驶中产生与另一侧离合器相关的撞击声并防止产生随着预备变速的撞击声的变速控制装置。双离合器式变速器(23)的变速控制装置，具有液压式双离合器(26)，通过交替切换两离合器的连接状态，可向相邻的变速档进行变速动作，在连接了一侧离合器的通常行驶中，供给使另一侧离合器向连接侧进行微小动作的预压，并进行预先实现能利用与下一换档位置对应的变速齿轮对进行动力转递的状态的预备变速，在进行预备变速时，发出向泄去预压的方向驱动用于供给预压的离合器促动器(91a、91b)的信号后，在直到作为预备变速开始驱动变速齿轮期间设置至少对应于主轴(43、44)的转速的规定的预备变速等候时间。
变速控制装置

[发明专利]曝光装置和器件制造方法-CN201010155625.7无效
发明人：根井正洋;小林直行;荒井大;大和壮一 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2003-12-08 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种曝光装置包括：在局部用液体(50)充满投影光学系统(PL)的像面一侧，通过液体(50)和投影光学系统(PL)将图案像投影到衬底(P)上，曝光衬底(P)，回收向衬底(P)的外侧流出的液体的回收装置(20)。在使用浸液法进行曝光处理时，即使向衬底外侧流出液体，也能抑制环境的变动，复制出精度优良的图案。
曝光装置器件制造方法

[发明专利]测量方法、载台装置、及曝光装置-CN200880025096.X无效
发明人： 荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2008-07-16 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：一能减低周围气体的折射率变动的影响、以提高载台的定位精度等的曝光装置。一种曝光装置，是通过投影光学系统(PL)对晶圆载台(WST)上的晶圆(W)照射曝光用照明光，而在晶圆(W)形成既定图案。该曝光装置具备：设置于晶圆载台(WST)的标尺；用以检测该标尺的位置资讯的多个X读头(66)；一体支撑多个X读头(66)，且线膨胀系数较晶圆载台(WST)的本体部小的测量框架(21)；从多个X读头(66)的检测结果求出晶圆载台(WST)的位移资讯的控制装置。
测量方法装置曝光

[发明专利]移动体系统、曝光装置及组件制造方法-CN200910132529.8在审
发明人：依田安史;柴崎祐一;荒井大 -专利权人：株式会社尼康
申请日： 2005-11-24 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种移动体系统、曝光装置及组件制造方法。由于通过制动器机构(48A，48B)来阻止晶片载台(WTB)与测量载台(MTB)较预定距离更接近，且能通过驱动机构(34A)解除该制动器机构之阻止作用，因此例如当独立驱动X轴固定件(81，80)时，即使假设有两个载台之至少一方失控的情形，制动器机构亦能阻止各载台彼此之接触，而例如当载台彼此较预定距离更接近时，通过解除机构来解除制动器机构之阻止作用，能在没有制动机构之妨碍的状态下使两载台接近。
移动体系曝光装置组件制造方法

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