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[发明专利]氮化硅薄膜的沉积方法、氮化硅薄膜及PERC电池-CN201711023720.X有效
发明人：许烁烁;舒勇东;刘良玉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-10-27 - 公布日： 2021-02-26 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮化硅薄膜的沉积方法、氮化硅薄膜及PERC电池。该沉积方法包括将背面沉积有氧化铝薄膜的硅基体置于反应装置中，先后采用第一微波源、第二微波源、第三微波源、第四微波源、第五微波源和第六微波源进行氮化硅薄膜的沉积，经沉积工艺处理后，在氧化铝薄膜上制备得到氮化硅薄膜。该氮化硅薄膜兼具高全反射功能和高致密性。本发明制备的氮化硅薄膜主要用作PERC电池的背面氮化硅薄膜。本发明的方法使得在不减少PERC电池转换效率的前提下，可将氮化硅薄膜的厚度降低至75纳米甚至以下，从而提高设备产能，扩展工艺窗口。
氮化薄膜沉积方法 perc 电池

[发明专利]一种用于低压扩散炉的炉门装置及低压扩散炉-CN201710740056.4有效
发明人：陈晖;舒勇东;杨彬;黄志海;赵志然 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-08-25 - 公布日： 2021-02-23 - 主分类号： C30B31/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于低压扩散炉的炉门装置，包括密封延长管、外密封炉门，以及用于隔绝低压扩散炉的反应管内热量的内密封炉门，所述密封延长管套设于所述反应管外周，密封延长管内端与所述反应管密封连接，外端与所述外密封炉门之间设有密封件，所述外密封炉门配置有开关门驱动机构，所述内密封炉门与所述外密封炉门之间设有弹性连接机构。本发明进一步公开了一种低压扩散炉，包括反应管，还包括上述的用于低压扩散炉的炉门装置。本发明具有结构可靠、密封性能好、使用寿命长等优点。
一种用于低压扩散炉门装置

[发明专利]一种太阳能电池片激光加工设备-CN201610852274.2有效
发明人：袁卫华;魏唯;王慧勇;肖慧;何华云;陈峰武;舒勇东;刘欣;周水清 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： B23K26/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池片激光加工设备，包括依次布置的电池片上料台、激光加工主机及电池片下料台，激光加工主机包括输送定位工作台、上料传片组件、下料传片组件、视觉定位总成、定位背光源、激光加工单元及破片传送组件，输送定位工作台上料端通过上料传片组件与电池片上料台对接，下料端通过下料传片组件与电池片下料台对接，视觉定位总成和激光加工单元位于输送定位工作台上方，且视觉定位总成靠近输送定位工作台的上料端、激光加工单元靠近输送定位工作台的下料端，定位背光源位于输送定位工作台下方并与视觉定位总成相对布置，破片传送组件对接于下料传片组件侧面。本发明具有结构简单、成本低、生产效率高等优点。
定位工作台片组件视觉定位电池片激光加工单元下料激光加工设备太阳能电池片传送组件激光加工背光源上料台下料端下料台破片上料主机生产效率相对布置依次布置上料端侧面

[发明专利]一种阴极磁控溅射靶装置-CN201710386405.7有效
发明人：毛朝斌;罗超;范江华;舒勇东;佘鹏程;胡凡;彭立波 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-05-26 - 公布日： 2019-08-16 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种阴极磁控溅射靶装置，包括磁性靶材及设于磁性靶材背面的磁体，所述磁性靶材正面设有矩形环状凹槽，所述磁性靶材背面设有与所述矩形环状凹槽对应的矩形环状凸起，所述磁体包括极性相反的中心磁体及外磁体，所述中心磁体设于所述矩形环状凸起的中心，所述外磁体设有四块并分设于所述矩形环状凸起的外周。本发明具有可加强靶材表面的磁场强度、提高靶材溅射的均匀性、减少更换靶材的频率、降低生产成本等优点。
靶材矩形环状凸起阴极矩形环状凹槽磁控溅射靶中心磁体外磁体靶材背面靶材表面极性相反均匀性溅射外周磁场分设

[发明专利]用于太阳能电池片激光消融机的激光加工单元-CN201610852391.9有效
发明人：魏唯;袁卫华;王慧勇;肖慧;何华云;陈峰武;舒勇东;刘欣;周水清 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： B23K26/067 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于太阳能电池片激光消融机的激光加工单元，包括激光组件、台板及用于调节台板高度的升降调整平台，所述激光组件包括沿激光传输方向依次布置的激光器、扩束镜、整形镜片套件、振镜及场镜，所述激光器、扩束镜、整形镜片套件及振镜安装于所述台板上，所述场镜垂直安装于振镜下方，所述激光器的光输出口的中心线、扩束镜的中心线和整形镜片套件的中心线重合。本发明具有结构简单、成本低、激光光路短、传输效率高等优点。
用于太阳能电池激光消融加工单元

[发明专利]可不开腔清洁阳极罩的磁控溅射装置及清洁方法-CN201710347518.6有效
发明人：毛朝斌;舒勇东;范江华;罗超;佘鹏程;胡凡;彭立波 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-05-17 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：可不开腔清洁阳极罩的磁控溅射装置，包括腔体、靶材及设于腔体上的磁控靶和磁控靶挡板，腔体外侧设有第一接头、第二接头及升降机构，第一接头与腔体之间设有绝缘件，第二接头与腔体连通，升降机构与磁控靶挡板连接，磁控靶电源阳极与腔体连通，磁控靶挡板与腔体连通，靶材通过第一导线与磁控靶电源阴极连通，磁控靶的阳极罩通过第二导线与第一接头连通。清洁方法，S1调整磁控靶挡板位置，使磁控靶挡板与磁控靶的阳极罩之间可进行辉光溅射；第一导线连接至第一接头；S2磁控靶电源在磁控靶挡板与阳极罩之间施加电压，腔体中充入工艺气体，磁控靶挡板与阳极罩之间产生辉光溅射。本发明结构简单、可靠，能够不打开腔体清洁阳极罩上薄膜。
磁控靶阳极罩挡板腔体腔体连通清洁磁控溅射装置开腔升降机构靶材辉光溅射连通挡板位置导线连接电源阳极电源阴极工艺气体施加电压绝缘件上薄膜电源

[发明专利]一种链式烧结炉输送装置-CN201610610977.4有效
发明人：袁卫华;邓斌;舒勇东;王学仕;彭立波;万喜新;陈庆广 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-07-29 - 公布日： 2019-04-05 - 主分类号： F27B9/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种链式烧结炉输送装置，包括主动辊轮、从动辊轮以及绕设于主动辊轮和从动辊轮上的输送网带，还包括主动链轮、传动链轮、传动链条以及用于驱动主动链轮旋转的驱动部件，所述传动链轮设有两个并分别与所述主动辊轮和从动辊轮同轴设置，所述驱动部件与所述主动链轮连接，所述传动链条绕设于所述主动链轮和两个所述传动链轮上，本发明具有结构简单、输送平稳不打滑、速度快等优点。
一种链式烧结炉输送装置

[发明专利]一种高温氢气退火炉炉门密封装置-CN201710847166.0在审
发明人：赵志然;舒勇东;张宝锋;陈晖 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-09-19 - 公布日： 2019-03-26 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种高温氢气退火炉炉门密封装置，包括第一密封法兰、第二密封法兰、密封炉门、以及用于固定第一密封法兰和第二密封法兰的固定法兰，退火炉的反应管开口端设有反应管法兰，所述固定法兰套设于所述反应管外周并紧靠于所述反应管法兰上，所述第一密封法兰套设于所述反应管法兰外周，所述第二密封法兰设于所述第一密封法兰远离所述固定法兰的一侧，所述密封炉门与所述第二密封法兰之间设有第一密封圈，所述第一密封法兰和所述第二密封法兰均为主动散热法兰。本发明具有结构简单、成本低，密封性好、可靠性高等优点。
密封法兰反应管退火炉法兰炉门密封装置高温氢气固定法兰密封炉门密封圈固定法兰套密封法兰套法兰外周密封性好主动散热开口端紧靠外周

[发明专利]一种扩散炉工艺自诊断优化方法及装置-CN201810812242.9在审
发明人：汪已琳;任哲;舒勇东 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-07-23 - 公布日： 2018-11-30 - 主分类号： C30B31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种扩散炉工艺自诊断优化方法，包括以下步骤：S01、对硅片进行扩散工艺后的数据进行检测；S02、将检测数据与预设标准阈值进行对比，并根据对比结果自动优化下一次硅片扩散工艺参数。本发明还相应公开了一种扩散炉工艺自诊断优化装置，包括第一模块，用于对硅片进行扩散工艺后的数据进行检测；以及第二模块，用于将检测数据与预设标准阈值进行对比，并根据对比结果自动优化下一次硅片扩散工艺参数。本发明的扩散炉工艺自诊断优化方法及装置均具有自动化程度高、提高生产效率以及产品质量等优点。
扩散炉自诊断对比结果硅片扩散检测数据扩散工艺预设标准自动优化硅片优化第一模块生产效率优化装置检测自动化

[发明专利]一种链式烘箱-CN201610850336.6有效
发明人：陈庆广;邓斌;王学仕;舒勇东 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： F26B15/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种链式烘箱，包括箱体和传送带，还包括设于所述箱体上部的风机、设于风机叶轮外周的加热器、设于所述箱体下部的排气管，所述传送带位于所述风机和所述排气管之间，所述风机和所述传送带之间设有气流缓冲组件，所述气流缓冲组件包括顶板、底板及设于顶板和底板之间的侧板，所述顶板上开设有进气口，所述侧板上相对设置两个出气口，本发明具有结构简单可靠，气流温度均匀、稳定性好，有利于保证传送带表面的温度均匀性等优点。
一种链式烘箱

[发明专利]一种电感耦合等离子体刻蚀设备-CN201710342783.5有效
发明人：毛朝斌;陈特超;舒勇东;胡凡;罗超;范江华 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-05-16 - 公布日： 2018-09-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种电感耦合等离子体刻蚀设备，包括反应腔室，还包括快速无扰动气体注入装置和尾气处理装置，所述快速无扰动气体注入装置包括相互独立的刻蚀气体注入组件和侧壁沉积气体注入组件，所述刻蚀气体注入组件和所述侧壁沉积气体注入组件均包括进气管和两路注入管，所述进气管通过一路所述注入管与所述反应腔室连通，并通过另一路注入管与所述尾气处理装置连通。本发明具有结构简单、切换速度快、反应腔室内压力稳定等优点。
一种电感耦合等离子体刻蚀设备

[发明专利]一种适用于U型线盒的攻丝设备-CN201610818825.3有效
发明人：谢辉;舒勇东;刘洪文;彭志虹;梁钜新 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-13 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： B23G1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于U型线盒的攻丝设备，包括机架、及安装于机架上的工件夹具和攻丝器，所述攻丝器包括两根攻丝轴及用于驱动两根攻丝轴同步转动的驱动机构，两根所述攻丝轴平行布置，本发明具有结构简单、效率高、质量精度高等优点。
一种适用于型线盒设备

[发明专利]加工定位装置及机床-CN201510678822.X有效
发明人：唐超;彭志虹;刘洪文;舒勇东;谢辉 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2015-10-20 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： B23Q3/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种加工定位装置及机床，包括定位套筒、调节块和安装法兰，所述安装法兰固定于定位套筒的第一端，所述调节块可拆卸的固定安装于定位套筒内且可相对于安装法兰来回移动。此加工定位装置使得零件加工时省时省力，批量加工的零件一致性好。调节块可在安装法兰内来回移动，以适应不同的工况。
安装法兰加工定位装置定位套筒机床可拆卸的零件加工批量加工一致性好第一端移动省时省力

[发明专利]一种SiC高温高能铝离子注入机-CN201510912879.1有效
发明人：袁卫华;彭立波;易文杰;孙雪平;龚杰洪;贾京英;舒勇东;钟新华 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2015-12-11 - 公布日： 2018-07-24 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种SiC高温高能铝离子注入机，包括：离子源，用来生成含铝的离子；离子束传输系统，用来传输铝离子束流；包括依次设置的引出系统、质量分析器、分析光栏、加速管、垂直扫描电极板及平行束透镜；引出系统将离子源产生的离子引出并形成离子束；离子束依次通过质量分析器和分析光栏后束通过加速管加速，加速后的离子束经过透镜矫正束斑形状，离子束斑经过垂直扫描电极板后扫开成扇形状束带，扇形状束带通过平行束透镜后形成平行的带状束，进入高温靶室系统；高温靶室系统，用来承载待注入的晶片，并对晶片加热至满足注入铝的高温工艺要求。本发明能够保证注入铝离子电荷可选和能量精度，满足注入铝工艺需要晶片加热要求。
一种 sic 高温高能离子注入

[发明专利]一种套筒类工件收集工装-CN201510735273.5有效
发明人：谢辉;舒勇东;刘洪文;彭志虹;唐超 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2015-11-03 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： B23Q7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种套筒类工件收集工装，包括高度调节杆、用于伸入套筒类工件内部并承载套筒类工件的工件接收杆以及用于与机床尾座连接的支撑横杆，所述工件接收杆固定于高度调节杆上端，所述高度调节杆的下端穿插于支撑横杆中，并通过第一紧固件与支撑横杆固定连接。本发明的套筒类工件收集工装具有结构简单、操作方便、可防止工件跌伤、碰伤的优点。
一种套筒工件收集工装

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