专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种PVD靶-CN201721667789.1有效
  • 糜家寿 - 深圳市金富星真空科技有限公司
  • 2017-12-05 - 2018-07-13 - C23C14/34
  • 本实用新型公开了一种PVD靶,包括靶腔主体、靶顶板、第一处理槽、冷却板、风机和第二处理槽,靶腔主体都是上面卡接有靶顶板,靶顶板的上面固定设置有第一处理槽,靶顶板的中间固定设置有冷却板,冷却板的中间均匀的固定设置有多个第一冷却管,靶顶板的下面固定设置有卡槽,靶顶板通过卡槽与靶腔主体的顶端之间卡接连接,靶腔主体的内侧靠近顶端的位置固定设置有靶底板,靶底板的上面开设有第二处理槽,通过在靶腔主体的顶板中间固定设置有带有第一冷却管的冷却板,且将第一冷却管与风机的鼓风腔之间固定连通,在靶腔主体的底板内侧固定设置有多个第二冷却管,从而使得靶腔主体在处理过程中冷却效率提高,便于及时散热,方便实用。
  • 靶腔固定设置处理槽冷却板冷却管底板风机卡槽本实用新型固定连通卡接连接冷却效率鼓风腔散热卡接

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