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[发明专利]一种去除光刻胶底膜的方法-CN202211195112.8在审
发明人：李文浩 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：本发明公开一种去除光刻胶底膜的方法，将待处理晶圆放置在等离子去胶机内的载具转盘上；在所述等离子去胶机中通入氧气，并开启所述载具转盘，使用所述氧气按照第一预设真空度、第一预设Plasma功率和第一预设时间对所述待处理晶圆进行处理，得到处理后的晶圆，通过氧气等离子体对光刻胶进行物理轰击以及化学反应，在第一预设真空度、第一预设Plasma功率和第一预设时间下使刻蚀速率达到最理想的状态，一方面能够提高底膜去除效率，另一方面可以有效保护底膜下的膜层不被离子轰击损伤，保证刻蚀效果和膜层性能，从而高效、稳定地去除光刻胶底膜。
一种去除光刻胶底膜方法

[发明专利]一种LED二氧化硅薄膜的制作方法-CN202211039408.0在审
发明人：尚大可;李刚;林武;李文浩;林静 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：本发明公开一种LED二氧化硅薄膜的制作方法，按照第一预设射频功率基于第一预设流量的硅烷对清除后的二氧化硅种子层进行化学气相沉积，得到完善后的二氧化硅种子层，所述第一预设射频功率大于80W，所述第一预设流量大于220sccm；基于所述完善后的二氧化硅种子层进行化学气相沉积，形成二氧化硅薄膜，使用大于220sccm的硅烷对清除后的二氧化硅种子层进行化学气相沉积，能够改变成膜结构，完善种子层的膜层缺陷，以此提高最终二氧化硅薄膜的折射率，从而有效提高LED的亮度。
一种 led 二氧化硅薄膜制作方法

[发明专利]一种彩色Micro LED显示芯片模组的制造方法-CN202210104851.5有效
发明人：张帆;吴永胜;齐佳鹏 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种彩色Micro LED显示芯片模组的制造方法，在衬底上制备Micro LED芯片，将芯片研磨切割后倒装焊接在驱动基板上，对芯片进行衬底剥离，因此相较于现有技术中对芯片晶圆进行整面剥离，剥离难度小、良率高。在透明基板上制作与芯片的子像素单元位置相对应的量子点孔位，在量子点孔位中填充量子点光色转换物并沉积量子点保护层，因此转换装置是在透明基板上独立制作的，相较于现有技术中在衬底层上加工转换层，将全彩色量子点转换装置倒置后与所述集成式单色Micro LED模组基底对齐粘合，能够提高制作效率。并且转换装置使用量子点‑量子点保护层‑金属反射层‑金属隔离层的组合结构，可以在全彩色Micro LED显示时提升出光强度、消除光色间串扰。
一种彩色 micro led 显示芯片模组制造方法

[实用新型]一种光刻版检验用固定装置-CN202221763033.8有效
发明人：钟伟华;林武;李慧敏;李景浩;蔡武;鲁日彬 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体电子技术领域，尤其涉及一种光刻版检验用固定装置，包括镜检托板和固定外框；所述镜检托板设有下沉部，所述下沉部的表面为球面；所述固定外框围绕镜检托板设置，所述固定外框的阴角处具有避让口。本实用新型提供的光刻版检验用固定装置能够避免光刻版受损，保证光刻版品质。
一种光刻检验固定装置

[实用新型]一种蒸镀机镀源挡板及蒸镀机-CN202221764542.2有效
发明人：李文浩;张峰;牛冯娜;林武;李刚;尚大可 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种蒸镀机镀源挡板，包括挡板本体和转动支撑杆；挡板本体的边缘向下弯折成弧形，且弯折的边缘宽度与挡板本体的长度的比例为0.08～0.12:1；转动支撑杆的一端连接于挡板本体上方的中心处，转动支撑杆的另一端通过气阀与蒸镀机控制连接，可在气阀的推动下带动挡板本体移动至蒸镀机内蒸镀源的正上方。本实用新型可通过将现有平面式的镀源挡板的边缘向下弯折成弧形，在不改变距离蒸镀源高度的前提下，无需增大挡板的面积也能有效遮挡蒸镀源继续蒸发至镀锅处的基片上，同时有效减轻挡板的重量，增加转动支撑杆在气阀的推动下快速实现挡板本体移动至蒸镀源正上方进行遮挡，使镀源挡板的开关启停更加灵活，精准控制产品的膜厚。
一种蒸镀机镀源挡板蒸镀机

[实用新型]一种便于检验的倒装车灯芯片-CN202221385333.7有效
发明人：黄章挺 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-06-02 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L33/38 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于检验的倒装车灯芯片，包括衬底和生长在衬底上的外延层；所述外延层上刻蚀有正极区和负极区，所述外延层上除所述负极区之外的区域均为所述正极区；所述正极区上蒸镀有ITO层，且所述ITO层的边缘与所述正极区的边缘具有第一预设距离；所述ITO层上溅射有银镜，所述银镜上覆盖有绝缘层，所述绝缘层上开设有与所述ITO层位置对应的正极口和与所述负极区位置对应的负极口，所述绝缘层上覆盖有PAD层，且所述PAD层的N极区与所述负极口接触，所述PAD层的P极区与所述正极口接触。本实用新型能有效降低加工缺陷概率，减轻员工检验负担。
一种便于检验倒装车灯芯片

[实用新型]一种光刻版的存放装置-CN202221690693.8有效
发明人：陈雅君;林智盛 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： B65D25/02 文献下载
摘要：本实用新型属于半导体生产制造领域，具体涉及一种光刻版的存放装置，包括存放盒，存放盒包括至少两个开口向上的盒体，所述盒体固定连接呈阶梯状分布，所述盒体包括底板、递进阶梯板、至少一个分隔板，所述底板设置于盒体底部，每个所述盒体内由所述底板与所述盒体所形成的开口朝上的容置空间相同，所述递进阶梯板较低一侧与所述底板边缘相连接，所述递进阶梯板较高一侧与所述盒体的连接面相连接，所述分隔板与所述阶梯板踏面相连接，设置于每个所述阶梯板踏面上方。因而使得不同光刻版能够在同一个存放装置中分开阶梯状收纳，便于工作人员观察，进而快速找到所需光刻版，避免了在取用光刻版时反复拿取对光刻版造成的不必要的脏污或损坏。
一种光刻存放装置

[实用新型]一种LED芯片对位装置-CN202221860627.0有效
发明人：李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩;鲁日彬;蔡武 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G03F9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种LED芯片对位装置，在基板和光罩上设置有曝光机定位识别标记和镜检检验标记，可通过基板和光罩上的曝光机定位识别标记进行曝光机对基板各膜层的自动对位；可通过基板和光罩上的镜检检验标记，对套合情况进行目检，由于镜检检验标记为十字形状，因此镜检时可更方便快速地检验出图形偏移异常，有效提高检验效率。
一种 led 芯片对位装置

[发明专利]一种LED芯片隔离层的制作方法-CN202211024839.X在审
发明人：黄章挺 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-08-25 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L33/44 文献下载
摘要：本发明公开一种LED芯片隔离层的制作方法，在外延层上涂覆光刻胶，得到涂覆后的外延层；基于所述涂覆后的外延层进行刻蚀，形成隔离层，区别于现有使用二氧化硅作为掩模，将光刻胶作为掩模制作隔离层，无需增加沉积和腐蚀步骤，进而无需使用PECVD沉积，简化了制作流程，从而降低了制作成本。
一种 led 芯片隔离制作方法

[实用新型]一种Wafer片冷却装置-CN202221765330.6有效
发明人：黄章挺 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： F25D1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及LED照明领域，尤其涉及一种Wafer片冷却装置，包括底座；所述底座的内部设有腔室，所述底座的侧壁设有氮气管接孔和出风口；所述底座设有两组以上Wafer片卡槽，两组以上所述Wafer片卡槽和两组以上出风口一一对应设置。本实用新型提供的Wafer片冷却装置相比放在卡塞中自然冷却而言极大的缩短了作业时间，提高了生产效率。
一种 wafer 冷却装置

[实用新型]一种理片装置-CN202221776501.5有效
发明人：林展成;黄伟杰;翁晓佩;杨德佑 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型涉及理片技术领域，特别涉及一种理片装置，包括基座、压板、摇杆和定位组件，摇杆与基座倾斜设置且摇杆与基座之间所形成的夹角范围为10°‑20°，定位组件远离基座的一侧面为斜面且与基座之间所形成的夹角和摇杆与基座之间所形成的夹角相等，压板靠近基座的一侧面上设有用于驱动摇杆周向旋转和用于推动摇杆沿竖直方向运动的推动组件，这样使得在理片过程可以先将装有片源的理片装载盒放置在定位组件上，将片源由高到低依次排列，通过转动摇杆，会将片源的平边统一朝下，按住压板结合向上倾斜10°‑20°的摇杆，摇杆将片源顶起，再次转动摇杆可以将片源平边统一朝上，从而在理片过程中能够直观看清每一片的片源信息。
一种装置

[发明专利]一种LED芯片的反射层制作方法-CN202211057274.5在审
发明人：李慧敏;钟伟华;林武;李景浩;彭足超;鲁日彬 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-08-31 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种LED芯片的反射层制作方法，在制作反射层时，先使用光刻胶进行匀胶、曝光和显影，其中，对负性光刻胶进行匀胶烘烤时保留负性光刻胶的溶剂含量，曝光显影的温度为116‑120℃；而现有技术中，通常曝光显影温度为122℃，相较于现有技术，本发明在烘烤时保留光刻胶的溶剂即降低匀胶烘烤温度，能够增加光刻胶的倒角角度，增大后续蒸镀反射层的面积；并且，降低曝光显影温度能够使光刻胶分子间的交联反应减少，交联反应会形成难溶于显影液的结构，此时曝光显影后的负性光刻胶减少、显影区域增加，从而增加后续反射层的蒸镀尺寸。因此，通过降低匀胶后及显影前烘烤温度，能够增大蒸镀后反射层的面积，提高LED发光亮度。
一种 led 芯片反射层制作方法

[发明专利]一种蒸镀机台复机方法-CN202210881436.0在审
发明人：洪加添;潘锴;杨德佑;刘印昂 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-07-26 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明公开一种蒸镀机台复机方法，将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；若所述验证结果为正常，则执行量产操作，通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
一种机台复机方法

[发明专利]一种LED芯片及其制造方法-CN202210967925.8在审
发明人：洪加添;翁晓佩;林展成 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： H01L33/36 文献下载
摘要：本发明公开一种LED芯片及其制造方法，将侧腐阻挡层光刻版图形转移至LED芯片层叠结构中的电极的边缘位置；在所述侧腐阻挡层光刻版图形上生长侧腐阻挡层，得到带有侧腐阻挡层的LED芯片层叠结构，制作成的LED芯片包括LED芯片层叠结构、侧腐凹槽和侧腐阻挡层；所述LED芯片层叠结构包括电极，且所述侧腐凹槽位于所述电极的边缘位置；所述侧腐阻挡层填充所述侧腐凹槽，并覆盖所述电极的部分表面，在后续的腐蚀工艺中，只将电极孔上的透明绝缘层去除，能够有效保护电极的边缘，从而防止腐蚀液对电极上的金属铝造成腐蚀，且只在电极的边缘位置形成，不对发光层进行阻挡，不影响原有透明绝缘层所提升的发光效率，保证了LED芯片的工作性能。
一种 led 芯片及其制造方法

[发明专利]一种LED芯片的溅镀方法-CN202210959042.2在审
发明人：李文浩;胡宇翔 -专利权人： 福建兆元光电有限公司
申请日： 2022-08-10 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种溅镀方法，属于镀膜技术领域。该溅镀方法，氩气流量为280～320sccm，溅射腔体真空度为4.0E‑3～5.0E‑3 Torr。该溅镀方法通过改变溅射腔体真空度和氩气流量对应的溅射速率进行应力平衡，消除膜层应力，保证膜层的稳定性；同时还可提高生产效率，提高产能。
一种 led 芯片方法