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- [发明专利]一种分离栅功率器件及其制造方法-CN202110920332.1有效
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石亮;杨笠
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重庆万国半导体科技有限公司
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2021-08-11
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2023-10-03
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H01L21/768
- 本发明涉及功率器件半导体制造领域，公开了一种分离栅功率器件的制造方法，包括如下步骤：外延层的制备；沟槽结构的制备；沟槽底部耐压层的制造；源极多晶硅的制备；多晶硅层间氧化硅的生长；栅极多晶硅的制备；体区与源区离子注入；接触孔和钨栓的制备；电路的蚀刻；钝化层的制备；还公开了由上述制造方法制备得到的分离栅功率器件。本发明，避免沟槽栅极区域线宽过大的问题，可提高集成度并提高元胞间阈值电压一致性；同时多晶硅层间氧化硅通过多晶硅氧化形成，省略了高密度等离子淀积工艺这一步骤，成本可控；避免了等离子轰击带来的氧化层空洞和漏电问题；可以进一步缩小元胞密度，减少导通电阻，提高器件效率。
- 一种分离功率器件及其制造方法
- [发明专利]一种干混砂浆自动化磨平工艺-CN202211505380.5在审
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李和平;石亮;张林
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李和平
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2022-11-29
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2023-09-29
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B24B7/18
- 本发明涉及干混砂浆技术领域，尤其是一种干混砂浆自动化磨平工艺，干混砂浆自动化磨平工艺通过干混砂浆自动化磨平装置实现，干混砂浆自动化磨平工艺包括如下步骤：S1:将框架放置在待磨平的干混砂浆凝固地面上，然后将所有的安装组件安装在墙面上，从而实现对框架的固定安装；S2:启动磨平机构对干混砂浆凝固地面进行打磨，同时启动移动机构带动磨平机构进行横向和纵向移动；S3:磨平过程中，对干混砂浆凝固地面上不同形状的凸起，可以调整磨平机构输出端的角度，从而实现对不同的形状的凸起进行打磨；S4:启动吸尘机构，通过吸尘机构的吸风端将磨平过程中产生的灰尘吸入。
- 一种砂浆自动化磨平工艺
- [发明专利]注药设备-CN202310954087.5在审
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杨桦;范潇琪;石亮;刘峰涛;缴丽莉;刘军霞;郑翔鲲;董晨歆;张玉超;李彩霞;张占良
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河北青风农林科技有限公司
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2023-07-31
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2023-09-15
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A01G7/06
- 本申请提供一种注药设备，包括：打孔装置；连接于打孔装置的注药装置，用于将药物输送至打孔装置；打孔装置还用于将药物输送至害虫活动区域；连接于打孔装置的空气压力表，用于监测药物注入量是否达标。其中，打孔装置包括：设有孔道、注药孔的钻杆；用于驱动钻杆转动的第一电机驱动单元；安装于钻杆的压力传感器，用于在打孔过程中监测注药孔是否到达害虫活动区域；注药装置包括：与钻杆共轴的药管；与药管共轴的推杆；用于驱动推杆平移的第二电机驱动单元。这样，注药设备能兼具在树干打孔以及在害虫活动区域内注药的功能，还能监测空腔内的药物注入量是否达标，从而避免因注药量过少导致的蛀干害虫消杀效果差或因注药量过多导致的药物浪费。
- 设备
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